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14 纳米CMOS 量产工艺中光源掩模协同优化技术
已有样品/n微电子所先导中心韦亚一研究员团队与中芯国际研究团队围绕14 纳米CMOS 量产工艺中光源掩模协同优化技术开展联合攻关并取得显著进展，完成了后段制程中多层关键层的光源优化工作，包括Metal 1X、Metal 1.25X、Via 1X 等。优化后光源通过晶圆数据验证评估，较原有光源在各项关键指标上有显著提升，保证了先进节点中光刻工艺的稳定性。
中国科学院大学
2021-01-12
改良分段进水工艺及优化调控关键技术
北京工业大学
2021-04-14
间歇靛蓝生产工艺计算机优化控制技术
Ø 靛蓝是染色牛仔布的主要染料，每年全世界的靛蓝需求量达10万吨之多。靛蓝生产工艺主要以间歇法为主，已经有一百多年历史了。其中的碱熔反应工艺堪称间歇反应的经典，在一百多年历史中，即使到上世纪90年代国际上最大、技术最先进的化学品公司最后放弃该产品生产的时候，也没有能够用一种连续的生产工艺来代替它。目前全世界大概80％的靛蓝由中国生产，其中60~70％出自江苏泰丰公司。在2006年以前，几乎所有国内的靛蓝生产线都完全由人工操作完成，包括当时技术最先进的北京染料厂。2006年，理工大学210教
北京理工大学
2021-04-14
惯性导航关键件磨削工艺优化与过程监测技术
以惯性导航挠性接头高质量加工为目标，开展磨削机理、工艺优化和加工过程监测方法研究，突破目前挠性接头微细特征磨削加工工序中对复杂微观结构认知的障碍，在磨削力、热载荷作用下充分认知磨削过程中影响表面完整性的重要因素。明确磨削表面完整性关键工艺优化目标，探究各个工艺参数间耦合关系，形成面向表面粗糙度、残余应力和磨削烧伤等表面完整性目标要求的工艺优化准则。研究面向惯性导航关键件磨削加工物理信号与表面完整性关联的磨削特征辨识方法，获取磨削加工质量监测和控制的深层知识，探索基于最优磨削特征融合的质量监测和多目标控制途径，实现惯性导航关键件磨削加工表面完整性的动态、准确和有效的监测。
相关技术指标：
（1）加工后挠性接头表面粗糙度达到Ra 0.8
（2）加工后挠性接头近无表面残余应力
（3）挠性接头加工过程中实现砂轮磨损及表面完整性监控
技术创新点：
（1）提出了基于磨削过程中物理信号与表面质量高关联度的磨削特征辨识方法
（2）揭示了挠性接头磨削加工工艺参数与力热载荷对于磨削表面质量的影响规律，并提出了高表面完整性加工的工艺准则
（3）提出了基于高关联度磨削特征融合的砂轮磨损及表面质量监控方法
上海理工大学
2023-08-08
蔗糖多酯合成制备与精制工艺及装备技术
蔗糖多酯是世界新一代的酯类化合物，是优良的乳化剂和食品添加剂。蔗糖酯产品，被联合国粮农组织和世界卫生组织食品添加剂标准委员会，确定为环保、安全、绿色、优质的食品添加剂产品。我国目前只有蔗糖单酯工业化产品，没有蔗糖多酯产品。经过300多次工艺研究与工业实验，研究开发出---蔗糖多酯制备、精制、环保的工艺与装备技术。为我国生产急需的优质、环保、安全的蔗糖多酯工业化提供了一条先进的技术途径。
北京航空航天大学
2021-04-13
复杂地质条件下灰岩水害防治方法与关键技术研究
项目成果/简介:在探明地下空间断层分布的基础上，鉴定断层的活动程度，判定它们是否为具有发生破坏性地震能力的活动断层，对于地震预测预报等具有重要意义。本方法基于光纤光栅及分布式光纤与钻孔结合进行自然或人为状态下断层活动性实时动态监测研究。通过在已查明断层上部地面位置施工并形成钻孔，钻孔垂直穿过断层上下两盘，并在孔中布置光纤光栅埋入式应变计及分布式应变传感光缆等形成一套综合监测系统，利用太阳能蓄电池对 FBG、BOTDA 等测试仪器持续性供电，实时采集与传输应变场、位移场等数据，通过分析实时得到的监测区域中岩体的应变场、位移场等参数变化情况，评价探测目标区域断层活动性程度。同传统的断层活动性判别方法（如地质地貌调查、地球化学探查及地球物理勘探）相比，光纤动态监测成本较低、所用传感单元不受外界电磁干扰、精度较高且实施方便，通过实时监测数据对比分析监测参数时空演化规律，可获取断层活动性发育程度。
