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高端半导体光掩膜版量产关键技术
光掩膜版(又称光罩,掩膜版,英文 Photo-mask )是芯片制作中实现设计图形转移的载体,是决定其微细结构和线宽精度的核心材料和工具。 目前中国半导体掩膜版的国产化率10%左右,90%需要进口,高端掩膜版国产化率3%,miniLED和microLED产业升级也需要更多高端掩膜版。随着中国市场需求的持续提升,掩膜版产能严重不足。并且中国半导体掩膜版的产业起步较晚,技术滞后,核心技术和装备基本让国外公司垄断,特别是在设备、材料领域众多技术处于“卡脖子”状态,例如掩膜版制造的核心装备光刻机、检测机、测量机、修复机和贴膜机等都依赖进口,严重制约中国半导体产业的发展。华中科技大学徐智谋教授团队致力于全套高端半导体光掩膜版的关键核心技术研发与量产,为“卡脖子”技术研究而努力。 具有建立180 nm技术节点半导体掩膜版量产线相关核心技术;具备130 nm至28 nm半导体掩膜版研发、设计及验证能力。主要研究成果如下: 1) 工艺突破 团队掌握了掩膜版MEMS微纳加工量产核心技术,如电子束光刻、激光光刻和纳米压印光刻等MEMS微纳加工工艺的各类技术参数的搭配和优化,以及大数据量软件快速处理、补偿等。 2) 装备国产化 A. 超高精度二维测量装备 尺寸测量是验证掩膜版技术指标的核心,主要包括关键尺寸测量(CD)和长尺寸测量(TP)。团队已掌握掩膜版的关键测量技术,达到国内先进水平,具有整套设备的整机制造能力。 TP测量是掩膜版制作的核心指标,直接影响到客户的套合精度,该测量设备一直由国外极少数厂商垄断,且价格昂贵,一般在1000万美元以上,高端限制对中国出口。团队目前正在攻克该项技术,已取得阶段性成果。 B. 缺陷修复装备 掩膜版修补技术是提升良品率的关键手段,该技术一直为国外垄断。团队已熟练掌握UV、DUV激光化学沉积技术及皮秒飞秒激光金属处理技术,具备整机制造能力,可降低设备采购成本70%以上。 C. Pellicle自动贴膜装备 随着产品精度的提升和应用领域的高端化,掩膜版贴膜是个不可缺少的重要环节。在IC制造领域100%掩膜版需贴Pellicle,在IC封装领域90%以上需贴膜,在LED领域80%以上需贴膜。该贴膜设备一直国外公司垄断,国内厂家没有提供,国外采购全自动贴膜设备需100万美元左右。团队具备研发制造该设备的能力,贴膜精度±0.1mm,且有设备正式在产线运营,制造成本可节约90%以上。 3) 厂房建设关键技术 团队对MEMS及其掩膜工厂工艺设备厂务设计有丰富经验,掌握高等级防微震厂房结构和设备平台的设计施工,可达到VC-D级技术标准,满足纳米级生产技术要求。 【技术优势】 (1)掌握了高性价比掩膜版量产的关键核心技术,包括部分装备的国产化,解决“卡脖子”技术难题,量产线建设成本节约30%以上; (2)具备28 nm及以下技术节点掩膜版设计开发能力和验证平台,验证周期可缩短3倍; (3)拥有一支20多年以上掩膜版量产、研发和销售经验的队伍,成熟的企业管理经验,保证企业稳步成长,确保投资风险可控。 【合作方式】 股权投资合作共建或政府孵化+中试线。
华中科技大学 2023-03-29
基于网络及数字媒体平台的高端信息服务技术
