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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学 2021-04-14
华中农业大学文法学院实验室计算机更新采购项目(二次)竞争性磋商公告
华中农业大学文法学院实验室计算机更新采购项目(二次)竞争性磋商
华中农业大学 2022-06-23
基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法
一种基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法,利用图像采集装置自动巡天;自适应光照变化并躲避强光的直射,获取待检测区域的图像序列,利用序列图像之间的目标运动特性和单幅图像中的目标与背景的差异,自动检测无人机等低空飞行器,并通过对其卫星定位信道和遥控信道进行无线电干扰以实现无人机管制的目的
华中科技大学 2021-04-10
减噪保温墙体材料及其制备方法和减噪保温砌块及其制作方法
其他成果/n建筑材料技术领域,具体涉及一种减噪保温墙体材料及其制备方法和减噪保温砌块及其制作方法。该方法包括步骤:1)准备原料;2)将骨料、氧化石墨烯、水泥和硅灰混合,得到混合物A;3)向混合物A中依次加入减水剂、粘结剂、激发剂和水泥质量30~40%的水,搅拌混合,得混合浆料B;4)将作物秸秆制作成秸秆框架;5)将混合浆料B倒入模具中进行浇筑,并在浇筑过程中将步骤4)得到的秸秆框架放入到模具中,脱模后经过养护,即得。本发明主要原料为建筑垃圾,解决了建筑垃圾处置问题和废物资源化利用。秸秆与骨料间的空隙结构增长了声波传递的距离并多次折射,削弱了=声波的能量,具有良好的减噪作用。
武汉轻工大学 2021-04-11
一种牡蛎粉祛农残抗菌材料的制备方法与使用方法
本发明公开了一种牡蛎粉祛农残抗菌材料的制备方法与使用方法,其以牡蛎壳为原料通过二级阶梯式升温煅烧并辅以通风降温法制得熟料,熟料经磨机粉磨至粒径为50um以下的粉体,从而制得具有疏松多孔结构和高化学活性的牡蛎壳粉体;其用于祛农产品农药残留的使用方法简单、安全高效、无二次污染无产生。本发明相对于现有技术,具有成本低、节能绿色环保等特点,环保、使用安全、高效、适于各类水果和疏菜的净洗处理,可有效祛除附着在其表面上的农药成分残留,并杀灭大肠杆菌。
青岛大学 2021-04-13
基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法
本发明公开了一种基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法,利用图像采集装置自动巡天;自适应光照的变化并躲避强光的直射,获取待检测区域的图像序列,利用序列图像之间的目标运动特性和单幅图像中的目标与背景的差异,自动检测无人机等低空飞行器,并通过对其卫星定位信道和遥控信道进行无线电干扰以实现无人机管制的目的;本方法可对全天域进行监控,并在巡天过程中自动调整光学成像传感器的指向以避免被强光直射,可以实时自动学习环
华中科技大学 2021-04-14
一种短路电流零点预测方法及短路电流选相分断控制方法
本发明公开了一种短路电流零点预测方法及短路电流选相分断 控制方法,短路电流选相分断控制方法包括 S1 实时采集电流信号,并 判断是否发生短路故障,若是,则转入步骤 S2,若否,则继续采集电 流信号;S2 采用类-Prony 方法对短路电流进行处理,获得短路电流零 点;S3 根据短路电流零点、断路器的分闸动作时间和最佳燃弧时间获 得距离目标相位的延时时间;S4 判断继电保护指令是否达到,若是, 则直接分断开关,若否,则进入延时倒计时;S5 判断延时倒计时时间 是否为 0,若是,则转入步骤 S6,若否,
华中科技大学 2021-04-14
我国科学家发现小分子药物调控人源电压门控钠离子通道蛋白的结构学基础
电压门控钠离子通道蛋白在产生和传导动作电位中发挥重要作用。在哺乳动物中,基于组织特异性,至少有9种电压门控钠离子通道异构体,其中命名为“Nav1.3”的电压门控钠离子通道蛋白在中枢神经系统中表达量高。
科技部生物中心 2022-03-23
二维拓扑材料MoTe2中发现光激发诱导的亚皮秒时间尺度结构相变
用各种物理手段(电场、磁场、压力、掺杂等)创造新的物态或调控不同量子物态是凝聚态物理领域广受关注的研究前沿,并有巨大的应用前景。而超短脉冲激光的飞速发展使得光激发调控复杂量子材料的晶体结构和电子性质成为可能。层状过渡金属二硫化物MoTe2可以形成几种不同的晶体结构并具有不同的物理性质或拓扑能带结构,为调控或切换不同结构相变提供了可能性。最近量子材料科学中心王楠林课题组和合作者利用超快泵浦探测和时间分辨的二次谐波探测技术,研究了MoTe2中两个半金属相之间激光诱导的亚皮秒时间尺度的结构相变。 MoTe2是由MoTe6八面体结构单元构成的原子层沿c方向堆叠形成的二维材料系统,不同的堆叠方式具有不同晶体对称性。1T-MoTe2在室温时是单斜的1T’相,随着温度降低在250K时发生结构相变,转变成正交的T_d相,其中可以存在第二类外尔费米子。王楠林课题组通过实验发现高强度的近红外激光脉冲可以在亚皮秒时间尺度内将中心反演对称性破缺的T_d相驱动到具有中心反演对称的1T’相。该相变发生的最明显的特征是时间分辨的反射率变化中横向剪切振荡声子的消失和二次谐波强度的急剧下降。通过选择和改变激发脉冲的脉宽和波长,从实验上排除了激光加热效应。该项研究首次在超快亚皮秒尺度内实现了激光诱导的非加热效应引起的MoTe2晶体中第二类Weyl半金属相与正常半金属相的超快结构相变。它为超快激光控制固体的拓扑特性开辟了新的可能性,使超快激光激发的拓扑开关器件具有潜在的实际应用价值。 该工作于2019年5月22日在线发表于著名学术期刊Physical Review X(Phys. Rev. X 9, 021036 (2019)),第一作者为量子材料中心博士生张梦瑶,王楠林教授和其研究组的董涛博士是通讯作者,量子材料科学中心王健教授研究组为该工作提供了样品。该项研究得到国家自然科学基金委员会、国家重点研究开发项目等项目的支持。
北京大学 2021-04-11
关于“先进结构与复合材料”等3个重点专项2023年度项目正式申报书填报的通知
按照科技部关于国家重点研发计划重点专项评审立项的总体要求和部署,科技部高技术研究发展中心已经完成了“先进结构与复合材料”、“新型显示与战略性电子材料”和“高端功能与智能材料”等3个重点专项2023年度申报项目预申报书形式审查、预评审等相关工作,并已通过国家科技管理信息系统进行了反馈,请各项目牵头单位及项目负责人及时查看系统通知及邮件。现就填报项目正式申报书(含预算申报书)的有关事项通知如下。
科学技术部 2023-08-02
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