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宽禁带半导体 ZnO 和 AlN 单晶生长技术
中试阶段/n作为第三代半导体的核心基础材料之一的 ZnO 晶体既是一种宽禁带半导体,又 是一种具有优异光电性能和压电性能的多功能晶体。中国科学院半导体研究所的科 研人员研究掌握了一种生长高质量、大尺寸 ZnO 单晶材料的新型技术方法-化学气 相传输法(CVT 法)。III 族氮化物 GaN、AlN 及其三元组合化合物是制造波长为 190nm-350nm 的发光器件和新型大功率电子器件的基础材料。AlN 具有高热导率 (3.4W/cmK),与高 Al 组份的 AlGaN 材料和 GaN 材料晶格匹配等
中国科学院大学 2021-01-12
高端半导体光掩膜版量产关键技术
光掩膜版(又称光罩,掩膜版,英文 Photo-mask )是芯片制作中实现设计图形转移的载体,是决定其微细结构和线宽精度的核心材料和工具。 目前中国半导体掩膜版的国产化率10%左右,90%需要进口,高端掩膜版国产化率3%,miniLED和microLED产业升级也需要更多高端掩膜版。随着中国市场需求的持续提升,掩膜版产能严重不足。并且中国半导体掩膜版的产业起步较晚,技术滞后,核心技术和装备基本让国外公司垄断,特别是在设备、材料领域众多技术处于“卡脖子”状态,例如掩膜版制造的核心装备光刻机、检测机、测量机、修复机和贴膜机等都依赖进口,严重制约中国半导体产业的发展。华中科技大学徐智谋教授团队致力于全套高端半导体光掩膜版的关键核心技术研发与量产,为“卡脖子”技术研究而努力。 具有建立180 nm技术节点半导体掩膜版量产线相关核心技术;具备130 nm至28 nm半导体掩膜版研发、设计及验证能力。主要研究成果如下: 1) 工艺突破 团队掌握了掩膜版MEMS微纳加工量产核心技术,如电子束光刻、激光光刻和纳米压印光刻等MEMS微纳加工工艺的各类技术参数的搭配和优化,以及大数据量软件快速处理、补偿等。 2) 装备国产化 A. 超高精度二维测量装备 尺寸测量是验证掩膜版技术指标的核心,主要包括关键尺寸测量(CD)和长尺寸测量(TP)。团队已掌握掩膜版的关键测量技术,达到国内先进水平,具有整套设备的整机制造能力。 TP测量是掩膜版制作的核心指标,直接影响到客户的套合精度,该测量设备一直由国外极少数厂商垄断,且价格昂贵,一般在1000万美元以上,高端限制对中国出口。团队目前正在攻克该项技术,已取得阶段性成果。 B. 缺陷修复装备 掩膜版修补技术是提升良品率的关键手段,该技术一直为国外垄断。团队已熟练掌握UV、DUV激光化学沉积技术及皮秒飞秒激光金属处理技术,具备整机制造能力,可降低设备采购成本70%以上。 C. Pellicle自动贴膜装备 随着产品精度的提升和应用领域的高端化,掩膜版贴膜是个不可缺少的重要环节。在IC制造领域100%掩膜版需贴Pellicle,在IC封装领域90%以上需贴膜,在LED领域80%以上需贴膜。该贴膜设备一直国外公司垄断,国内厂家没有提供,国外采购全自动贴膜设备需100万美元左右。团队具备研发制造该设备的能力,贴膜精度±0.1mm,且有设备正式在产线运营,制造成本可节约90%以上。 3) 厂房建设关键技术 团队对MEMS及其掩膜工厂工艺设备厂务设计有丰富经验,掌握高等级防微震厂房结构和设备平台的设计施工,可达到VC-D级技术标准,满足纳米级生产技术要求。 【技术优势】 (1)掌握了高性价比掩膜版量产的关键核心技术,包括部分装备的国产化,解决“卡脖子”技术难题,量产线建设成本节约30%以上; (2)具备28 nm及以下技术节点掩膜版设计开发能力和验证平台,验证周期可缩短3倍; (3)拥有一支20多年以上掩膜版量产、研发和销售经验的队伍,成熟的企业管理经验,保证企业稳步成长,确保投资风险可控。 【合作方式】 股权投资合作共建或政府孵化+中试线。
