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一种宽量程高精度集成双膜电容式压力传感器及制作方法
本发明涉及压力传感器技术领域，特指一种宽量程高精度集成双膜电容式压力传感器及制作方法，包括玻璃衬底，玻璃衬底上设有浅槽一与浅槽二，浅槽一与浅槽二通过细槽连通，浅槽二中心位置设有浅槽通孔，浅槽通孔从浅槽二底面延至玻璃衬底底面，浅槽一上设有可测量低压差的电容Ｃ１，浅槽二上设有可测量高压差的电容Ｃ２，可测量低压差的电容Ｃ１包括底电极板与薄压力敏感膜，可测量高压差的电容Ｃ２包括厚压力敏感膜与顶电极板，浅槽通孔通过细槽与可测量低压差的电容Ｃ１对应设置，浅槽通孔通过浅槽二与可测量高压差的电容Ｃ２对应设置。本发明通过可测量低压差的电容Ｃ１与可测量高压差的电容Ｃ２分别实现了压力在低压段与高压段的高精度测量。
东南大学
2021-04-11
中国科大在新一代神威超级计算机上首次实现全球公里尺度大气物理-化学全耦合数值模拟
初步揭示了全球高分辨率大气物理-化学耦合模拟能显著改善极端天气事件预报的准确性，展现出高空间分辨率和耦合化学反馈效应对数值天气和空气质量预报的重要意义，对预报极端和高影响天气、以及大气污染事件具有重大应用前景。
中国科学技术大学
2022-06-02
关于“大气与土壤、地下水污染综合治理”重点专项2023年度指南通过首轮评审的项目填报正式申报书的通知
根据国家重点研发计划重点专项管理工作的总体部署和相关工作要求，中国21世纪议程管理中心已完成了“大气与土壤、地下水污染综合治理”重点专项2023年度项目申报指南预申报形式审查和首轮评审工作，已通过国家科技管理信息系统分别进行了反馈。请通过首轮评审的项目及时按要求填报项目正式申报书（含预算申报）。
科学技术部
2023-07-25
关于“大气与土壤、地下水污染综合治理”重点专项2023年度指南直接进入正式申报项目填报正式申报书的通知
根据国家重点研发计划重点专项管理工作的总体部署和相关工作要求，中国21世纪议程管理中心已完成了“大气与土壤、地下水污染综合治理”重点专项2023年度项目申报指南预申报形式审查，已通过国家科技管理信息系统进行反馈，并依规确定了可直接进入正式申报环节的项目清单。
科技部
2023-07-14