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一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法,属于微机电系统的封装方法,解决现有封装方法存在的问题,使得微型真空腔长时间保持真空,满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括:刻蚀步骤:在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑,再环绕凹坑刻蚀环形凹槽;吸气剂淀积步骤:在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜;键合步骤:在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题,可以长时间保持微型腔体内的真空度,极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学 2021-04-14
高效纳米级工业水处理除氯剂的制造技术
氯根是原水中所含的CL-1 是天然水中重要的阴离子。由于近年来水资源的短缺人们开始使用地下水或者其他自然水源,使锅炉补水中的氯离子含量居高不下,且在炉内高浓缩条件下氯根可达2000mg/L以上。锅炉内氯根含量高可能造成氯的腐蚀,成为锅炉运行的隐患之一。 同样工业循环冷却水在浓缩过程中,除重碳酸盐浓度随浓缩倍数增长而增加外,其他的盐类如氯化物等的浓度也会增加。当Cl-离子浓度增高时,会加速碳钢的腐蚀。Cl-会使
南开大学 2021-04-14
一种纳米级尺寸结构测量方法及装置
本发明公开了一种纳米级尺寸结构测量方法及装置,可以同时测量纳米级尺寸结构宽度、深度、侧墙角等参数。本发明方法步骤如下:将白光光束经滤光、起偏后垂直投射到包含纳米级尺寸结构的样件表面;采集样件表面反射信号,计算得到纳米级尺寸结构显微成像图;将测量离焦扫描成像分布图与理论离焦扫描成像分布图进行匹配,提取得到待测纳米级尺寸结构的几何参数值。本发明所提供的纳米级尺寸结构测量装置,能为纳米制造技术如传统光刻和纳米压印等基于图形转移的批量化制造技术中所涉及的各种典型纳米级尺寸结构,如孤立线条阵列结构、密集型线条
华中科技大学 2021-04-14
新一代硅烷法电子级晶体硅生产技术
上海交通大学 2021-04-13
极光尔沃A9,工业级大尺寸高精度,厂家保障
深圳市极光尔沃科技股份有限公司 2021-08-23
BDS小博士工作站第一级套装配置
产品详细介绍可以完成小博士工作站第一级中所有非电子功能件的全部样品组装,项目名称具体如下:墙、亭子、矩形框架、支撑架、跷跷板、桥、曲柄摇杆、连杆机械手、雨刮器
东莞市博思电子数码科技有限公司 2021-08-23
图像级超高分辨率高性能 激光雷达
Pandar128 图像级超高分辨率高性能激光雷达
上海禾赛科技有限公司 2022-03-01
RXDent-L190 桌面级树脂3D打印机
RXDent-L系列是瑞通推出的一款高效率打印机,也是针对批量生产打造的一款桌面级3D打印机。精致的外观设计与良好的交互体验,使数字化生产更便捷、更高效,为实现生产数字化转型提供最优解决方案。   行业应用 · 口腔正畸   · 文创与个性化定制
广州瑞通增材科技有限公司 2022-10-19
对新冠病毒和受体相互作用位点的准确定位研
2020年2月18日,清华大学生命学院王新泉课题组和医学院张林琦课题组紧密合作,利用X射线衍射技术,解析了新型冠状病毒(2019-nCoV)表面刺突糖蛋白受体结合区(receptor-binding domain, RBD)与人受体ACE2蛋白复合物的晶体结构,准确定位出新冠病毒RBD和受体ACE2的相互作用位点,阐明了新冠病毒刺突糖蛋白介导细胞侵染的结构基础及分子机制,从而为治疗性抗体药物开发以及疫苗的设计奠定了坚实的基础。这一重要研究成果已于北京时间2月21日凌晨在BioRxiv发表。王新泉和张林琦课题组随即瞄准新冠病毒上RBD如何特异性结合ACE2这一关键科学问题,利用昆虫细胞体系表达和纯化了新冠病毒 RBD和人ACE2胞外结构域,成功生长出新冠病毒 RBD-ACE2复合物的晶体(晶体生长条件:100 mM MES, pH 6.5, 10% PEG5000mme, 12% 1-propanol),利用上海光源BL17U线站收集了分辨率为2.45埃的衍射数据,并成功解析其三维空间结构。
北京大学 2021-04-10
新冠肺炎病毒传播在建筑中的影响和控制的解决方案
成果介绍在当前疫情防控和部分企业复工在即的形势下,对停留时间长、室内人员密度大、感染风险高的住宅、办公楼和医院三类建筑使用中的疫情防控尤为重要。该成果基于三种建筑类型的使用特点、室内人员活动特征、空调系统的设计、设备运行的管理优化措施等角度,对新型冠状病毒传播的预防与控制进行了研究分析并提出建议措施,助力疫情防控,并以期能够对后续同类型建筑的规划设计提供参考,分别从三种建筑提出相应设计建议。技术创新点及参数1、住宅建筑厨房排烟道应严格排查连接处的密封性,在楼宇中存在隔离肺炎患者时应远离天台;空调系统分体式可正常使用,有隔离肺炎患者要防止冷凝水滴入他户;电梯高危,减少碰触,无人时确保开门通风;楼梯间不触摸扶手,每层开窗通风换气。2、办公建筑办公建筑内空调系统的合理使用;全空气空调系统及其使用策略;风机盘管加新风系统及其使用策略;多联机及分体式空调与其使用策略;办公建筑的应急管理措施建议;办公人员的自我防护建议。3、医院建筑医院手术室;传染病专用门诊科室;专用隔离区域;普通科室及其他区域等基于新型肺炎疫情对医院空调系统设计及运行管理方面的建议。新建医院建筑空调系统设计建议,既有医院建筑空调系统在疫情期间运行建议。此次新型冠状病毒的大面积传播扩散,面对疫情防控的种种挑战,容纳着各类人员的建筑无疑是这场防疫战役中的重要一环。建筑作为人类活动的主要场所,应当具有在紧急情况下对集体安全、生存能力与健康提供支持的能力。未来的建筑设计将在建筑换气、排气、防臭、防霉、热舒适、洁污分离、干湿分离、抗菌灭菌等问题作出细微设计和健康性优化,未来建筑必将以人类健康为核心走向健康建筑。
东南大学 2021-04-11
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