华中科技大学 2023-03-29
高密度互连印制电路关键技术及产业化
 主要功能和应用领域: 印制电路板是电子设备制造的基本部件,可用于电子通信、航空航天、车载电子、医用设备等领域。 ? 特色及先进性: 经过多年的研究,形成了成套的先进印制电路板制造技术,可为企业提供单一技术到生产线建立的一条龙服务,产品性能可达世界先进水平。 ? 技术指标: 产品性能指标达到国内外行业技术标准的要求,满足整机厂家的需要。 ? 能为产业解决的关键问题和实施后可取得的效果: 我国是世界第一大印制电路板生产与应用地区,具有较大的比较优势,目前正面临升级换代的关键时期,通过项目实施可使企业的比较优势转化为技术领先。
电子科技大学 2021-04-10
“电力电子高可靠性关键技术及其产业化”项目
世界上70%以上电能通过电力电子技术进行变换与控制,提高电力电子运行可靠性具有重要意义。本项目拟从故障预诊断与健康管理的新角度,研发一系列电力电子高可靠性关键技术。主要研究内容包括:基于“端部特性”的变流器IGBT模块故障预诊断技术、IGBT功率模块结温监测技术、变流器自检测试技术以及基于开关降频的变流器延寿运行技术等。在此基础上,进一步研发具有实用价值的变流器IGBT模块故障预诊断仪以及结温测量仪(包括离线检测式与在线监测式),并积极与企业合作进行工程应用于推广。 作为近年来发展起来的高新技术,世界上目前尚无具备电力电子故障预诊断与健康管理功能的商业技术与产品。随着电力电子的迅速发展与广泛应用,市场迫切需要一系列能安全、有效、经济提高电力电子可靠性的技术与产品,因此本项目的研发工作具有广阔的市场前景。 项目组在前期工作基础上正积极需求企业合作,开展相关技术的工程应用与推广工作。目前正与英飞凌公司以及中石化茂名分公司洽谈技术合作,具体拟定的项目为:"变流器IGBT功率模块结温在线测量技术研究", 英飞凌公司, 项目计划实施时间2016.1-2016.12;"高压变频器健康状态检测与评估", 中国石化茂名分公司, 项目计划实施时间2016.3-2017.2。 英飞凌公司是目前世界上电力电子器件最大的制造商,它们的产品广泛应用于航空航天、驱动牵引、冶金机械传动、输配电系统、新能源发电等领域。为提高英飞凌电力电子产品的运行可靠性,英飞凌公司将资助我们研发变流器IGBT功率模块结温测量技术。目前双方已确定技术合同附件,正进入立项流程中。 中石化茂名分公司是我国最大炼油和石化产品生产基地之一,拥有大量高压变频器等电力电子设备。为进一步确保生产安全,他们希望同济大学项目组能在变频器设备停运期间开展健康状态检测与评估工作,为设备后期运行与维护提供科学依据。目前该项目已基本确定检测方案。
同济大学 2021-04-11
生物质聚乳酸基复合材料的开发与产业化
聚乳酸被全球公认为21世纪最有发展前景的生物质塑料,它具有良好的生物降解性/相容性、力学性质、热塑性、成纤性、透明度高,适用于吹塑、挤出、注塑等多种加工方法,加工方便,部分性能优于现有通用塑料;但其同时也存在着强度较低、脆性大、耐热性差等不足,使得其应用仅局限于生产通用塑料、薄膜等领域,要想应用于条件较为苛刻的汽车、航空航天、建筑业等领域,必须对其进行改性以提高其耐热性能和力学性能。本项目拟采用课题组多年来积累的研究成果,与相关企业展开合作,进行成果的转化和产业化工作,最终形成具有市场潜力的系列化改性聚乳酸复合材料制备技术,例如天然纤维增强聚乳酸、高韧性聚乳酸、高填充级聚乳酸、阻燃级聚乳酸和纤维级聚乳酸等的制备技术,通过这些技术制备的改性聚乳酸树脂将具有更加优异和针对性的性能,主要用于生产聚乳酸纤维、薄膜、板材和容器等,可应用在生活快消品、农用地膜、飞机/汽车内饰用材料等领域。项目目标是通过深入研究,对部分尚不完善的技术环节进行最后的攻关,然后整合已有的技术与专利成果,并进一步放大实验和标准化测试,形成一系列可直接产业化的系统化解决方案技术包,最终顺利完成相关技术成果的产业化转化工作。 