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一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法,属于液体温度 调节装置及其温度控制方法,解决现有光刻机浸没液温度调节控制装 置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水 温度的问题。本发明的温度调节装置,包括纯水供应部分、注液部分 和控制系统,纯水供应部分放置于远端的纯水设备内,注液部分放置 于光刻机内部;纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接;控 制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一~第三温度 传感器的温度值;并对第 1~第 3 加热器的加热电压进行控制,同时 对冷却水
华中科技大学 2021-01-12
一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法,属于液体温度调节装置及其温度控制方法,解决现有光刻机浸没液温度调节控制装置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水温度的问题。本发明的温度调节装置,包括纯水供应部分、注液部分和控制系统,纯水供应部分放置于远端的纯水设备内,注液部分放置于光刻机内部;纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接;控制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一~第三温度传感器的温度值;并对第 1~第 3 加热器的加热电压进行控制,同时对冷却水流量伺服阀的驱动
华中科技大学 2021-04-14
多路电表
本成果采用32位微处理器内核,可测量3路交流电压信号和12路交流电流信号,计算出各条线路的电度统计数据,并带485总线通讯功能。标准导轨式安装。
东南大学 2021-04-10
液体分层
宁波华茂文教股份有限公司 2021-08-23
CompactPCI多路多功能智能电表
本装置采用CompactPCI技术架构,多路同步交流采样技术,软件测控技术。实现智能电度表的功能。该电度表由GPS定时,实现了分时计量,条件录波,本地数据存储和网络上传至主站等功能。目前一套系统可以进行16路单相或者5路3相的电度计量。也可以扩充到32路单相或者10路3相电度计量。该系统可以灵活配置,交直流通用,可以配合各种不同的传感器。
西南交通大学 2016-06-27
CompactPCI多路电能质量检测装置
本装置采用CompactPCI技术架构,多路同步交流采样技术,软件测控技术。实现多路谐波分析的功能,分析的谐波次数达到50次。该装置采用GPS定时,具备条件录波,本地数据存储和数据网络上传至主站等功能。目前一套系统可以实现32路谐波分析。该系统可以灵活配置,以配合各种不同的传感器。
西南交通大学 2016-06-27
轮式装载机多路阀
泰安正泰工程机械有限公司 2021-08-23
磁液体光栅
针对传统光栅衍射效应固定不变,不可调节,运用面狭窄的问题,提出了一种磁流体光栅,利用外磁场的强度来控制磁流体的折射率和吸收系数,进而使得磁流体光栅的折射率调制和吸收系数调制随外磁场的改变而改变,实现磁流体光栅衍射效率可调的特性。   所述磁流体光栅包括一个周期性凹槽、一种磁流体、一个光学透明的刚性覆盖层及一个磁场产生装置,磁流体填入周期性凹槽的各个凹槽中,光学透明的刚性覆盖层将磁流体密封在周期性凹槽中,磁场产生装置置于周期性凹槽外,磁场产生装置通电后在磁流体所在的位置产生均匀、可调的磁场,用于改变磁流体的折射率和吸收系数。   所述的周期性凹槽是在光学透明的刚性衬底上用带折射率的光学材料隔成一个个凹槽,制作凹槽的方法采用蚀刻法。所述磁流体,由表面包覆活性剂的磁性微粒和用于分散磁性颗粒的液相载液组成。所述周期性凹槽的深度在1μm—10μm之间、宽度在1μm一200μm之间。所述光学透明的刚性衬底和光学透明的刚性覆盖层为石英(Si02)、光学玻璃。所述的周期性凹槽的周期Λ、深度d、入射光波长λ和磁流体光栅的平均折射率n0满足关系式2πλd/(noΛ)2<<1薄光栅条件,形状选用矩形、锯齿形、余弦形。所述的磁流体的磁性微粒选用四氧化三铁(Fe304)、三氧化二铁(Fe203)、锰锌铁氧体,表面活性剂选用油酸、亚油酸、橄榄油,液相载液选用水、煤油。所述的磁场产生装置包括一个或一对螺线圈和一个可调直流恒流源,该可调直流恒流源用于给电磁铁或螺线圈供电,其输出电流的大小控制电磁铁磁场或螺线圈感应磁场的强度。所述的磁场产生装置产生的磁场平行于衬底或覆盖层的表面、并且垂直于凹槽的长边侧壁。  将磁流体这一液相磁性物质用来制作光栅,利用磁流体的折射率和吸收系数随外磁场强度变化的特点,通过外磁场即可控制光栅的衍射光效率,从而实现了衍射奴率可调的光栅。实现了可在线、实时调节指定阶次衍射光的衍射效率,为光通讯和光子器件领域的性能提高提供了新的方法。
上海理工大学 2021-04-11
液体的比重
比重计和比轻计,配高30cm透明盛液量筒,测量液体的比重和密度。
宁波华茂文教股份有限公司 2021-08-23
分层的液体
180mm×180mm×210mm,液体分层明显。
宁波华茂文教股份有限公司 2021-08-23
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