1 成果简介基于网络及数字媒体平台的高端信息服务关键技术和产业化——通过网络及数字媒体服务平台(如数字电视,有线宽带,电信 e 家平台等),设计后端高端信息服务体系架构,从而最大化的利用多媒体数字服务平台构建高端信息服务网络生态系统平台并产业化。 项目有利于改变目前网络数字媒体和计算机软件的“ 生态链”,渠道提供者与服务提供者会占据更为重要的位置, 这也符合我们的实际国情。同时,提升深港和大珠三角地区网络数字媒体平台,高端信息服务,系统集成商及数字媒体工业的能力,在数字媒体网络接入平台的融合潮流中发展创新性的技术和把握市场机会,快捷有效地开发新的先进技术,拓展新商机,将广东省及产业示范基地的信息内容服务和增值服务产业做大、做强。2 应用范围广东省和大珠三角地区的信息产业,系统集成商,高端信息服务商,与数字媒体网络行业相关的企业如消费电子产品,通讯产品,数字电视和计算机产品等的数字媒体设计公司,均可受惠。
清华大学 2021-04-13
分布式小型光伏电站系统施工建设仿真实训
分布式小型光伏电站系统施工建设仿真实训让学员以现场施工工程师的身份根据提供的项目说明书、施工图纸和材料到现场进行小型电站的模拟施工,提高学员的实践能力和动手能力。 1.1. 场景设计 虚拟场景主要由厂户楼顶施工场景组成; 场景模型主要包括:厂户建筑模型、支架基础桩、支架前后立柱、横梁、侧梁、接地扁钢、晶硅光伏组件、边压块、中间压块、接线盒、连接线、直流汇流箱、进线、出线、熔断器盒、断路器、避雷器、逆变器、PVC保护线管、五金螺丝螺母、安全帽、施工工具等 1.2. 互动设计 在施工场景看懂图纸,检查施工物料 根据提示到指定位置使用工具把支架、光伏组件、汇流箱、逆变器一一安装起来 进行组件阵列间串联和并联接线 进行防雷焊接 施工完成后进行投切并网操作 场景植入VR太阳模块,精准计算该项目所在位置的太阳位置,太阳高度角和方位角,在虚拟场景中全时仿真太阳产生的阴影。
广东顺德宙思信息科技有限公司 2025-06-02
工业参数显示屏,工业数据LED屏,
产品详细介绍工业参数显示屏     采用LED点阵显示屏显示与反馈工业生产中的各类参数,显示方式灵活、清晰、醒目、直观、性能稳定可靠、功耗低、寿命长。用于控制室、车间、监控室、实验室等场合。常用于PM10/PM2.5、电量、功率、频率、温度、湿度、压力、液位、流量、耗煤量、噪音及多种环保参数信息的检测与显示。 LED点阵参数显示屏 除包含 数码参数显示屏 的全部功能外,还具有以下扩展功能: 1、显示标语、口号、欢迎词等文字信息,可文字与参数信息自动切换循环显示; 2、可修改参数显示的字符大小、位数,或者添加减少一个参数,显示方式比较灵活,数码参数显示屏一旦生产结束,显示字符的大小、位数等信息便不易修改。 3、能实现文字和数字的混合显示。  主要特点: 1、 直观数字显示——精确显示测量值、累积值、设定值等多处参数; 2、 形象模拟显示——以模拟图形加信号指示灯、数码、点阵等方式显示动态信息,给人以动感,一目了然;3、 可调报警功能——可自由设置上下限值进行示意并发出报警信号; 4、 数字运算功能——内嵌微处理器,可常规数学运算; 5、 简便操作功能——显示参数的设定采用红外遥控器或软件485通讯实现; 6、 断电保护功能——掉电后参数10年不丢失; 7、 自带时钟显示——自带万年历,断电时钟不停; 8、 自动上传参数——参数值自动上传给计算机或其他设备使用,每秒1次。 技术指标:     1、工作条件①工作条件:环境温度:-25~85℃ ②相对温度:≤85%   ③电源电压:220V±10%,50HZ; 2、精度等级:±0.2%,显示分辨率:0.025%; 3、报警输出:可设定上下限报警点; 4、数显量程可设定,小数点定位可设定; 5、数量的位数,数码管的大小可根据用户的要求选择; 6、具有万年历显示功能; 7、参数设置以太网接口,可远程设置; 8、可同时检测显示多路4~20MA的标准输入信号,每路具有独立的零点与斜率调校软件硬件,可以通过各种总线接口形式读入数据,实时显示; 9、每路可独立设定量程与小数位.且断电后设定值可长期保存; 10、采集显示更新频率1次/秒。 常见名称:     现场数显大屏、电量显示器、功率显示器、频率显示器、温度显示器、湿度显示器、压力显示器、液位显示器、流量显示器、耗煤量显示器、环保参数显示器、工业参数显示器、噪音监控显示器;
