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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
关于印发《山东省科技支撑碳达峰工作方案》的通知
《山东省科技支撑碳达峰工作方案》已经省绿色低碳高质量发展先行区建设领导小组第一次会议审议通过，现印发给你们，请认真贯彻落实。
社会发展科技处
2023-06-21
富氧燃烧碳捕集基础理论、技术装备及工程示范
中试阶段/n该成果通过“产-学-研”协作，历经 20 年的研究与探索，掌握了富 氧燃烧碳捕集技术的基础理论、设计导则和计算方法，完成了富氧燃烧 相关的锅炉、燃烧器和氧注入器、烟气冷凝器、低能耗三塔空分系统和 压缩纯化系统等关键技术和装备的研发，先后建成了 0.3MW、3MW 和 35MW 等一系列高水平的小试、中试装置和工业示范装置，并完成了 200MWe 全 流程大型示范的预可行性研究和中国富氧燃烧实施路线图研究。 该成果为燃煤火电机组实现低碳排放提供了技术解决方案。国际能 源署研究认为，中国火电
华中科技大学
2021-01-12
碳包覆金属硫化物电极材料及其制备方法和应用
本发明公开了一种碳包覆金属硫化物电极材料及其制备方法和 应用。该电极材料由类半球双层结构颗粒组成，里层为金属硫化物， 外层为碳材料，金属硫化物的半球面被碳材料包覆，切面暴露；金属 硫化物的化学通式为 MSx，其中，M 为第四主族到第七主族金属元素 中的一种，1≤x≤3。该方法包括如下步骤：（1）将金属硫化物前驱 体覆盖在纳米线模板上，使之形成均匀整齐分散的纳米级产物；（2） 在金属硫化物表面覆盖一层均匀致密的碳材料薄
华中科技大学
2021-04-14
一种同时制备石墨烯和多孔非晶碳薄膜的方法
本发明公开了一种同时制备石墨烯和多孔非晶碳薄膜的方法，包括 S1 对金属镍片衬底进行超声清洗，并烘干后放置于管式炉中；S2向管式炉中通入惰性气体；S3 对管式炉进行升温处理使其达到750℃～1000℃并保持 10 分钟～50 分钟，向管式炉中通入氢气，并对金属镍片衬底进行热处理；S4 向管式炉中通入流量为 20sccm～100sccm 的碳氢化合物，使得经过热处理后的金属镍片衬底催化碳氢化合物裂解以及镍片溶碳后同时生长石墨烯和非晶碳薄膜；S5 对管式炉进行降温处理，并将生长有石墨烯和非晶碳薄膜的镍片
华中科技大学
2021-04-14
一种三维跨尺度碳电极阵列结构及其制备方法
本发明公开了一种三维跨尺度碳电极阵列结构及其制备方法， 该方法包括如下步骤：
（1）清洗硅片，去除表面杂质和氧化层；
（2）在硅片上涂覆负性光刻胶，并进行前烘；
（3）用 PDMS 模板作为压印 模板，进行压印工艺，得到光刻胶半球阵列结构；
（4）用氧等离子体 进行刻蚀，得到跨尺度的光刻胶阵列结构；
（5）将跨尺度的光刻胶阵 列结构进行热解，得到三维跨尺度碳电极阵列结构。
该方法简单，便 于控制，重复性好，制备的碳电极阵列结构稳定，具有大的比表面积 和良好的生物兼容性，可广泛应用于微型超级电容、微型电池、生物 芯片和微型传感器等微机电系统领域。
华中科技大学
2021-04-11
过碳酸钠、过碳酰胺、过氧化钙生产技术
过碳酸钠、过碳酰胺、过氧化钙是一类用途广泛的化工产品，可作为织物漂白剂、消毒剂、清洗剂、杀菌剂、电镀添加剂、除垢剂、制氧剂、蔬菜水果保鲜剂等。
1. 在环境保护方面，用于代替传统的曝气，促进有机物质的分解，加速细菌繁殖，增加活21化工学院科技成果性污泥量；处理重金属离子废水；治理赤潮。
