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浙江博蓝特半导体科技股份有限公司研发第三代半导体材料
浙江博蓝特半导体科技股份有限公司致力于以碳化硅为主的第三代半导体材料研究项目,围绕碳化硅晶体生长技术及碳化硅衬底加工技术进行研发及产业化。公司优势:国家高新技术企业,拥有省级企业研究院、省级高新技术研发中心、省级企业技术中心、院士工作站等研发平台,并与浙江师范大学、湖南大学、中科院宁波材料所分别建立联合实验室,致力于第三代半导体材料的研发及产业化。点击上方按钮联系科转云平台进行沟通对接!
中国科学院大学 2021-04-10
超高迁移率二维半导体BOX
首次发现一类同时具有超高电子迁移率、合适带隙、环境稳定和可批量制备特点的全新二维半导体(硒氧化铋,Bi2O2Se),在场效应晶体管器件和量子输运方面展现出优异性能。彭海琳课题组基于前期对拓扑绝缘体(Bi2Se3,Bi2Te3)等二维量子材料的系统研究,提出用轻元素部分取代拓扑绝缘体中的重元素,以降低重元素的自旋-轨道耦合等相对论效应,进而调控其能带结构,消除金属性拓扑表面态,获得高迁移率二维半导体。经过材料的理性设计和数年的实验探索,发现了一类全新的超高迁移率半导体型层状氧化物材料Bi2O2Se,并利用化学气相沉积(CVD)法制备了高稳定性的二维Bi2O2Se晶体。基于理论计算和电学输运实验测量,证明Bi2O2Se材料具有合适带隙(~0.8 eV)、极小的电子有效质量(~0.14 m0)和超高的电子迁移率。系统的输运测量表明:CVD制备的Bi2O2Se二维晶体在未封装时的低温霍尔迁移率可高于20000 cm2/V·s,展示了显著的SdH量子振荡行为;标准的Bi2O2Se顶栅场效应晶体管展现了很高的室温表观场效应迁移率(~2000 cm2/V·s)和霍尔迁移率(~450 cm2/V·s)、很大的电流开关比(>106)以及理想的器件亚阈值摆幅(~65 mV/dec)。二维Bi2O2Se这些优异性能和综合指标已经超过了已有的一维和二维材料体系。Bi2O2Se这种高迁移率半导体特性还可能拓展到其他铋氧硫族材料(BOX:Bi2O2S、Bi2O2Se、Bi2O2Te)。
北京大学 2021-04-11
宽禁带半导体 ZnO 和 AlN 单晶生长技术
中试阶段/n作为第三代半导体的核心基础材料之一的 ZnO 晶体既是一种宽禁带半导体,又 是一种具有优异光电性能和压电性能的多功能晶体。中国科学院半导体研究所的科 研人员研究掌握了一种生长高质量、大尺寸 ZnO 单晶材料的新型技术方法-化学气 相传输法(CVT 法)。III 族氮化物 GaN、AlN 及其三元组合化合物是制造波长为 190nm-350nm 的发光器件和新型大功率电子器件的基础材料。AlN 具有高热导率 (3.4W/cmK),与高 Al 组份的 AlGaN 材料和 GaN 材料晶格匹配等
中国科学院大学 2021-01-12
高端半导体光掩膜版量产关键技术
光掩膜版(又称光罩,掩膜版,英文 Photo-mask )是芯片制作中实现设计图形转移的载体,是决定其微细结构和线宽精度的核心材料和工具。 目前中国半导体掩膜版的国产化率10%左右,90%需要进口,高端掩膜版国产化率3%,miniLED和microLED产业升级也需要更多高端掩膜版。随着中国市场需求的持续提升,掩膜版产能严重不足。并且中国半导体掩膜版的产业起步较晚,技术滞后,核心技术和装备基本让国外公司垄断,特别是在设备、材料领域众多技术处于“卡脖子”状态,例如掩膜版制造的核心装备光刻机、检测机、测量机、修复机和贴膜机等都依赖进口,严重制约中国半导体产业的发展。华中科技大学徐智谋教授团队致力于全套高端半导体光掩膜版的关键核心技术研发与量产,为“卡脖子”技术研究而努力。 具有建立180 nm技术节点半导体掩膜版量产线相关核心技术;具备130 nm至28 nm半导体掩膜版研发、设计及验证能力。主要研究成果如下: 1) 工艺突破 团队掌握了掩膜版MEMS微纳加工量产核心技术,如电子束光刻、激光光刻和纳米压印光刻等MEMS微纳加工工艺的各类技术参数的搭配和优化,以及大数据量软件快速处理、补偿等。 2) 装备国产化 A. 