深圳市优科斯机电科技有限公司  2021-08-23
2022年中国产学研合作创新示范企业名单公示
为加强企业主导的产学研深度融合,强化目标导向,提高科技成果转化和产业化水平。
中国产学研合作促进会 2023-02-02
自动化码头堆场装卸设备及系统国产化替代方案
项目背景:安全、高效、绿色、智能的自动化智能化码头都 是国内港口发展的必然趋势。中国是港口大国,在“交通强国” 国家战略的统筹下,国内各大港口先后开展了自动化智能化码头 的新建和改造升级工作。但国内现有、在建及规划中的所有集装 箱自动化码头装卸设备控制系统、自动化单元、自动化管控信息 化系统的核心技术及部件基本依赖进口,这些核心技术及部件被 ABB、SIEMENS 等国外公司所垄断,并形成了技术壁垒。面向国 内集装箱港口自动化智能化的现实需求,加快“卡脖子”关键核 心技术的突破和关键零部件国产化替代势在必行,迫在眉睫。 所需技术需求简要描述:1.依据国产工业控制平台的技术特 点和现有港口场景的业务需求和任务流程,搭建基于国产平台的 物理架构。对标 ABB、西门子等成熟平台,主要考核指标:每秒 至少处理 500 个任务、软件响应时间为毫秒级、支持多系统扩展; 在国内一流大港的集装箱码头实现工程应用。堆场效率不低于 30 循环/小时,人工介入率不高于 5%;与 ABB 或西门子等管控系 统下辖场桥设备实现同堆场组网、互联互通以及无缝替代。2. 结合目标工程研制测试验证平台,实现单机控制系统和堆场管控 系统的数字仿真测试、半物理仿真试验。为工程应用奠定基础。 在测试验证基础上,完成控制系统和管控系统迭代优化,并实现在智慧港口的生产联网应用。主要考核指标:(1)具备按目标港 口实际实现三维场景快速搭建能力,具备多接口接受不同的数据 驱动源的能力;(2)具备关键设备数据收集及数据实时可视化展 示的能力;(3)软件系统支持多客户端计算机同时运行(10+); (4)系统支持第三方三维模型导入;(5)系统模型数量级不低 于在场箱 10 万,其他运动机械模型 1 万;可实现在场岸桥≥6 台、场桥≥20 台、AGV≥20 台、集装箱≥2 万 TEU、年吞吐量 200 万 TEU 规模集装箱码头的模拟仿真。  对技术提供方的要求:1. 拥有完善的科研管理体系,符合国 标的质量管理体、环境与职业健康安全体系;2. 拥有与本项目 技术方向相关的省部级工程技术科研平台及测试中心;3. 承担 过本项目相关领域的国家级科研攻关项目;4. 设有硕士点、联 合博士点和博士后研究工作站。 
青岛海西重机有限责任公司 2021-09-02
国产深圳贴片机,LED深圳贴片机QS-600-15
产品详细介绍国产深圳贴片机,LED深圳贴片机QS-600-15   http://www.qinsidianzi.com/
深圳市勤思科技有限公司 2021-08-23
广州软件学院
广州软件学院 2021-05-17
美术教学软件