安徽理工大学
2021-04-11
航空航天大型复杂结构机器人智能制造技术与装备
新一代航空航天器的跨代高性能要求使得其尺寸越来越大、材料体系越来越多、结构越来越复杂。传统制造周期长、质量不稳定，无法满足型号质量和精度要求，亟需变革制造模式。工业机器人智能制造技术与装备是解决该难题的最佳新途径。但机器人精度低、刚性弱、加工稳定性差等难题制约了其应用于航空航天大型复杂构件的高效高精制造，且核心装备被国外发达国家垄断，迫切需要突破基于移动机器人的制造核心技术与装备，形成基于移动机器人的大型复杂构件原位加工与装配融合的制造能力，打破国外垄断，实现自主可控。
技术特征
围绕航空航天大型复杂构件的高效、高精、高质量制造急需，突破了基于误差相似度的机器人精度补偿、机器人变刚度建模与加工颤振抑制、融合多源信息的在线感知与自适应工艺、多功能末端执行器研制等一系列关键技术，构建了移动机器人智能制造技术体系，自主研发了多台套多功能末端执行器和高精度大负载工业机器人智能钻/铆/铣制造装备。
南京航空航天大学
2021-05-11
复杂地质条件下灰岩水害防治方法与关键技术研究
在探明地下空间断层分布的基础上，鉴定断层的活动程度，判定
它们是否为具有发生破坏性地震能力的活动断层，对于地震预测预报
等具有重要意义。本方法基于光纤光栅及分布式光纤与钻孔结合进行
自然或人为状态下断层活动性实时动态监测研究。通过在已查明断层
上部地面位置施工并形成钻孔，钻孔垂直穿过断层上下两盘，并在孔
中布置光纤光栅埋入式应变计及分布式应变传感光缆等形成一套综
合监测系统，利用太阳能蓄电池对 FBG、BOTDA 等测试仪器持续性供
电，实时采集与传输应变场、位移场等数据，通过分析实时得到的监
测区域中岩体的应变场、位移场等参数变化情况，评价探测目标区域
断层活动性程度。同传统的断层活动性判别方法（如地质地貌调查、地球化学探查及地球物理勘探）相比，光纤动态监测成本较低、所用
传感单元不受外界电磁干扰、精度较高且实施方便，通过实时监测数
据对比分析监测参数时空演化规律，可获取断层活动性发育程度。
安徽理工大学
2021-04-30
航空航天大型复杂结构机器人智能制造技术与装备
新一代航空航天器的跨代高性能要求使得其尺寸越来越大、材料体系越来越多、结构越来越复杂。传统制造周期长、质量不稳定，无法满足型号质量和精度要求，亟需变革制造模式。工业机器人智能制造技术与装备是解决该难题的最佳新途径。但机器人精度低、刚性弱、加工稳定性差等难题制约了其应用于航空航天大型复杂构件的高效高精制造，且核心装备被国外发达国家垄断，迫切需要突破基于移动机器人的制造核心技术与装备，形成基于移动机器人的大型复杂构件原位加工与装配融合的制造能力，打破国外垄断，实现自主可控。技术特征围绕航空航天大型复杂构件的高效、高精、高质量制造急需，突破了基于误差相似度的机器人精度补偿、机器人变刚度建模与加工颤振抑制、融合多源信息的在线感知与自适应工艺、多功能末端执行器研制等一系列关键技术，构建了移动机器人智能制造技术体系，自主研发了多台套多功能末端执行器和高精度大负载工业机器人智能钻/铆/铣制造装备。效益分析:项目的成功研制拓宽了工业机器人应用领域，已在歼20、歼10、L15高教机、大飞机、××导弹、天宫2号空间站等国家重点型号研制和批产中应用，实现了歼20翼面、歼10机翼部件、高教机翼面、天宫二号空间站舱体等航空航天产品核心复杂大部件的生产，为我国航空航天大型复杂构件制造提供了技术与装备支撑。此外，成果还在国产机器人、精密零件制造等龙头企业实现应用推广，核心专利转化1999.2万元，近三年新增直接经济效益达11.2409亿元。
南京航空航天大学
2021-04-10
复杂环境下浅埋大断面隧道超长水平冻结施工技术研究
课题组针对隧道水平冻结距离长、埋深浅、 断面大、水文地质条件复杂等难题，研制了长距 离水平冻结管新型连接方式、新型冻结管钻头和 有线定向仪跟管钻进新技术，实现了水平冻结管 钻进过程中实时定向控制；水平冻结孔终孔注浆 新工艺，有效地控制了地面沉降。
安徽建筑大学
2021-01-12