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248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。  利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:  在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
辽宁大学 2021-04-10
一种网络化的自动距离测量装置
成果描述:本实用新型公开了一种网络化的自动距离测量装置,其结构包括装配板、装配孔、红外发射器、电线、护罩、机体、超声测距头、无线杆、超声头护环、红外接收器,装配板与机体相连接,装配孔设于装配板上,红外发射器安装于护罩上,护罩与机体螺丝连接,超声测距头通过超声头护环与护罩连接,无线杆与机体相连接,本实用新型的有益效果:本设备通过在测量装置上设有超声测距头和由红外发射器与红外接收器组合而成的红外测距设备,并在机体设有距离判断模块,使设备能够在平时使用时进行红外自动测距,并在距离达到限度时自动开启超声测距进一步精确测量距离,保证测距智能化和准确性,从而保证装配设备的安全使用。市场前景分析:本实用新型公开了一种网络化的自动距离测量装置,其结构包括装配板、装配孔、红外发射器、电线、护罩、机体、超声测距头、无线杆、超声头护环、红外接收器,装配板与机体相连接,装配孔设于装配板上,红外发射器安装于护罩上,护罩与机体螺丝连接,超声测距头通过超声头护环与护罩连接,无线杆与机体相连接,本实用新型的有益效果:本设备通过在测量装置上设有超声测距头和由红外发射器与红外接收器组合而成的红外测距设备,并在机体设有距离判断模块,使设备能够在平时使用时进行红外自动测距,并在距离达到限度时自动开启超声测距进一步精确测量距离,保证测距智能化和准确性,从而保证装配设备的安全使用。与同类成果相比的优势分析:国内领先
成都大学 2021-04-10
一种自动化初期雨水弃流装置
成果描述:本实用新型公开了一种自动化初期雨水弃流装置,包括收集管、与收集管连通的三通阀以及设置在收集管内的过滤器;收集管上安装有流量计,收集管的管顶铰接有一缓流板;三通阀一侧设有与收集管连通的进水口,另一侧设有第一出阀口和第二出阀口,三通阀内设有阀板,阀板一侧与三通阀内壁固定连接,另一侧上端与伸缩杆相连,三通阀上设有密封盒,密封盒内安装有用于控制伸缩杆伸缩的控制器;过滤器包括依次连通的第一过滤腔和第二过滤腔。本实用新型通过流量计记录雨水流量,利用控制器控制伸缩杆伸缩,从而改变阀板的位置,达到切换雨水流向的目的,以此排出初期污染雨水;本实用新型的装置自动化效率高、占地面积小、投资较低、运行维护方便。市场前景分析:本实用新型通过流量计记录雨水流量,利用控制器控制伸缩杆伸缩,从而改变阀板的位置,达到切换雨水流向的目的,以此排出初期污染雨水;本实用新型的装置自动化效率高、占地面积小、投资较低、运行维护方便。与同类成果相比的优势分析:国内领先
成都大学 2021-04-10
网络化测土配方施肥专家系统
系统根据地块土壤养分含量和农作物的养分需求,在测土配方施 肥专家模型基础上,利用 GIS 和决策支持系统计算施肥量,给出施肥建议卡。 系统有助于推广测土配方施肥技术,实现节肥增效。现有单机版、网络版、触 摸屏、手机版四个版本,并已在莱西、平度、胶州等多地进行推广应用。该系 统稳定性高,易安装、易使用,适用于农业土肥管理部门、化肥经销商、大型 农场等农业生产管理和农资供应等相关企事业单位使用。 
青岛农业大学 2021-04-11
一种竹条的自动化送料装置
本发明公开了一种竹条的自动化送料装置,包括送料机构和出料机构,所述送料机构和出料机构之间设有识别分拣机构和翻转机构;所述识别分拣机构将黄面朝上和青面朝上的竹条分开,通过接料机构将青面朝上的竹条输送给翻转机构,通过输送机构将黄面朝上的竹条输送给出料机构;所述翻转机构包括翻砖块,该翻砖块内设有螺旋通道,青面朝上的竹条经过该螺旋通道后实现180°翻转,然后进入出料机构。本发明的有益效果是:利用竹条上下面摩擦系数差别大的特点,有效区分青面向上和黄面向上的竹条,实现竹制品原材料自动化识别、分拣及翻转,最后把所有竹条送入代加工,不浪费。解决了人工成本高、效率低的问题。
浙江大学 2021-04-11
牙体硬组织再矿化的复合材料
相关专利提供一种牙体硬组织再矿化的复合材料,包括模拟体液,在模拟体液中增加羧甲基壳聚糖和无定形磷酸钙成分。能对脱矿牙体组织起到再矿化作用。
天津医科大学 2021-02-01
电子式互感器的研究及产业化
本项目采用FPGA加ARM的硬件处理平台,实现电网一次侧电压电流数据采集和多通道接收处理,并依据IEC618509-1/2标准实现将采样值通过光纤传输系统发送,通过上位机接收,可用解析软件对报文进行解析,对一次波形进行还原。
东南大学 2021-04-10
新型量子吸蓝光护眼材料研发及产业化
"本项目研发的新型量子吸蓝光材料,用于防蓝光眼镜,防蓝光护眼贴膜等产品。可用于防护液晶(LCD)和有机电致发光(OLED)手机,电脑显示器等电子产品显示器屏幕发出的高能蓝光,实现健康护眼的目的。 该种新型量子吸蓝光材料具有超强的光波过滤功能,比市面现有主流吸蓝光材料效果高10-100倍,处于世界领先水平。在技术层面优于市场上现有产品。依托于先进的新型量子技术制备防蓝光护眼镜片和护眼贴膜,可高效吸收蓝光,从根本上解决电子产品蓝光伤害这一社会痛点问题。 本项目量子防蓝光眼镜和贴膜产品的生产有两条技术路线,主要步骤如下: 1、无机吸蓝光材料分散在聚合物基材(如聚碳酸酯,聚丙烯酸酯)中直接成型; 2、无机吸蓝光材料分散在紫外光固化胶水中,采用涂布技术制作镜片或者可贴合膜片。"
南京大学 2021-04-10
小型核化探测遥操作机器人项目介绍
为应对核生化恐怖威胁以及保障核电站的运营安全,迫切需要研制一种适应各种复杂环境、高度机动灵活、远程控制距离远、现场可迅速展开并具有一定应急处理能力的小型核化探测遥操作机器人。 小型核化探测遥操作机器人主要由(1)机器人本体、(2)小型四自由度机械臂、 (3)遥操作控制箱三部分组成。机器人自身配有姿态传感器,GPS定位和激光雷达,结合摄像头的图像信息,可以将机器人周围的环境情况回传给操作人员,使得操作人员可以根据现场情况对机器人的行动进行决策,如图所示。
东南大学 2021-04-11
金丰公社现代农业服务信息化平台
1、农业服务信息化平台系统。打造服务于农业生产的综合性服务平台,解决服务信息不对称等问题。 2、农业精准生产大数据集成平台系统。建设卫星遥感农业精准生产大数据平台,解决作物种植面积与产量估测、精细农作以及农作管理决策等。 3、建设农机作业监测精准管理系统。综合物联网技术、传感器技术、图像识别技术、遥感技术、卫星定位技术以及无线通讯技术,解决作业监测精准管理。 4、农产品销售服务平台系统与云追溯平台。建设农产品产销对接与全程电子商务平台服务系统,构建农产品质量安全智慧追溯云平台。
中国农业大学 2021-05-09
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