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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
深部沿空巷道围岩“卸让抗”协同控制关键技术
针对深部沿空巷道围岩变形严重、控制困难问题，在深入揭示实体煤帮变形能驱动失稳力学机理基础上，提出了“巷旁－煤帮－顶板”系统失稳的能量判据，特别是从理论和技术层面解答了实体煤帮卸压与加固的矛盾问题，发明了与三种典型围岩类型相适应的巷旁支护技术与支护设计方法，形成了深部沿空巷道围岩“卸让抗”协同控制关键技术。经20多个多个煤矿推广应用实践表明，该项技术成果具有针对性强、实用性强、安全可靠。中国煤炭工业协会组织专家委员会鉴定认为，该项成果鉴定达到国际领先水平。
山东科技大学
2021-04-22
液化天然气空温式气化器增效消雾系统
本成果的思路方案：合理耦合太阳能热泵、液化天然气预热设备和空温式气化器，改变气化所用空气的温度和湿度，创造稳定适宜的液化天然气气化微环境；并利用强制通风和合理的气流组织，提升空温式气化器空气侧的传热传质系数。从本质出发，解决传统空温式气化器堆霜结冰和成雾的问题。
解决问题：
空温式气化器是气化液化天然气的主要气化设备，利用空气能，节能环保，但是，液化天然气（-161℃）的低温特性造成空温式气化器外表面堆霜结冰严重，导致气化器气化性能严重恶化，需要额外配置备用空温式气化器定期切换及辅助水浴式气化器进一步升温。同时，空温式气化器周围易形成雾区，影响气化区的操作安全。本成果可有效缓解空温式气化器堆霜结冰现象，并消除雾区。
创新点：
1、节能有效地营造不易结霜和成雾的气化微环境；
2、利用太阳能热泵和风机，使空温式气化器增效；
3、合理灵活控制，与传统空温式气化相比，减少占地面积，降低气化成本。
领先性：
国内外尚未见相关技术及报导，处于领先地位
华北电力大学
2022-07-07
高速离心泵进口空化抑制机理的研究及应用
针对高速离 心泵内流速高， 进口段容易引起回流璇涡、叶轮中存在二
西华大学
2021-04-14
多屏互动
随着电子信息化的发展，移动电子设备已经深入到人们生活的方方面面。在如今的会议场景，数字多媒体的应用极大的提高了办公的效率。多屏互动系统通过实时推送开会人员个人信息和屏幕信息的功能，极大的方便了会议成员之间的交流。同时本系统提供了个性化的会议记录和会议提醒功能，方便用户记录会议信息。因此，本系统在数字化会议互动领域有良好的应用前景。 多屏互动包含客户端、服务器、控制端三个角色。服务器以“黑盒子”的方式直连LCD显示器，以中间件的角色响应控制端的控制指令，控制客户端的操作，并将客户端的屏幕共享投影至LCD显示器；客户端具备历史会议记录管理、与会信息管理、会议纪要、屏幕分享等功能模块；控制端控制客户端的屏幕分享操作，及会议资料的实时推送。其架构如下： 多屏互动系统架构图 多屏互动系统工作于局域网环境内，客户端支持Windows和Android两个版本，服务器支持Windows和Android两个版本，控制端支持Windows和Android两个版本。 客户端登陆服务器获取会议信息，服务器控制客户端的连接上限，保存实时客户端列表，并将用户信息推送至控制端。控制端控制客户端的屏幕分享，每次只允许一个客户端的屏幕共享。在会议过程中，可通过服务器实时推送会议资料。多屏互动系统工作于局域网环境内，客户端支持Windows和Android两个版本，服务器支持Windows和Android两个版本，控制端支持Windows和Android两个版本。 客户端登陆服务器获取会议信息，服务器控制客户端的连接上限，保存实时客户端列表，并将用户信息推送至控制端。控制端控制客户端的屏幕分享，每次只允许一个客户端的屏幕共享。在会议过程中，可通过服务器实时推送会议资料。
电子科技大学
2021-04-10
多屏互动
