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谐振式压力传感器
一、项目简介
MEMS压力传感器是基于MEMS工艺，把被测压力作用下膜的形变通过一定的规律转换成电信号的一种测压装置，众多MEMS压力传感器中，直接输出频率量的谐振式MEMS压力传感器具有最高的测量精度。高精度谐振式MEMS压力传感器在航天航空领域具有极大的用途。在飞机上，为了获得飞行的高度、速度等大气数据，通常需要测量压力。同时其在卫星和火箭发动控制系统、大气和宇宙数据检测系统中也是迫切需要的传感器，在国内外都有相当大的市场，在我国军事领域，谐振式MEMS压力传感器因其性能优越亦逐步应用到航天、航空、装甲车、舰艇等各兵种装备中。
二、技术成熟度
谐振式MEMS压力传感器工作于闭环激励状态来维持谐振，谐振器是其核心部件，传感器整体精度的高低在很大程度上由谐振器的机械品质决定，受电路参数变化影响较小。其次，技术体系成熟的MEMS技术包括硅基表面加工技术与体硅加工技术使得核心元件的加工生产变的有序可控。本课题组开发的MEMS谐振式压力传感器精度已经达到0.02%FS，各项工艺技术成熟可靠。
三、投产条件和预期经济效益
MEMS传感器核心的投产需要超净实验室(100级，1000级和10000级)和先进齐全的硅微加工设备，包括从制版、光刻、扩散、镀膜、刻蚀到抛光、键合等各种工艺设备。还需配备各种薄膜质量检测设备，可以完成从薄膜制备到测试分析的一系列研究，同时需要具有SEM、TEM、XRD等大型设备，为MEMS相关项目研究的顺利开展提供充分的设备保障。在经济效应方面，其市场规模在2009年就达到了59.1亿元，其中，压力传感器占据市场份额的25%，目前国内同类传感器进口收到限制，较低端的传感器每只约2.0万元人民币，按照各行业每年平均所需，年产5000只压力传感器，可获年产值约1亿元人民币。
厦门大学
2021-01-12
CMOS 图像传感器芯片设计
成果与项目的背景及主要用途：
人类通过视觉系统获取的信息占获取信息总量的 80%以上，如果说计算机相当于人类的大脑，那么图像传感器则相当于人类的眼睛。图像传感器作为图像信息获取最重要和最基本的技术在信息世界中将占据着极其重要的地位。半导体图像传感器相比传统的胶片成像具有可实时处理和显示、数字输出、便于储存和管理等诸多优势，正在迅速成为图像传感器发展的主导力量。CMOS 图像传感器相对于 CCD 图像传感器具有单片集成、低功耗、低成本、体积小、图像信息可随机读取等一系列优点。在手机拍照、PC 摄像、机器视觉、视频监控等诸多领域已经取代了 CCD 图像传感器。
技术原理与工艺流程简介：
（1）时间延迟积分型 CMOS 图像传感器芯片通过 0.18µm 1P4M CMOS 工艺完成了对最高 128 级线阵长度为 1024 像素的TDI 型 CMOS 图像传感器芯片的设计、投片和测试工作。
（2）具有紧凑读出的多次积分动态范围扩展 CMOS 图像传感器提出了一种通过多次积分扩展动态范围的方法，采用紧凑读出方式，以降低对对读出电路的工作速度要求。成功流片 128×128 阵列原型，动态范围可以扩展39dB,像素读出时间相对于滚筒是曝光增加了 3 倍。
应用前景分析及效益预测：
该领域开始向着高清专业摄像、高精度工业和医疗成像、抗辐射太空成像等专业高端领域迈进。CCD 传感器的衰退之势难以挽回，CMOS 将在未来几年保持优势地位。2015 年，CMOS 出货量将达到 36 亿个，份额达 97%；而 CCD 出货量将下降到只有 9520 万个，占 3%份额。
应用领域：
CMOS 图像传感器广泛应用于消费类、工业和科技等各个领域。民用领域：拍照手机、数码相机、可视门镜、摄像机、汽车防盗等；工业领域：生产监控、安全监控等。
技术转化条件：
四十平方米以上的办公用房，电脑、工作站若干，相应软件。也可以和 RFID天线制造单位，卡片封装单位共同合作。
