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一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺
本发明公开了一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺,包括步骤:(1)在单晶硅片上旋涂光刻胶并通过光学光刻或电子束光刻得到光刻胶图形 ;( 2 ) 镀 上 银 膜 或 金 膜 ;( 3 ) 在 电 场 之 中 , 采 用 HF 、H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>和去离子水的混合溶液作为刻蚀剂进行金属催化刻蚀;(4)去除光刻胶;(5)去除单晶硅片上残留的金属膜并进行清洗处理。本发明通过在刻蚀过程中控制电场强度,由此形成从数十纳米至数
华中科技大学 2021-04-14
有机硅改性双马来酰亚胺树脂的合成
项目研究背景及用途 :有机硅改性双马来酰亚胺树脂是一类高性能聚 合物材料,其热稳定性能和力学性能都比环氧树脂优越,因此含硅双马来 酰亚胺树脂作为金属替代物广泛地用作制造压缩机叶片、大型计算机部 件、印刷电路基板等,是目前最受青睐的高性能聚合物材料之一。 工艺流程 :用催化方法先合成中间体 N-(4-羟基本基)马来酰亚胺, 再合成含硅双马来酰亚胺齐聚物, 采用四种有机硅合成了四种含硅双马来
南昌大学 2021-04-14
农用杀菌剂氟硅唑清洁生产技术
利用氯甲基二氯甲硅烷在低温下与溴氟苯、金属镁反应,制得双(4-氟苯基)甲基氯代甲基硅烷,再在极性溶剂中与1,24-三唑钠反应,制得氟硅唑。 一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 此产品可用于内吸性杀菌,抑制甾醇脱甲基化,用于防治子囊菌纲,担子菌纲和半知菌类真菌(如苹果黑星菌、白粉病菌、禾谷类的麦类核腔菌、壳针孢属菌、钩丝壳菌等,球座菌及甜菜上的各种病原菌,花生叶斑病)。三唑类杀菌剂破坏和阻止麦角甾醇的生物合成,导致细胞膜不能形成,使病菌死亡,对子囊菌、担子菌和半知菌所致病害有效,对卵菌无效,对梨黑星病有特效 项目特色: 利用氯甲基二氯甲硅烷在低温下与溴氟苯、金属镁反应,制得双(4-氟苯基)甲基氯代甲基硅烷,再在极性溶剂中与1,24-三唑钠反应,制得氟硅唑。采用自主创新的催化剂使反应可以采用较高沸点溶剂,不增加成本同时提高反应效率,省略了原有工艺的萃取水洗过程,直接得到理想的第一步中间体,生产过程中原有工艺的每吨5吨废水变为没有废水,成为清洁生产工艺。第一步收效达到90%以上。 原有工艺中粗产物需要高真空、高温、高塔板数的减压精馏得到含量在95%以上最终产品,改进工艺后由于合成效率大幅度提高,粗产品略作简单溶剂处理就达到95%以上的白色粉状固体。
南开大学 2022-08-11
宽波段硅基探测器产业化开发
图像传感器,是一种常用的光电探测器件,它能将光子信号转换成电子信号,被广泛地应用在高性能光谱仪、数码相机以及其他的电子光学设备中。普通的CCD、CMOS硅基探测器能获得高量子效率的光谱响应范围在400~900nm波段,在紫外波段,由于多晶硅栅的吸收系数很大,这就意味着紫外光子在极端浅(小于2nm)的表层被吸收,导致其在波长小于400nm的紫外波段量子效率(QE)极低。紫外量子效率低的缺陷限制了前照式硅基探测器在航空业、工业以及制造业等领域中的应用。因此,研制宽波段硅基探测器件使其响应范围延伸到紫外和深紫外波段是国内外紫外探测领域的迫切需要。
上海理工大学 2021-04-13
农用杀菌剂氟硅唑清洁生产技术
此产品可用于内吸性杀菌,抑制甾醇脱甲基化,用于防治子囊菌纲,担子菌纲和半知菌类真菌(如苹果黑星菌、白粉病菌、禾谷类的麦类核腔菌、壳针孢属菌、钩丝壳菌等,球座菌及甜菜上的各种病原菌,花生叶斑病)。三唑类杀菌剂破坏和阻止麦角甾醇的生物合成,导致细胞膜不能形成,使病菌死亡,对子囊菌、担子菌和半知菌所致病害有效,对卵菌无效,对梨黑星病有特效 项目特色: 利用氯甲基二氯甲硅烷在低温下与溴氟苯、金属镁反应,制得双(4-氟苯基)甲基氯代甲基硅烷,再在极性溶剂中与 1,24-三唑钠反应,制得氟硅唑。采用自主创新的催化剂使反应可以采用较高沸点溶剂,不增加成本同时提高反应效率,省略了原有工艺的萃取水洗过程,直接得到理想的第一步中间体,生产过程中原有工艺的每吨 5 吨废水变为没有废水,成为清洁生产工艺。第一步收效达到 90%以上。 原有工艺中粗产物需要高真空、高温、高塔板数的减压精馏得到含量在 95%以上最终产品,改进工艺后由于合成效率大幅度提高,粗产品略作简单溶剂处理就达到 95%以上的白色粉状固体。 市场应用前景: 目前国内只有 3 家生产,市场处于不饱和状态,2010 年一度出现供不应求局面,原料成本在每吨 15 万左右,生产成本在每吨 17 万左右,市场售价在每吨 30 万左右,具有良好的利润空间。年产百吨可获得 800-1000 万税前利润。