随着电子信息化的发展，移动电子设备已经深入到人们生活的方方面面。在如今的会议场景，数字多媒体的应用极大的提高了办公的效率。多屏互动系统通过实时推送开会人员个人信息和屏幕信息的功能，极大的方便了会议成员之间的交流。同时本系统提供了个性化的会议记录和会议提醒功能，方便用户记录会议信息。因此，本系统在数字化会议互动领域有良好的应用前景。多屏互动包含客户端、服务器、控制端三个角色。服务器以“黑盒子”的方式直连LCD显示器，以中间件的角色响应控制端的控制指令，控制客户端的操作，并将客户端的屏幕共享投影至LCD显示器；客户端具备历史会议记录管理、与会信息管理、会议纪要、屏幕分享等功能模块；控制端控制客户端的屏幕分享操作，及会议资料的实时推送。
电子科技大学
2021-04-10
多屏互动
随着电子信息化的发展，移动电子设备已经深入到人们生活的方方面面。在如今的会议场景，数字多媒体的应用极大的提高了办公的效率。多屏互动系统通过实时推送开会人员个人信息和屏幕信息的功能，极大的方便了会议成员之间的交流。同时本系统提供了个性化的会议记录和会议提醒功能，方便用户记录会议信息。因此，本系统在数字化会议互动领域有良好的应用前景。多屏互动包含客户端、服务器、控制端三个角色。服务器以“黑盒子”的方式直连LCD 显示器，以中间件的角色响应控制端的控制指令，控制客户端的操作，并将客户端的屏幕共享投影至LCD 显示器；客户端具备历史会议记录管理、与会信息管理、会议纪要、屏幕分享等功能模块；控制端控制客户端的屏幕分享操作，及会议资料的实时推送。
电子科技大学
2021-04-10
教创赛专家报告荟萃⑮ | 东北大学党委常委、副校长王兴伟：教学智思体赋能的“学、教、研”多场景数智教育平台建设与实践
东北大学作为中国高等教育的重要基地，始终致力于面向国家战略与产业发展需求培养高水平创新人才。
高等教育博览会
2025-09-28
立体结构多样性共价键抑制剂化合物库
基于活性小分子的化学遗传学是发现新靶点的强有力工具，但目前国内外采用的筛选物质平台大多为自然来源的分子库和已知靶点的分子库，极大限制了人们对众多未知功能基因/蛋白的认识。本项目在前期发展一锅法快速构建结构多样性化合物合成技术基础上，通过引入共价键弹头单元和杂环单元构建立体多样性共价键抑制剂库，获得高亲和性活性分子，同时通过手性中心结合精细立体化学控制实现共价键抑制剂的高选择性，为罕见肿瘤新靶点发现提供一种新型人工化学遗传学库筛选平台，为基于活性小分子靶点发现研究中缺少新结构工具分子的关键问题提供一种解决方案，从源头核心技术上为靶点发现开发一种化学异构体可获得性的优化ABPP技术，提高靶点发现效率。结合基因组学、蛋白质组学、分子生物学及理论计算新技术，也为临床转化的候选药物开发奠定基础和靶点未知的药物开发提供一种可能途径。
本化合物库特色:
1.核心结构多样性/一锅快速合成；
2.含手性或单/多季碳中心；
3.共价键单头位点多样性；
4.立体异构体可获得性
5.可多位点后续化学修饰
6.核心结构均为自有知识产权 （目前已有申请/授权专利45项）
立体结构多样性共价键抑制剂库的优势：
1.共价键相互作用高亲和性---作为潜在探针分子
2.通过立体化学控制提高选择性---克服脱靶、假阳性
3.核心结构多样性---提高表型筛选的效率
学术支撑：
1.相关研究在 Adv., Angew. Chem. Int. Ed. Chem. Sci.等发表研究论文48篇
2.前期部分研究成果作为第二完成人获得2016年度上海市自然科学一等奖
成果进展：
1.目前已有3000多个化合物，继续扩大中；约50%的化合物立体异构体可得
2.在罕见肿瘤/三阴性乳腺癌/白血病/胰腺癌细胞选择性活性（IC50< 100 nM）
3.针对已知抗新冠病毒Covid-19的重要靶点主蛋白酶（3CL）的发现良好抑制活性新分子
华东师范大学
2021-05-10
含芴基及醚键结构的双马来酰亚胺及其制备方法
本发明提供一种含芴基及芳醚键结构的双马来酰亚胺及其制备方法,含芴基及芳醚键结构的双马来酰亚胺具有如下结构式:式中的取代基R1,R2各自独立地选自氢原子,卤素原子,硝基,C1～C20的脂肪族烷基或其衍生物,或者C6～C12的芳香烃烷基或其衍生物。
大连理工大学
2021-04-13