合作方式及条件：根据具体情况面议
南开大学
2021-04-11
传感器功能演示仪
430mm×350mm×135mm；组成：铝合金包边箱、电源、多种传感器模块等；配合新课程物理教材中传感器这一章节使用；多种传感器模块（热敏、光敏、声敏、磁敏等）；配有相关操作使用说明书。
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
一体位移传感器
量程：0.15m～6m，分辨率1mm，超声波的发射装置和接收装置集成一体。具有静态和动态测量位移的功能，可计算速度、加速度等物理量。
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
多量程电流传感器
产品详细介绍
江苏六鑫科教仪器设备有限公司
2021-08-23
远程测距&位移单体传感器
产品详细介绍
量程0.2-10m，分辨率1mm 数据传输端口为智能HDMI接口，支持与采集器的有线通讯和无线通讯。
江苏艾迪生教育发展有限公司
2021-08-23
氯化氢（盐酸）传感器
产品详细介绍电化学盐酸气体HCL传感器-A1主要参数 灵敏度：50～110nA/ppm 响应时间：< 300s 分辨率：2ppm 尺寸：Φ20.2*16.5 工作温度：0～50℃ 工作湿度：15～90％RH 负载电阻：10～33Ω
深圳市新世联科技有限公司
2021-08-23
高温热流传感器
产品详细介绍HTF-450 高温热流传感器用于工业、实验室和研究。HTF-450 高温热流传感器由陶瓷高温材料制成，配不锈钢外壳。可精确测量、记录和控制极端环境（例如； 窑壁、炉管、核能发电机等）的热流。在使用时，传感器安装至被测材料表面，或嵌入墙壁。可自产生mV 输出（与热流成正比）。HTF-450 高温热流传感器应用：工业、高温隔热、海底和船舶、消防设备、管道、精炼和反应器、航空规格：型号HTF-450最高温度450°C（短期500°C）热流范围20 kw/m2热导率0.95 W/m °K精度±3%尺寸直径15.9mm X 厚3.6mm (可定制尺寸)
上海图新电子有限公司
2021-08-23
低成本轴角传感器模拟器
本实用新型涉及一种低成本轴角传感器模拟器，包括上位机、通信模块、液晶显示器、微处理器、数/模转换模块、信号调理模块I、磁编码器信号接口、信号调理模块II、乘法器、旋转变压器信号接口、信号发生模块、信号调理模块III、电平转换模块和光电编码器信号接口，微处理器分别与液晶显示器、数/模转换模块、信号发生模块和电平转换模块电连接，数/模转换模块分别与信号调理模块I和信号调理模块II电连接，信号调理模块I与磁编码器信号接口电连接，信号发生模块与信号调理模块III电连接，信号调理模块II和信号调理模块III分别与乘法器电连接，乘法器与旋转变压器信号接口电连接，电平转换模块与光电编码器信号接口电连接；上位机通过通信模块与微处理器进行通信。本实用新型成本低，精度高，方便科研人员衡量轴角解调算法的性能优劣。
青岛农业大学
2021-04-13
磁致伸缩导波传感器及含有传感器的换热管缺陷检测系统
本发明公开了磁致伸缩导波传感器及含有传感器的换热管缺陷 检测系统，传感器包括外壳，外壳的外侧壁上设置有第一环形布线槽 和第二环形布线槽，第一环形布线槽和第二环形布线槽内分别放置有 激励线圈和接收线圈，激励线圈和接收线圈均为螺线管线圈，外壳内 腔在对应于激励线圈和接收线圈的位置分别放置有激励磁铁和接收磁 铁，激励磁铁和接收磁铁均为钐钴永久磁铁，外壳的一端连接有插头 连接座，插头连接座上连接有激励插头和接收插头。检测系统包括传 感器、功率放大器、信号发生器、计算机、A/D 转换器和滤波放大器。 本发明通过磁致伸缩效应，直接在换热管内激励出纵向模态超声导波， 整个检测过程中传感器与换热管无需接触，提高了检测效率以及适用 性。
华中科技大学
2021-04-11