2. 在农业方面，用于水稻直播，提高产量，缩短播种周期。用于根系供氧，增产增收。用于饲料青贮，可防止腐败变质。
3. 纺织工业中作漂白剂：有良好的洗净和漂白效果，且对着色物不受影响，对白色织物能增加白度，长期使用，织物不变黄，克服了氯系漂白剂的不足。
4. 急救供氧：在催化剂存在下，加水立即分解反应发生氧气，可用于急救供氧，处理简便、设备简单、安全、便宜。
5. 其它用途：水果的表面处理与保鲜剂；金属表面处理；天然橡胶硫化剂、密封剂、交联剂、引发剂等。还可用作为氧化物阴极材料以及杀菌剂、防腐剂、鲜酸剂、油类漂白剂及封闭胶泥的速干剂。
本技术采用先进的湿法连续结晶新工艺生产过碳酸钠、过碳酰胺，工艺简单，设备简单易得投资少，技术条件易掌握。生产过程无三废，已工业化。与国内大部分企业相比，投资减少约30％，成本减少约20％。年产1万吨规模，投资约600万元。
本技术采用先进的氧化钙悬浮氧化反应工艺生产过氧化钙，可制取高纯度的过氧化钙(76%或85%) 。设备少、工艺简单、产品质量好，已工业化。年产1万吨规模，总投资约1200万元。
华东理工大学
2021-04-13
一种非金属碳材料催化剂及其制备方法和应用
本发明涉及一种催化剂领域，具体涉及一种非金属碳材料催化剂的制备方法和应用。其特征是通过将柠檬酸与伯胺盐酸盐混合溶解于水中，并在160-200℃反应2分钟-4小时得到，该类碳材料目前也被称为碳量子点。此材料可用于亚甲基蓝的还原降解，以治理染料废水。
成果亮点
技术特点：本发明克服了现有传统的金属催化剂的缺点，突破了传统必须有金属参与才能用于实现染料催化降解的瓶颈，所用原料易得，价格便宜，易于大量的生产和工业推广，催化效率与报道的金属纳米材料的催化能力相当，无需光照，降解速度快，常温下即可实施，具备良好的环境相容性，使用后无需复杂的回收处理，无二次污染，绿色节能。应用情况：材料制备方式简单，催化速率高。
兰州大学
2021-01-12
一种自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜的制备方法
本发明公开了一种自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜的制备方法，包括下述步骤：S1：对金属镍片衬底进行超声清洗，并烘干后放置于管式炉中；S2：向所述管式炉中通入惰性气体；S3：对所述管式炉进行升温处理使其达到600℃-720℃，向所述管式炉中通入氢气，并对所述金属镍片衬底进行热处理；S4：向所述管式炉中通入碳氢化合物，使得经过热处理后的金属镍片衬底催化碳氢化合物裂解后生长非晶碳薄膜；S5：对所述管式炉进行降温处理，并将生长有非晶碳薄膜的镍片浸泡在腐蚀液中腐蚀掉衬底镍片后获得自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜。采用本发明制备方法对环境温度要求不高，制备得到的非晶碳薄膜具有多孔结构和自支撑结构，可以很方便转移至任何衬底。
华中科技大学
2021-04-14
一种苜蓿播种机用开沟器
本实用新型公开了一种苜蓿播种机用开沟器，主要由开沟装置、开沟器架、导肥装置和导种装置组成。开沟装置主要由侧翼铲、滑刀和扩沟板组成，旨在开出适宜苜蓿种子发芽的高质量种沟；导肥装置由导肥管和散肥器组成，用于将肥料导入种沟侧面；导种装置主要由导种管组成，旨在将苜蓿种子导入由开沟装置形成的种沟内。本实用新型能够满足苜蓿播种开沟的要求，可以开出高质量种沟，利于苜蓿种子出苗及第二年返青。本实用新型适用于大部分地区的苜蓿播种，特别是寒冷、干旱地区。
中国农业大学
2021-04-11