本项目研究采用的原材料为可生物降解的聚乳酸,经过本团队十多年的研发,目前已实现产业化。本项目的主要工作是梳理课题组多年来对聚乳酸树脂改性的相关技术,与授权专利等成果整合,进一步放大成系列化的产品技术,最终顺利相关技术成果的产业化转化工作。 项目中的大部分关键技术均已被攻克,目前需要做的是有目的的对所有技术进行梳理和整合,查漏补缺,对部分尚不完善的技术环节进行最后的攻关,从而形成完整的系统化的产品技术,并与相关授权专利进行整合,最后打包形成一系列可直接产业化的系统化解决方案技术包。目前70%的聚乳酸市场在对性能要求不太高的包装行业中,随着人们环保意识的增加,该市场容量会继续增加,但由于聚乳酸整体市场的快速增长,包装材料所占聚乳酸市场比例会逐渐缩小。在汽车、家电及电子产品行业中对更高性能聚乳酸改性材料的使用是个新趋势,市场份额虽然不大,但会持续增长。目前聚乳酸在全球市场的总容量预计为100亿元,且有很好的成长潜力。本项目技术面对的正是高性能、高附加值的潜在市场,其产业化预期会有良好的经济效益;项目产品在环境污染治理和防护方面的贡献将会产生良好的社会效益。
同济大学 2021-04-11
高性能大直径稀土超磁致伸缩材料产业化技术
稀土超磁致伸缩材料的磁致伸缩应变比压电陶瓷大4倍以上,而且能量密度比压电陶瓷大10倍以上,但其杨氏仅为压电陶瓷的1/3左右。美国将其列为战略性功能材料,并对我国实行禁运。传统制备技术主要有布里吉曼法(Bridgman法,即下拉法)、丘克拉尔斯基法(Czochralski法,即直拉法)和浮区区熔法(Float Zone法)。上述三种制备GMM工艺都存在共同缺陷:1.生产效率很低,生长一件Æ18´150mm定向凝固GMM需要48-168h;2.生产GMM工序很长,需要合金熔炼、晶体生长、热处理等工序,生产成本高,设备投资大,3.生产GMM成品率只有15-30%。 本项目采用具有自主知识产权的一步法工艺和设备生产稀土超磁致伸缩材料,与传统工艺相比较主要有如下优点:1.质量好、高性能。因一步法工艺是将合金熔炼、晶体生长、热处理三道工序集中于一台设备完成,故减少了过程污染,杂质和氧含量低,合金成分控制准确,提高了材料的性能和产品的一致性;2.效率高、成本低。一步法易于实现自动化控制,操作简单,人为因素少,故产品的合格率高(达80%);单炉产能达5-10公斤,每天可以生产2-3炉,生产效率比传统工艺提高了100-150倍,成本大大降低;3.易于制备大直径(Æ70mm以上)棒材。一旦形成规模生产,大幅度降低生产成本和产品价格。稀土超磁致伸缩材料在低频、大功率换能器中得到了越来越广泛的应用。此外,可广泛应用到机械、电子、石油、纺织、航天、农业等其他领域,是一种重要的新型功能材料,是许多高技术的物质基础,被誉为是21世纪的战略材料。
北京科技大学 2021-04-11
蜜环菌深层发酵工艺优化与产业化应用研究
蜜环菌(Armillaria spp.)属于担子菌门,伞菌目,白蘑科,蜜环菌属.在世界各大洲均有分布,在我国主要分布在黑龙江,吉林,辽宁,内蒙古等省区.蜜环菌是与传统中草药天麻(Gastrodia elata Blume)共生的著名食药兼用的真菌.多年来,经大量的试验研究表明,蜜环菌的菌丝体和发酵液均具有较强的催眠,抗惊厥,抗缺氧等神经调节功能和脑保护功能,还具有增加心,脑血管血流量,增强机体免疫调节功能等生理活性.尤其是在催眠,抗惊厥,抗缺氧和调节心,脑血管功能等方面具有与天麻相同的药理活性.因此,20世纪70年代开始,在对蜜环茵生理活性和化学成分研究,以及蜜环菌的深层发酵工艺和系列制剂的开发等方面引起了中国和世界许多国家的重视,取得了大量研究成果,开发生产出多种蜜环菌制剂. 蜜环菌中含有丰富的化学成分,通过对蜜环菌菌丝体和发酵液的化学成分的系统研究,分离得到了蜜环菌多糖,蜜环菌素等倍半萜类化合物和嘌呤类化合物等多种生理活性物质,并对这些化合物的理化特性和生物学活性进行了较细致的研究.由于野生天麻在我国的资源有限,栽培天麻虽已获得成功,但因受到各种条件影响,其生长周期长,并且必须有蜜环菌作为萌发菌和营养供体,技术要求严格,生产成本高,价格贵,难以满足人们保健和临床用药的需求.以蜜环菌及其发酵产物替代天麻,来解决天麻供应不足,保护野生天麻资源等问题,是一条行之有效的资源