南开大学 2021-04-13
晶硅太阳电池生产虚拟仿真实训
晶硅太阳电池生产仿真实训让学员以车间技术人员的身份参与整条晶硅太阳电池产线的生产工作。学员可以按标准生产流程操作车间生产设备、检测生产样品以及对电池生产进行工艺仿真,从而深刻了解整个太阳电池生产流程以及关键工艺参数。 一.1.1. 场景设计 场景由制绒车间、扩散车间、后清洗车间、PECVD镀膜车间、丝网印刷车间和分选包装车间六大场景组成。场景素材从多个真实工厂采集而来,高保真还原车间设备与生产流程 场景模型主要包括:洁净车间、制绒机、自动上下料机、硅片、电子天平、分光光度计、电源柜、水冷机、空压机、化学液柜、电脑,键盘、鼠标、扩散炉、石英舟、插片房、传递窗、纯水箱、石英舟清洗槽、防毒面具、试验台、缓冲垫、防化服、源瓶、气柜、硅桨、方阻测试仪,万用表,石墨舟、PECVD镀膜机、舟车、烘箱、全自动丝网印刷机、网版、刮刀、搅拌机、桨料、夹具、接触电阻测试仪、烧结炉、IV分选仪、硅片盒、五格花蓝等... 一.1.2. 互动设计 第一人称视角控制主角场景漫游,学员可以在三维空间中自由活动和观察场景中的物体。 拾取物体操作采用3D空间实际抓取的方式,没有采用一般游戏中的背包栏方式,而当需要同时拾取多个物体时则提供3维工具用于装放,采取这种方式会更加接近现实,使学员更真实的体验实际工具的存放及使用的技巧。 各生产车间按照真实生产流程设计实训生产任务,完成当前任务后才能进入下一个任务,每个任务记录完成时间以及工艺仿真结果 缩略地图实时显示角色位置与任务点位置 第一人称视角与特写观察视角无缝平滑撤换 机器与设置仿真控制,通过机器控制面板设置工艺参数,控制启动生产,检测生产结果 表单填写与作业报告生成 使用仪器与设备检测生产样品 操作规程与关键知识点主动提示学习 原理动画演示
广东顺德宙思信息科技有限公司 2025-06-02
一种苯甲醛类化合物的制备方法及其用新型介孔碳担载的双金属催化剂
本发明涉及一种苯甲醛类化合物的制备方法及其用催化剂,催化剂由金属粒子0.01wt%~90wt%和介孔碳载体10wt%~99.99wt%组成,金属粒子为选自Pd、Au、Ag、Pt、Ru、Rh、Ni、Cu、Fe、Co、Cr、W、Mo、Ti以及Ta中的任意二种,且二种金属的重量比为1∶0.01~100,金属粒子的平均粒径为1~100nm;介孔碳载体由杂原子掺杂的介孔碳材料制成。该介孔碳材料中杂原子的含量为0.01wt%~80wt%。本发明催化剂对水、空气及热稳定,且具有优异的催化活性,特别是用于催化醇氧化反应制备醛或酮时具有高选择性。本发明苯甲醛类化合物的制备方法,其原料转化率高,目标产品选择性好。
浙江大学 2021-04-11
城镇污水双污泥反硝化强化脱氮及磷回收技术
该技术主要应用于环境工程污水处理领域。首次将双污泥反硝化除磷工艺和诱导结晶技术结合起来,解决了限制传统污水处理生物脱氮除磷工艺中碳源不足和泥龄矛盾等问题。
东南大学 2021-04-10
硝化棉氮量及其分布均匀性快速测试系统(产品)
成果简介:目前硝化棉(NC)生产厂家对其质量的监控主要是采用各种方法测定其含氮量,而人们在应用过程中发现,不仅是 NC 的含氮量,而且氮量 分布的均匀性也是影响其一系列工艺和应用性能的重要指标之一。但一直以 来缺乏一套能够在工业上应用的快速、准确、有效地表征NC 氮量分布均匀 性的指标和测试方法。北京理工大学纤维素技术研发中心与四川北方硝化棉 公司联合,研制出一套在国内外首创的 NC 硝化均匀性质量快速分析仪。该系统以偏光显微镜为核心部件,同时集成了现代 CCD、角度传感器和计算机硬软件,是目前国
北京理工大学 2021-04-14
城市污水生物膜强化脱氮多级A/O工艺
北京工业大学 2021-04-14
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