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一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺
本发明公开了一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺,包括步骤:(1)在单晶硅片上旋涂光刻胶并通过光学光刻或电子束光刻得到光刻胶图形 ;( 2 ) 镀 上 银 膜 或 金 膜 ;( 3 ) 在 电 场 之 中 , 采 用 HF 、H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>和去离子水的混合溶液作为刻蚀剂进行金属催化刻蚀;(4)去除光刻胶;(5)去除单晶硅片上残留的金属膜并进行清洗处理。本发明通过在刻蚀过程中控制电场强度,由此形成从数十纳米至数
华中科技大学 2021-04-14
有机硅改性双马来酰亚胺树脂的合成
项目研究背景及用途 :有机硅改性双马来酰亚胺树脂是一类高性能聚 合物材料,其热稳定性能和力学性能都比环氧树脂优越,因此含硅双马来 酰亚胺树脂作为金属替代物广泛地用作制造压缩机叶片、大型计算机部 件、印刷电路基板等,是目前最受青睐的高性能聚合物材料之一。 工艺流程 :用催化方法先合成中间体 N-(4-羟基本基)马来酰亚胺, 再合成含硅双马来酰亚胺齐聚物, 采用四种有机硅合成了四种含硅双马来
南昌大学 2021-04-14
农用杀菌剂氟硅唑清洁生产技术
利用氯甲基二氯甲硅烷在低温下与溴氟苯、金属镁反应,制得双(4-氟苯基)甲基氯代甲基硅烷,再在极性溶剂中与1,24-三唑钠反应,制得氟硅唑。 一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 此产品可用于内吸性杀菌,抑制甾醇脱甲基化,用于防治子囊菌纲,担子菌纲和半知菌类真菌(如苹果黑星菌、白粉病菌、禾谷类的麦类核腔菌、壳针孢属菌、钩丝壳菌等,球座菌及甜菜上的各种病原菌,花生叶斑病)。三唑类杀菌剂破坏和阻止麦角甾醇的生物合成,导致细胞膜不能形成,使病菌死亡,对子囊菌、担子菌和半知菌所致病害有效,对卵菌无效,对梨黑星病有特效 项目特色: 利用氯甲基二氯甲硅烷在低温下与溴氟苯、金属镁反应,制得双(4-氟苯基)甲基氯代甲基硅烷,再在极性溶剂中与1,24-三唑钠反应,制得氟硅唑。采用自主创新的催化剂使反应可以采用较高沸点溶剂,不增加成本同时提高反应效率,省略了原有工艺的萃取水洗过程,直接得到理想的第一步中间体,生产过程中原有工艺的每吨5吨废水变为没有废水,成为清洁生产工艺。第一步收效达到90%以上。 原有工艺中粗产物需要高真空、高温、高塔板数的减压精馏得到含量在95%以上最终产品,改进工艺后由于合成效率大幅度提高,粗产品略作简单溶剂处理就达到95%以上的白色粉状固体。
南开大学 2022-08-11
宽波段硅基探测器产业化开发
图像传感器,是一种常用的光电探测器件,它能将光子信号转换成电子信号,被广泛地应用在高性能光谱仪、数码相机以及其他的电子光学设备中。普通的CCD、CMOS硅基探测器能获得高量子效率的光谱响应范围在400~900nm波段,在紫外波段,由于多晶硅栅的吸收系数很大,这就意味着紫外光子在极端浅(小于2nm)的表层被吸收,导致其在波长小于400nm的紫外波段量子效率(QE)极低。紫外量子效率低的缺陷限制了前照式硅基探测器在航空业、工业以及制造业等领域中的应用。因此,研制宽波段硅基探测器件使其响应范围延伸到紫外和深紫外波段是国内外紫外探测领域的迫切需要。
上海理工大学 2021-04-13
农用杀菌剂氟硅唑清洁生产技术
