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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
电源信号、数据信号和音频模拟信号时分复用的单总线通信系统
本发明公开了一种电源、数据信号、音频模拟信号时分复用的单总线通信系统,包括接在电源/通信总线上的电源模块和至少两个通信模块,电源/通信总线的始端和终端分别跨接一个阻抗匹配电阻,通信模块包括:整流稳压电路、数据信号发送电路、数据信号接收电路、音频模拟信号发送电路、音频模拟信号接收电路和通信控制电路。本发明的总线供电通信系统电路结构简单,大大简化了电路的复杂度并降低了成本。在构成多节点总线通信方式时,支持主从通信和对等通信。
浙江大学 2021-04-11
等离子体处理危险废物技术、废气技术
利用大功率等离子体处理危险有害的废弃物和一般的焚烧方式大不一样,等离子体火炬的中心温度可高达摄氏2~3万度,火炬边缘温度也可达到3千度左右。当高温高压的等离子体去冲击被处理的对象时,被处理物的分子、原子将会重新组合而生成新的物质,从而使有害物质变为无害物质,甚至能变为可再利用的资源。
科利尔(青岛)环境技术有限公司 2023-03-03
非常规平面信号交叉口优化控制技术
非常规交叉口的通行模式是在交叉口上游设置预信号,组织左转和直行车流交替使用进口道来提高通行能力,是一种对策交叉口拥堵的新思路。其虽已在我国数个城市有过实际应用案例,但多由于缺乏坚实的理论和技术支撑而不得不以失败告终。本团队将基于自身既有的非常规交叉口理论研究成果,构建非常规交叉口的失效概率模型,建立预防死锁、动态启用和动态控制的机制与优化方法;此外,基于驾驶行为和选择偏好研究,设计综合考虑驾驶员适应性和车道排队均衡的动静态交通语言系统。本项目研究前期已经发表8篇相关论文,取得1项国家发明专利和1项软件著作权,在此基础上将通过与优秀的企业、单位合作,以面向应用为目的,一方面继续深化成果的科学性和实用性,另一方面,实现成果的推广应用,为研究机构,交通规划、设计和管理领域提供新的技术支撑,为预防和缓解交通拥堵提供有效的应用系统,解决实际交通问题的同时,服务于整体交通系统品质的提升。 在资源、环境等多约束下,相对于道路拓宽等传统手段,非常规交叉口方案是更具可持续性、更有前景的交通拥挤对策手段。本项目研究成果既能够为是否选择非常规交叉口通行模式提供理论支持,也能为非常规交叉口的优化设计提供技术支撑,因而成果可以广泛地应用于城市道路交通设计和拥挤管理之中。研究成果还可以为起草考虑非常规交叉口通行模式的交叉口规划设计规范,为缓解交通阻塞,提高交通系统的稳定性与可靠性提供理论基础和技术支持。进一步,设计的软件可以直接应用于非常规交叉信号设计方案的制定。最后,在此基础上形成的交叉口交通流分析、实验和优化技术,对于研究复杂交通系统问题具有广泛的应用效果。  图1 非常规交叉口通行模式示意图    A: 预信号控制                           B: 主信号控制图2 上海共和新路临沂路非常规交叉口   本研究的内容是交通工程领域里出现的新问题,以非常规交叉口的适应条件和优化方法为重点,以预防和缓解交通拥挤、提高通行能力和节能减排等应用为理论研究的导向。项目研究所转化的成果具有可观的经济、社会效益,主要包括: 1)成果可服务于研究机构:促进对交叉口新型通行模式的探索及其适应性分析、优化设计理论与方法的研究及应用; 2)成果可服务于交通规划、设计和管理领域:成果将为非常规交叉口的规划设计规范奠定基础;为非常规交叉口交通设计、管理实践提供新的技术支持,并在交通拥挤管理的实践中发挥重要作用; 3)成果可服务于系统开发与咨询机构:为基于新模式的交通控制、交通设计咨询和辅助系统开发提供技术指引。
同济大学 2021-04-11
高盐废水资源化处理技术
化工、制药、农药等行业排放的高盐废水是最难处理的一类工业废水,目前国内大多数企 业仍采用稀释生化法处理此类废水,只有少数企业采用蒸发脱盐。稀释生化不仅要消耗大量的 淡水资源,而且还增加废水的排放体积,不符合国家的污染减排政策。而蒸发脱盐不仅设备投 资高,而且运行成本也很高,且蒸发析出的盐往往会带有一些有机污染物,不能作为一般的工 业盐使用,甚至可能还要视为危险固体废物,必须委托有资质的单位进行无害化处置,费用非 常高。为了彻底解决高盐废水处理问题,本项目研究开发了高盐废水的资源化技术,即首先通 过催化氧化技术去除高盐废水中的有机污染物,然后将处理过的高盐废水用作氯碱厂生产氯气 和烧碱的原料,即实现了氯化钠的资源化利用。
华东理工大学 2021-04-11
废水深度处理与回用技术
