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等离子体增强化学气相沉积（PCVD）技术
等离子体增强化学气相沉积（PCVD）技术是在一定温度和气压的真空炉内通入工作气体，产生辉光放电，激活沉积反应，从而在基材表面形成耐磨损、抗氧化的陶瓷涂层。本项目为PCVD工业生产型设备及模具强化成套技术，1999年1月通过了国家教育部组织的技术鉴定，认为该项目在设备总体结构的优化设计、逆变式脉冲直流等离子体技术、脉冲直流PCVD法制备高性能TiN陶瓷涂层和
西安交通大学
2021-01-12
等离子体激励器对典型翼面流动分离控制
流动分离不仅会导致飞行器的升阻比骤减、油耗剧增，甚至会引起机翼的剧烈振动，从而降低其使用寿命。全球范围内基于等离子体激励器的主动控制技术的研究正方兴未艾。课题组所研发的锯齿形激励器能够在高雷诺数O(105)下有效地抑制流动分离。该研究首次对三维等离子体激励器在流动分离方面的应用进行了实验验证。
哈尔滨工业大学
2021-04-14
等离子体荷电干式喷钙脱硫系统
项目简介 本成果是一种在输送管道中脉冲电场活化干式喷钙烟气脱硫方法和装置，属气体放 电物理、大气压等离子体物理和环境工程等技术领域。本发明的目的是为解决荷电干式 吸收剂喷射脱硫技术（CDSI）存在的脱硫率较低，Ca/S 比较高，脱硫剂利用率不足以及 运行费用高的问题，提供了在输送管道中脉冲电场活化干式喷钙烟气脱硫方法。该脱硫 方法结合了 CDSI 法的特点，研制了在输送管道中脉冲电场活化干式喷钙烟气脱硫系统， 可直接
江苏大学
2021-04-14
RD-15D反渗透去离子纯水机
产品详细介绍 产品简介RD-15D反渗透去离子纯水机配置有在线电阻率仪，出水水质一目了然。出水水质：13-16MΩ-cm 25℃，0.077-0.063 µs/cm，脱盐率：近100%，1个反渗透水出水口＋1个去离子水出水口，出水量：15升/小时 RD-15D反渗透去离子纯水机详细介绍 RD-15D反渗透去离子纯水机融合各种尖端水处理技术和过程控制方法于一体，将自来水直接转化为超纯水，出水水质完全符合ASTM、NCCLS I级、GB6682-92 I级和GB/T11446-1997 I级等规定的用水要求。广泛适用于化学、生物、制药、医学、微电子、半导体等领域，满足光谱分析、色谱分析、细胞培养、蛋白纯化、分子生物学等的应用要求。精选全球优质组件：● RO膜：美国DOW陶氏、美国FCS● 泵、机箱：美国Kflow● 预处理组件：美国Kflow● 自动控制组件和安全保护装置：美国Kflow、美国Sciencetool融入世界尖端科技：● RO膜采用美国太空总署NASA研发的反渗透技术，脱盐率>99%，除菌率>99.5%● 二级混床保证出水水质，延长超纯柱寿命；特有内循环功能，时刻保证顶级水质● RO膜自动防垢冲洗，24小时全自动运行● 长效预过滤器，2年不用更换，降低使用成本，延长后续过滤组件寿命
上海本昂科学仪器有限公司
2021-08-23
一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺
本发明公开了一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺，包括步骤：（1）在单晶硅片上旋涂光刻胶并通过光学光刻或电子束光刻得到光刻胶图形 ；（ 2 ） 镀 上 银 膜 或 金 膜 ；（ 3 ） 在 电 场 之 中 ， 采 用 HF 、H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>和去离子水的混合溶液作为刻蚀剂进行金属催化刻蚀；（4）去除光刻胶；（5）去除单晶硅片上残留的金属膜并进行清洗处理。本发明通过在刻蚀过程中控制电场强度，由此形成从数十纳米至数
华中科技大学
2021-04-14
一种铌酸锂纳米器件的刻蚀方法
本发明属于光电器件制备技术领域，具体为一种铌酸锂材料的刻蚀方法。本发明方法包括：在铌酸锂表面制备金属钝化层，用来提高纳米图形的保形性以及侧壁刻蚀倾斜角；沉积硬掩膜，并采用微电子光刻技术进行图形化处理；在待刻蚀的铌酸锂区域沉积活性金属薄膜，以提高刻蚀深度；将覆盖有活性金属层的铌酸锂晶体在还原气氛中进行退火；然后采用相应的酸溶液和碱溶液去掉铌酸锂表面的金属及其与铌酸锂的反应物，得到具有一定刻蚀深度的铌酸锂纳米图形。所制备的大规模铌酸锂纳米器件阵列尺寸可控，保形性和重复性好，侧壁倾斜角大于80°，图形凸块表面光滑。铌酸锂纳米器件制备步骤简单，难度低，可降低大规模生产成本。
复旦大学
2021-01-12
高频辉光放电等离子体化学气相沉积（PECVD）装置
PECVD（plasma enhanced chemical vapor deposition）—等离子体化学气相沉积，在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子，提供化学气相沉积过程所需的激活能，相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1）自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号；2）可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境，且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3）专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构，可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构，可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4）该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计，符合产品要求。
北京交通大学
2021-04-13
面向工业废气 VOCs 治理的低温等离子体发生装置
成果简介：面向工业废气 VOCs 治理的低温等离子体产生 装置是工业废气 VOCs 治理的关键装置，该装置能够产生破坏 VOCs 的高能电子、原子氧等活性粒子，对通过低温等离子体 产生装置中的工业废气 VOCs 进行有效分解，特别适合大流量 的工业废气 VOCs 的治理要求。面向工业废气 VOCs 治理的低 温等离子体产生装置包括低温等离子体发生器和高频高压电 源，其中的低温等离子体
合肥工业大学
2021-04-14
高性能等离子体金属表面强化技术及装备
项目简介 渗氮渗碳强是广泛需要的技术，等离子渗氮渗碳强化零部件表面，环保、高效等， 但渗层不均、打弧等。本项目发明了一种交互式双阴极等离子表面热处理装备，强化电场强度，
西华大学
2021-04-14
聚变等离子体中磁岛与湍流相互作用
项目简 介： 聚 变能源与化石能源相比对空气无任何污染，与 裂变能源比较不会产生较强的放射性污染。托克马克磁约聚变装置是使用磁场将高温等离子体约束在磁场空间内，实现热
西华大学
2021-04-14