此产品可用于内吸性杀菌,抑制甾醇脱甲基化,用于防治子囊菌纲,担子菌纲和半知菌类真菌(如苹果黑星菌、白粉病菌、禾谷类的麦类核腔菌、壳针孢属菌、钩丝壳菌等,球座菌及甜菜上的各种病原菌,花生叶斑病)。三唑类杀菌剂破坏和阻止麦角甾醇的生物合成,导致细胞膜不能形成,使病菌死亡,对子囊菌、担子菌和半知菌所致病害有效,对卵菌无效,对梨黑星病有特效 项目特色: 利用氯甲基二氯甲硅烷在低温下与溴氟苯、金属镁反应,制得双(4-氟苯基)甲基氯代甲基硅烷,再在极性溶剂中与 1,24-三唑钠反应,制得氟硅唑。采用自主创新的催化剂使反应可以采用较高沸点溶剂,不增加成本同时提高反应效率,省略了原有工艺的萃取水洗过程,直接得到理想的第一步中间体,生产过程中原有工艺的每吨 5 吨废水变为没有废水,成为清洁生产工艺。第一步收效达到 90%以上。 原有工艺中粗产物需要高真空、高温、高塔板数的减压精馏得到含量在 95%以上最终产品,改进工艺后由于合成效率大幅度提高,粗产品略作简单溶剂处理就达到 95%以上的白色粉状固体。 市场应用前景: 目前国内只有 3 家生产,市场处于不饱和状态,2010 年一度出现供不应求局面,原料成本在每吨 15 万左右,生产成本在每吨 17 万左右,市场售价在每吨 30 万左右,具有良好的利润空间。年产百吨可获得 800-1000 万税前利润。
南开大学 2021-04-13
光机设计与图像测试技术
研究团队多年来一直从事光机设计与图像检测技术研究以及相关仪器的开发,已成功系统:1)开发公安技侦系统专用针孔无畸变系统10°视场、针孔直径0.8m、入瞳位于镜头前2.5m、畸变小于1%高清针孔摄像系统;2)导引头红外自动标定系统,实现±5°范围内目标源标定误差小于3”;3)超低温卫星外挂成像系统,该系统可在-90°环境下正常工作,直接裸露在卫星外面,无需提供温度调控装置;4)生物菌落识别与自动筛选装置。
上海理工大学 2021-04-10
片上、片间光互联技术
中试阶段/n基于硅基材料的光互联技术具体有高速高密度、受电磁干扰小、低功耗,兼容 于 CMOS 工艺等特点。1、在激光器研制方面,拥有基于 InP 基的微钠尺度微腔激光 器和光子晶体激光器以及基于硅基的光发射器件;2、在光调制器研制方面拥有基 于硅基的光调制器;3、在探测器方面,拥有通过键合方式集成在 Si 上的 InP 基探 测器和直接在硅上外延锗或 GeSn 的探测器等;4、拥有基于硅基的光波导器件、硅 基波分复用解复用器件以及可见光衰减器。 片上、片间光互联技术主要应用于高性能电子芯片、超级计
中国科学院大学 2021-01-12
光引擎模组热响应测试平台
本实用新型公开了一种光引擎模组热响应测试平台,该光引擎模组包括铝基板、焊接至所述铝基板的单相全波桥式整流芯片、分段线性恒流驱动芯片、整列在铝基板外围的多个交流发光二极管,所述热响应测试平台包括暗箱、置于暗箱内的样件安放平台、在所述样件安放平台正上方设置的红外热成像模组、以及位于所述暗箱外并且与所述红外热成像模组信号连接的热响应分析仪,其中,所述样件安放平台上选择性地设有用于置放所述铝基板的绝热板或散热器。根据本实用新型的光引擎模组热响应测试平台通过光引擎模组老化测试过程中LED芯片、电源驱动、桥式整
安徽建筑大学 2021-01-12
植物光形态建成重要分子机理
结合遗传学和生物化学的方法,证明Serine/Threonine Kinase(丝氨酸/苏氨酸激酶)PINOID(PID)直接与COP1进行相互作用并针对其第20位丝氨酸残基进行磷酸化修饰。这一翻译后的修饰导致了COP1活性的适度降低,从而维持了植物体内COP1活性处于一个正常稳定的状态,以适应植物生长过程中所遇到的多变的生长环境和确保植物顺利的进行光形态建成过程。该项研究揭示了一个光调控植物幼苗形态建成的一个重要分子机制,为进一步理解光调控植物生长发育信号通路具有重要意义并为通过基因工程技术改良作物种子的出土效率提供了理论基础。
南方科技大学 2021-04-13
光对神经网络调控研究
小鼠大脑海马区CA3-CA1神经环路各频率波段震荡变化规律,以及小鼠脑缺血缺氧(脑卒中)对海马区CA3-CA1神经环路各个频率波段震荡幅度的影响。同时,团队利用体外低频伽马(30-50 Hz)LED光视觉波刺激,同步记录清醒小鼠学习中的在体脑电活动,发现低频伽马LED光波可调控海马区CA3-CA1神经环路低频率伽马波震荡,有效保护脑卒中诱发的神经损伤和学习记忆障碍。
南方科技大学 2021-04-14
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