造纸、化工、石化、纺织等行业用水量大,在水资源越来越紧张的当下,控制这些行业的 用水是大势所趋,这些行业进行废水深度处理与回用是降低水耗的关键。最近几年,华东理工 大学环境工程研究所针对不同行业废水的特点,研究开发了一些废水深度处理与回用技术,如 催化氧化技术、催化氧化-曝气生物滤池组合技术、催化氧化-生物活性炭技术、催化还原-生物 组合技术、双膜工艺等。
华东理工大学 2021-04-11
超导磁分离污水处理技术
本发明提供一种超导磁分离废水处理装置,包括磁种和絮凝剂投放器、混合器和超导磁分离器;所述磁种和絮凝剂投放器用于向混合器投放磁种和絮凝剂;所述混合器接有入水管,用于将所述磁种和絮凝剂与废水充分混合;所述磁分离器的一端与所述混合器通过管道连接,另一端接出水管,所述磁分离器中具有铁素体不锈钢材料制作的过滤装置。本发明预先加入磁种,使本身无磁性的有害物质与磁种充分结合,从而实现超导磁分离净化废水,因此能够广泛应用于工业和生活废水处理。同时,本发明成本低、效率高、耗电量小、可实现无人值守自动运行。
中国科学院大学 2021-04-10
小城镇高效污泥处理集成技术
研发了小城镇城市污泥消化处理的 集成技术。主要包含两类集成技术,即内循环污泥浓缩消化(ICSTD)和两相 一体式污泥浓缩化反应器(TISTD) ICSTD反应器提出了污泥浓缩消化一体化的新工艺,实现了污泥在浓缩过 程中消化,在消化过程中浓缩,且浓缩功能与消化功能相互促进,是污泥浓缩 与污泥厌氧消化领域的一个突破。ICSTD反应器启动时间快。高负荷启动时, 35天启动完成,比普通厌氧消化反应器提前了至少10天。ICSTD反应器的消 化效果良好,具有较好的浓缩效果。具有较强的抗冲击负荷能力温度对ICSTD 反应器的影响较大。通过试验研究表明,在中温条件污泥的厌氧消化效果明显 好于在常温条件下,中温下有机物去除率在54. 1%〜86. 3%,常温下有机物去除 率在36. 5%〜72. 8%。TISTD反应器外反应室一定的推流形态的存在有利于降低出水的SS值,确 保外反应室的浓缩效果;内反应室的完全混合流形态有利于厌氧菌群与剩余污泥 基质的接触,强化了传质过程,提高了反应器的处理效能。在中温条件(33~37。0 下,反应器运行状况良好,在最优投配率30%的时候,即水力停留时间为3. 33 天时,当进泥含水率在99. 43^99. 69%之间,进泥VS/TS在0. 62~0. 77之间,排 泥含水率在89. 52%~93. 51%之间,排泥VS/TS在0. 21~0. 28范围,排水SS在 0. 15~0.6g/L之间。其浓缩效果、消化效果优于普通浓缩池、消化池。TISTD反 应器在一定程度上实现了产酸相和产甲烷相的分级;生物相检测结果表明,运行 起来后反应器内厌氧生物种类繁多,内反应室形态上类似产甲烷丝菌和甲烷八叠 球菌的厌氧菌较多。因此,消化效果良好,经济效益显著。
重庆大学 2021-04-11
蚯蚓生物滤池污水污泥同步处理技术
作为一种生态型的生活污水处理方法,蚯蚓生物滤池具有处理成本低廉、运行管理 简便、占地面积小及污水污泥同步资源化的技术特点。处理好的污水完全达到国家《城 镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)相应标准,可直接用于灌溉农田;产 生的蚓粪污泥可作为有机肥还田。该技术资源化程度高、二次污染低、管理要求低、工 程造价及运行费用低、占地面积低,操作管理简便,无异味,无噪音,十分符合农村日 常管理。 
同济大学 2021-04-13
臭氧生物活性炭深度处理技术
饮用水过程中预处理和深度处理通常是分别在饮用水常规处理工艺之前和以后,采 用适当地处理方法,将常规处理工艺不能有效去除的污染物或消毒副产物的前体物加以 去除,以提高和保证饮用水质。臭氧活性炭技术是目前饮用水处理中最为有效和经济的 处理工艺之一,臭氧是一种强氧化剂,它对水体中病毒的灭活十分有效,将其作为饮用 水预处理技术,可氧化部分溶解性有机物和有效改善常规处理混凝效果。臭氧生物活性 炭采取先臭氧化后活性炭吸附,在活性炭吸附中又继续氧化,这样可以扬长避短,充分 发挥活性炭吸附和臭氧氧化各自所长,克服各自所短。通过该工艺,臭氧能使难氧化降 解的高分子有机物被氧化成易生物降解的低分子有机物,这不仅为炭柱降解有机物创造 了条件,也减轻了活性炭的吸附负荷。同时,臭氧氧化使水中有充足的溶解氧,反过来 又为好氧微生物的生命活动提供了良好的条件。其中,生物活性炭是利用微生物去吸收 利用被活性炭吸附的污染物,客观上起到了使活性炭再生的作用。通过长期中试和生产 性试验证实:对于微污染黄浦江原水,经处理后水质达到了《城市供水水质标准》(CJ/T 206-2005)要求和即将颁布的《生活饮用水卫生标准》要求。试验结果处理后主要水质 指标氨氮≤0.5mg/L,CODMn≤3.0mg/L,能将 Ames 致突变试验阳性的原水转变为 Ames 致 突变试验阴性的出厂水。
同济大学 2021-04-13
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