新型显示器件高分辨率喷印制造技术与装备
我国新型显示产业规模和在建产线均居世界第一,但主要核心装备依赖进口,制约我国新型显示产业自主可控发展。新型显示器件向大尺寸、超高清、柔性化方向发展,其面临的重大挑战是如何在大面积柔性基板上实现纳米特征-微米结构-米级器件跨尺度高精度制造。光刻/蒸镀技术受限于模板尺寸和平面工艺,传统喷印受制于打印分辨率低(>20μm),均无法满足大尺寸/超高清/柔性化新型显示高精度/高效率/高可靠制造要求,急需发明新的制造原理、技术与装备。
针对新型显示器件高精高效制造国际难题,本项目原创高分辨率电流体喷印新原理,发明了电流体喷印新喷头、新技术和新装备,国际首创多款柔性新型显示器件并占领高端市场。
目前提出的“拉伸式”高分辨率电流体喷印新原理,实现<200nm结构的喷印制造,兼具按需点喷、射流直写、雾化制膜等不同喷射模式,突破了传统喷墨打印技术分辨率低、材料适用范围窄、喷射模式单一的问题。
本成果发明了阵列化独立可控电流体喷印系列喷头、高速视觉测量装置等核心装置与智能控制算法,开发了国际首台新型显示电流体喷印装备。部分核心专利作价3000万元实现成果转化,创新技术支持下开发的系列装备在显示龙头企业测试应用,实现了高分辨率OLED/QLED/PeLED(>300PPI)等新型显示器件集成制造。
华中科技大学
2023-04-24