一种基于超材料结构的压力传感器
本发明公开了一种基于超材料结构的压力传感器,该压力传感器包括基板、输入微带信号线一、输入微带信号线二、金属?绝缘层?金属(MIM)电容的下极板、金属?绝缘层?金属(MIM)电容的绝缘层、金属?绝缘层?金属(MIM)电容的上极板、开路短截线电感、微带信号线三、微波功率合成器的输入端、微波功率合成器的输出端、微波功率合成器的隔离电阻连接用微带信号线、微波功率合成器的隔离电阻、微带线地线、压力感应腔体;该压力传感器采用金属?绝缘层?金属(MIM)电容感应压力的变化,并通过微波功率合成器合成的微波功率变化实现压力测量,具有灵敏度高、体积小、测量范围大、测量误差小的优势。
东南大学
2021-04-11