超高精度二维测量装备 尺寸测量是验证掩膜版技术指标的核心,主要包括关键尺寸测量(CD)和长尺寸测量(TP)。团队已掌握掩膜版的关键测量技术,达到国内先进水平,具有整套设备的整机制造能力。 TP测量是掩膜版制作的核心指标,直接影响到客户的套合精度,该测量设备一直由国外极少数厂商垄断,且价格昂贵,一般在1000万美元以上,高端限制对中国出口。团队目前正在攻克该项技术,已取得阶段性成果。 B. 缺陷修复装备 掩膜版修补技术是提升良品率的关键手段,该技术一直为国外垄断。团队已熟练掌握UV、DUV激光化学沉积技术及皮秒飞秒激光金属处理技术,具备整机制造能力,可降低设备采购成本70%以上。 C. Pellicle自动贴膜装备 随着产品精度的提升和应用领域的高端化,掩膜版贴膜是个不可缺少的重要环节。在IC制造领域100%掩膜版需贴Pellicle,在IC封装领域90%以上需贴膜,在LED领域80%以上需贴膜。该贴膜设备一直国外公司垄断,国内厂家没有提供,国外采购全自动贴膜设备需100万美元左右。团队具备研发制造该设备的能力,贴膜精度±0.1mm,且有设备正式在产线运营,制造成本可节约90%以上。 3) 厂房建设关键技术 团队对MEMS及其掩膜工厂工艺设备厂务设计有丰富经验,掌握高等级防微震厂房结构和设备平台的设计施工,可达到VC-D级技术标准,满足纳米级生产技术要求。 【技术优势】 (1)掌握了高性价比掩膜版量产的关键核心技术,包括部分装备的国产化,解决“卡脖子”技术难题,量产线建设成本节约30%以上; (2)具备28 nm及以下技术节点掩膜版设计开发能力和验证平台,验证周期可缩短3倍; (3)拥有一支20多年以上掩膜版量产、研发和销售经验的队伍,成熟的企业管理经验,保证企业稳步成长,确保投资风险可控。 【合作方式】 股权投资合作共建或政府孵化+中试线。
华中科技大学 2023-03-29
非制冷薄膜型红外焦平面阵列探测器结构及其制备方法
非制冷薄膜型红外焦平面阵列探测器结构,包括含读出电路的第一基片,含热隔离微桥阵列和敏感元阵列的第二基片,所述第一基片与第二基片键合成一体,所述热隔离微桥阵列中的各热隔离微桥单元以刻蚀后的第二基片为桥墩,以与所述桥墩顶面紧密结合的支撑层为桥面;各热隔离微桥单元的桥面上均设置有敏感元阵列,各敏感元阵列通过引线电极与第一基片上对应的读出电路实现电连接。制备方法:第一基片键合面图形的制备;支撑层制备;敏感元阵列的制备;第二基片正面保护;热隔离微桥阵列的制备;第一基片与第二基片的键合;除去第二基片的正面保护层;敏感元电极读出电路电极的连接。
四川大学 2021-04-11
基于超材料的毫米波单谱信号探测器及其制备方法
本发明公开了一种神经轴突牵拉生长装置,由培养与牵拉控制系统和机械装置两部分组成。其中,培养与牵拉控制系统包括有细胞培养箱、上位机、控制器和步进电机,机械装置包括有连接步进电机的联轴器、滚珠丝杆直线滑台、牵拉连接块、细胞牵拉生长装置、装置支撑架、底座。控制器连接并驱动步进电机旋转,带动联轴器一端的滚珠丝杆直线滑台产生位移,细胞牵拉生长装置固定在装置支撑架上,通过固定在直线滑台上的牵拉连接块而间接牵拉神经轴突。通过
华中科技大学 2021-04-14
一种基于迈克尔逊干涉仪的声波探测器
本发明公开了一种基于迈克尔逊干涉仪的声波探测器,包括窄 带光源、光电转换单元、数据采集分析单元和声波探测传感头;声波 探测传感头的输入端连接窄带光源的输出端,光电转换单元的输入端 连接声波探测传感头的输出端;数据采集分析单元的输入端连接光端 转换单元的输出端;通过声波探测传感头将声信号转化为光信号传播, 采集光信号并通过光电转换单元将光信号转变为电信号,由数据采集 分析单元采集到电信号并根据电信号获取探测到的声信号的
华中科技大学 2021-04-14
一种基于迈克尔逊干涉仪的声波探测器
本发明公开了一种基于迈克尔逊干涉仪的声波探测器,包括窄 带光源、光电转换单元、数据采集分析单元和声波探测传感头;声波 探测传感头的输入端连接窄带光源的输出端,光电转换单元的输入端 连接声波探测传感头的输出端;数据采集分析单元的输入端连接光端 转换单元的输出端;通过声波探测传感头将声信号转化为光信号传播, 采集光信号并通过光电转换单元将光信号转变为电信号,由数据采集 分析单元采集到电信号并根据电信号获取探测到的声信号的