吉林农业大学 2021-05-04
分布式光伏系统并网变流器的研发与产业化
项目成果/简介:并网型光伏发电系统所发电能馈入电网,降低系统发电 成本及能耗。由于与电网相联,因而发电装置的电能质量、发电效率、稳定性、可监控性的技术要求都很高。分布式运营利用建筑屋顶,就近就地分散供电,发电节点(单机容量20KW及以下)将电能馈入低压内网,提供给局域电网内用电节点,在局域网内起到电网用电调峰作用,电能在局域网内消化,不需电力部门调度。应用范围:该领域市场前景广阔,欧盟、美国双反(反倾销、反补贴)制裁,但却促使中国国内光伏市场将在政策扶持下快速发展。2015年,年装机容量预计为15GW,分布式发电总量将达到7GW,2017年,总装机容量将达70GW,2020年突破100GW大关,并网变流器年产值约1000亿元。项目阶段:其他(样品)效益分析:本项目已申请一种基于倍频调制的单相光伏并网逆变器改进无差拍控制算法、一种新型电能质量自适应调节的光伏并网逆变器、分布式光伏并网发电与储能设备的控制方法等专利,解决潮流方向变化导致配电网内的无功调节困难等电能质量问题。
同济大学 2021-04-10
高性能钕铁硼整体辐向磁环产业化关键技术
辐向整体永磁环是磁场方向沿径向呈放射状分布的磁性器件,具有高效的励磁作用,能明显提高器件的工作效率,并显著降低其体积和重量,是日本NEOMAX公司的高技术产品,其制造技术对我国采取保密封锁。为此,在广东省教育部产学研结合协调领导小组办公室的资助下,北京科技大学和肇庆三环京粤磁材有限责任公司进行产学研合作,项目总投资150万元,其中省产学研经费50万元,企业自筹100万元。项目组开展了辐射取向磁场设计、整体辐向模具的设计、磁粉高均匀装填技术、整体辐向永磁环烧结及热处理技术和多极/辐向磁环的充磁技术等研究,突破了辐向磁场及模具设计和整体辐向永磁环烧结及热处理技术等关键技术,完成了项目合同的各项技术指标(材料利用率≥90%;磁环生产成品率≥90%;磁体最大磁能积≥320kJ/m3;多极整体永磁环的密度不均匀性≤1.5%;每极气隙磁密波形系数≥0.8,极间磁密不均匀性≤8%;辐向整体磁环的表面磁密不均匀性≤6%)。项目实施后,肇庆三环京粤磁材有限责任公司改拼装辐向钕铁硼永磁环为整体辐向钕铁硼永磁环,不仅大幅提高了磁环的性能和技术附加值,而且节约了原材料80吨,仅原料成本节约1200万元,深受恒磁实业有限公司、闻达磁铁有限公司和肇庆市中宝机电设备实业有限公司等用户的高度评价,产生了显著的经济和社会效益。
北京科技大学 2021-04-11
高品质钢材薄带连铸产业化系列关键技术
东北大学自主研发的薄带连铸技术,形成了具有我国自主知识产权的薄带连铸高品质钢材成套工艺与装备技术,在国际上薄带连铸钢材的工业化生产具有领先地位。高品质钢材薄带连铸产业化系列关键技术取消了传统带钢生产中的连铸(铸锭)、粗轧、热连轧及相关的加热、切头等工序,将凝固与成形,铸造和轧制工序合二为一,大幅度缩短了钢铁材料的生产工艺流程。与常规厚板坯连铸技术相比,薄带连铸的生产能耗可降低80%,CO2、N0x、SOx的排放可分别降低86%、93%和70%。同时,薄带连铸也可实现高品质钢材织构、组织和析出的综合控制,具有短流程、绿色环保、产品性能优异等优点,特别适于常规流程生产不好或者生产不了的特种合金带材产品。
东北大学 2021-04-10
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