一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法,属于液体温度 调节装置及其温度控制方法,解决现有光刻机浸没液温度调节控制装 置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水 温度的问题。本发明的温度调节装置,包括纯水供应部分、注液部分 和控制系统,纯水供应部分放置于远端的纯水设备内,注液部分放置 于光刻机内部;纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接;控 制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一~第三温度 传感器的温度值;并对第 1~第 3 加热器的加热电压进行控制,同时 对冷却水
华中科技大学
2021-01-12