华中科技大学 2021-04-14
MXY8000-5 四象限探测器及光电定向实验仪
一、产品简介      目前四象限探测为比较理想的线性定向传感器,本实验仪为四象限探测与光电定向相关的实验装置,包含硬件电路设计对探测信号的处理包括信号的加减等,最终将测量结果显示在数字表头上;单片机采集探测信号,并对信号进行处理,将实验结果显示在显示屏上,或者上传给上位机,上位机对数据进行处理并显示在显示器上。 二、实验内容 1、系统组装调试实验 ;   2、红外发射管伏安特性实验; 3、红外接收管暗电流和光电流测量实验; 4、PWM脉冲波调节激光发射器电压实验; 5、四象限探测器输出脉冲信号放大实验; 6、四象限探测器输出脉冲信号展宽实验; 7、由电阻构成的硬件和差运算电路实验; 8、由运算放大器构成的硬件和差运算电路实验; 9、坐标计算实验; 10、四象限探测器输出信号数据采集实验; 11、四象限位置测量系统设计实验(LCD128*64显示测量坐标); 12、上位机软件实验; 13、扫描寻光实验; 14、半自动跟踪实验; 15、全自动跟踪实验; 16、外接驱动信号跟踪实验; 17、四象限探测外接信号调制解调实验; 三、平台配套文件资料   实验指导书1本;  
天津梦祥原科技有限公司 2021-12-17
非致冷高功率半导体泵浦激光器封装关键技术及应用
本项目属光、机、电、材一体化技术领域,具有多学科综合的特点。半导体激光器具有效率高、体积小、重量轻、结构简单、能将电能直接转换为激光能、功率转换效率高、便于直接调制、省电等优点,因此应用领域日益扩大。半导体激光技术已成为一种具有巨大吸引力的新兴技术并在工业中得到了广泛的应用。高功率半导体泵浦激光器是半导体激光技术中最具发展潜力的领域之一。 半导体激光器最大的缺点是激光性能受温度影响大,光束的发散角较大。封装成本占半导体激光器组件成本的一半,封装技术不仅直接影响泵浦激光器组件的可靠性,而且直接关系到泵浦激光器芯片的性能能否充分发挥。本项目对非致冷高功率980nm泵浦激光器的封装技术进行了研究,整个封装技术涉及光学、电学、热学、机械等,精度达微米数量级。通过采用激光器芯片的倒装贴片技术,小型化、全金属化无胶封装技术,最终满足了光纤放大器对泵浦激光器小体积、高功率、低成本、高可靠性的要求。光耦合则采用透镜光纤直接耦合,最大限度地减小耦合系统的元件数和相关损耗,提高了光路可靠性和易操作性。采用双光纤光栅波长锁定技术,提高了非致冷高功率980nm泵浦激光器的边模抑制比和波长稳定性。项目组通过采用这些技术,最终解决了一系列非致冷高功率980nm泵浦激光器封装关键技术。 经国家光学仪器质量监督检测中心测试,非致冷高功率980nm泵浦激光器主要技术指标如下:    1. 管壳尺寸:12.7(mm)×7.4(mm)×5.2 (mm)    2. 工作温度:0-70℃    3. 中心波长:980nm    4. 谱 宽:1nm    5. 阈值电流:24mA    6. 输出功率:240mW    7. 功 耗:小于1W 本项目的研究成果,通过与相关企业开展产学研合作,经过近五年的技术研发和不断改进,非致冷高功率980nm泵浦激光器封装关键技术研究成果已成功应用于相关产品的批量生产,为企业创造了较好的经济效益。在社会效益方面,填补了我国非致冷高功率半导体泵浦激光器方面的不足,对行业技术进步和产业结构优化升级起到了积极的推动作用。 耦合封装是对精度要求非常高的一系列工艺过程,这注定它很难实现自动化技术。因此,小型化泵浦激光器封装技术的研究成果,特别适合在中国这样人力成本低且技术基础好的环境。通过对小型化980nm泵浦激光器封装技术的研究,实现了封装技术的源头性创新,有助于向其他半导体泵浦激光器和光电器件的耦合封装拓展。该技术在光电子器件的应用方面具有广阔的市场潜力和广泛的推广应用前景,将成为形成光电子器件封装技术产业的重要技术支撑。
上海理工大学 2021-04-11
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