具备多种类数字画笔,有铅笔、毛笔笔触和橡皮擦等12种基本笔触;还有小草、蝴蝶等8种常用特殊笔触,工具栏自定义笔触可增加至50种特殊笔触;支持数字化图形图像处理技术、可调整图像以及输入文本等功能;支持psd、png、jpg等常用图片格式的导入和导出;支持图层无极缩放和分层操作,可单独保存图层为多种图像格式,便于数字资源积累和原创素材增加;支持美术课程局域网内多用户交互式教学,支持多人协同绘画完成一幅作品;支持美术作品创作记录和回放演示;内置“可扩展素材库”,支持素材库扩展功能,素材库分类包括植物、动物、人物、风光等并可以根据校本教学需求设置年级、班级和地方特色素材库;支持示范评价以及美术作品欣赏管理,软件自身可一键登录云平台网站,无需借助其他浏览器。具有配套正式出版的音像教程,包括入门篇、基础篇、提高篇,不仅有教学设计,还配有视频演示,提供案例创作的素材,便于开展教学。
康智达数字技术(北京)有限公司 2021-08-23
心理测评软件
产品详细介绍   北京师范大学---心理测评档案系统软件 1 瑞文标准推理测验 2 威廉斯创造力倾向测验 3 瑞文高级推理测验 4 韦氏儿童(加工具箱) 5 韦氏幼儿(加工具箱) 6 儿童智能50项(加工具箱) 7比内-西蒙测验(加工具箱) 8 希内学习能力测评软件(正常)(加工具箱) 9 希内学习能力测评软件(聋哑) 10判定孩子创造潜能的方法问卷 11幼儿观察能力检测表 12幼儿绘画素质检测表 13幼儿记忆能力检测表 14幼儿交往能力检测表 15幼儿音乐能力检测表 16 团队领导能力问卷 17卡特尔十六种人格16PF 18 艾森克人格测验EPQ 19 爱德华个人偏好量表 20 明尼苏达多相人格测验 21 超常行为检查表 22 意志力测验 23 中国青年人格问卷 24 3-7岁儿童气质问卷(PTQ) 25 儿童自我意识 26 十四种人格 27 中小学生适应能力测验 28 中学生人际交往能力测验 29 气质测验 30 社会适应性自评问卷 31 信任量表 32 个人评价问卷 33 容纳他人量表 34 自信心心理测量 35 员工人际交往能力测试 36 SCL-90 37 中小学生心理健康量表(MHT) 38 抑郁自评量表 39 焦虑自评量表 40 考试焦虑测验 41 大学生人格健康调查测验 42大学生行为问题量表 43 自杀态度测验 44 情绪-社交孤独测验 45 Beck抑郁测验 46 自卑感量表 47 嫉妒量表 48 人生观测验 49 应对方式量表 50 压力应对方式问卷 51 生活事件 52 青少年生活事件测验 53 Achenbach儿童行为测验 54 儿童多动症核查测验 55 精神症状自我诊断量表 56 婴幼儿孤独症判定量表 57 康奈尔医学指数 58 汉密顿焦虑量表 59 汉密顿抑郁量表 60 婚姻关系适合度评定 61 恋爱方式测验 62 生活满意度评定量表老年版(它评) 63 生活满意度指数A老年版(自评) 64 儿童孤独量表 65 儿童社交焦虑量表 66 中学生网络成瘾量表 67 自我和谐问卷 68 交往焦虑量表 69 领悟社会支持量表 70 人际关系综合诊断测验 71 社交回避及苦恼量表 72 匹兹堡睡眠质量指数 73 简易精神状态量表 74 社会功能缺陷筛选量表 75 OLSON婚姻质量问卷 76 学生与教师相处的行为困扰的诊断量表 77 学习方式(信息加工方式)测验 78 学习方法与技能测验 79 学习动机测验 80 学业成就与人际关系归因测验 81 学习风格测验 82 家庭亲密度和适应性量表 83 家庭教育方式综合测评 84 (4-7)岁儿童社会化量表 85 家庭功能评定量表 86 马氏倦怠通用量表(MBI—GS) 87 升学就业指导(职业倾向) 88 专业职业(信息加工)类型测验   管理系统是保障所有测验正常运行并提供客户端测试和服务器端管理功能的,必须购置   备注:以上心理测量软件购买者既可以全套购买也可以根据需要挑选购买。  
北京辅仁淑凡软件科技有限公司 2021-08-23
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