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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
一种基于风电场数据预处理的风电功率组合预测方法
一种基于风电场数据预处理的风电功率组合预测方法,包括以下步骤:利用小波去噪原理对风电场的历史风速数据和历史功率数据进行处理,分别得到光滑的风速序列和功率序列;对风速序列和功率序列的特征指标分别进行频繁项集分析和关联规则挖掘,得到风速强关联规则和功率强关联规则,利用强关联规则找出与待修正的当前预报相似的历史预报;并利用历史相似预报对待修正的当前预报进行误差修正;利用统计方法对修正后的当前风速预报进行训练并建立预测模型;利用预测模型进行功率预测,并利用历史相似预报对预测后的功率进行二次预测,最后得到最终的组合预测结果。
中国农业大学 2021-04-11
一种基于图像处理技术的群集运动数据采集方法及系统
本发明公开了一种群集运动实验数据采集方法及系统,方法包括以下步骤:在实验场景中采集群集运动目标的视频;从当前视频帧中提取目标运动区域;对目标运动区域滤除背景;将滤除背景的目标运动区域与目标灰度阈值进行比较,判定大于目标阈值的像素点为可疑目标像素点,将邻近的可疑目标像素点视为一个可疑目标;将可疑目标与预定目标长度、宽度和面积阈值进行比较,判定可疑目标为个体目标、多目标重合、非目标中的一种;根据历史目标位置、速度和
华中科技大学 2021-04-14
南京农业大学农学院农业时空大数据门户软件、数据管理中心软件及遥感影像处理智能处理系统采购项目招标公告
南京农业大学农学院农业时空大数据门户软件、数据管理中心软件及遥感影像处理智能处理系统采购项目招标项目的潜在投标人应在江苏省南京市雨花台区软件大道109号雨花客厅2幢1307室获取招标文件,并于2022年07月06日14点00分(北京时间)前递交投标文件。
南京农业大学 2022-06-14
一种近实时地震震源位置定位方法
成果描述:本发明公开了一种近实时地震震源位置定位方法,包括以下步骤:地震发生后,读取最先得到P波到时的三个台站编号和地理坐标,识别P波到时,两两求出到时差,对地震台站的经纬度坐标数据进行投影变换转换成平面直角坐标;对于任意两个台站,画出满足到时差的双曲线,震中靠近先到台站的一支上,三支双曲线两两相交;根据交点坐标构成的三角形,计算三角形重心,该重心的坐标即为震中位置初值;进一步修订震源位置;对观测方程和指标函数进行“减元”处理;求偏导数,直到满足要求为止;将最后计算结果换算成地理坐标,此坐标即为最终结果。本发明通过排除震中方位角和震级估算的误差,提高了地震定位精度和定位速度。市场前景分析:轨道交通、地质灾害工程领域。与同类成果相比的优势分析:技术先进,性价比较高。
西南交通大学 2021-04-10
用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置
用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置,包括底座,台面,转动机构,驱动机构,检测机构和支撑架;转动机构包括主轴,驱动臂和转台,及配重块;主轴固定于左、右支撑架上;驱动机构和配重块分别位于驱动臂两侧;驱动机构包括直线电机,滑台,直线导轨及滑块和光栅尺,光栅尺的读数头与底座固定连接,台面水平时,读数头给出光栅尺的零点信号;滑台抵紧驱动臂,直线电机正方向运动时滑台推动转动机构正转,直线电机反方向带动滑台运动时由于配重块的重力作用使转动机构反转;检测机构包括激光干涉仪和将激光反射回激光干涉仪以获取台面转动角度的反射镜,反射镜安装于台面上。本发明具有定位精度高、传动效率高、应用范围广的优点。
浙江大学 2021-04-11
一种近实时地震震源位置定位方法
成果描述:本发明公开了一种用于地震预警系统的实时地震震级估计方法,利用地震矩求出的矩震级,即:检测到信号后每1秒估算出相对应的矩震级,随着时间增长至20s左右得出与实际震级非常接近的估计震级。本发明利用地震矩从而求出的矩震级能有效克服中大型地震(M>6)中出现的震级饱和问题,而且地震矩与地震动中零频时的振幅Ω0有明确联系,具有明确的物理意义。本发明方法具有实时性,检测到信号后每间隔1s均能估算出相对应的矩震级,随着时间增长至20s左右就能得出与实际震级非常接近的估计震级,能有效应用于地震预警系统。市场前景分析:轨道交通、地质灾害工程领域。与同类成果相比的优势分析:技术先进,性价比较高。
西南交通大学 2021-04-10
一种基于方向矢量的地震射线追踪方法
本发明属于地震勘探技术领域,公开了一种基于方向矢量的地震射线追踪方法,基于空间平面约束的射线矢量与三维任意起伏界面的求交迭代算法;基于Fermat原理推导的三维任意起伏速度模型上的透射波及反射波的显式计算公式;基于不同需求而设计的射线追踪算法终止条件;基于不同需求的算法输入及输出设计;能根据射线的矢量信息计算射线的路径及走时,也能基于方向约束及走时约束获取波阵面的位置;射线追踪算法在地震偏移、(微)地震定位及地震层析成像等领域中有广泛的应用前景。本发明为了计算在给定地震方向矢量的前提下,求取地震射线
安徽建筑大学 2021-01-12
一种近实时地震震源位置定位方法
本发明公开了一种用于地震预警系统的实时地震震级估计方法,利用地震矩求出的矩震级,即:检测到信号后每1秒估算出相对应的矩震级,随着时间增长至20s左右得出与实际震级非常接近的估计震级。本发明利用地震矩从而求出的矩震级能有效克服中大型地震(M>6)中出现的震级饱和问题,而且地震矩与地震动中零频时的振幅Ω0有明确联系,具有明确的物理意义。本发明方法具有实时性,检测到信号后每间隔1s均能估算出相对应的矩震级,随着时间增长至20s左右就能得出与实际震级非常接近的估计震级,能有效应用于地震预警系统。
西南交通大学 2018-09-18
重要建筑地震经济损失精细化预测技术
本技术是一种构件级别的建筑地震经济损失精细化评估方法,具体包括 3 个模块:构件震害评估模块、损失评估模块和可视化模块,构件震害评估模块用于根据建筑信息模型(building information model,BIM)和易损性数据库评估每个构件的震害;损失评估模块用于根据 BIM、易损性数据库和修复标准库计算每个构件及建筑整体的地震经济损失;可视化模块用于建筑震害和损失的三维可视化展示。本技术可以将损失评估精确到构件,而且提供具体的构件损失分布,为建筑投保、地震修复策略、防灾设计等提供重要参考。
北京科技大学 2021-04-13
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