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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
清华与哈佛研究团队合作揭示空气质量提升对光伏发电与碳中和目标的协同效益
在碳中和目标驱动下，光伏发电装机水平预计将成倍增长。空气污染将会降低光伏发电水平，有损光伏发电的“减污降碳”效益，然而，我国空气污染及其改善对光伏发电的影响仍缺乏系统研究。
清华大学
2022-05-09
专家报告荟萃⑤ | 谭建荣院士：新质生产力与智慧城市 关键技术与发展趋势
新质生产力是推动经济高质量发展的重要驱动力。新质生产力可以理解为新一代信息技术牵引的生产力，信息技术不仅改变了人类的生产方式、生活方式、思维方式和学习方式，也对职业教育方式产生了深远影响。
中国高等教育博览会
2024-12-10
中南大学拟用科技成果进行作价出资与湘潭电化产投控股集团有限公司等主体共同成立湖南新能源材料研究院（筹）所涉及中南大学持有2项发明专利的市场价值
湖南湘评资产评估事务所（有限合伙）
2025-10-29
南京大学化院燕红课题组在碳硼烷选择性功能化方面的研究工作取得新进展
研究发现与羧酸基团相连的硼原子NPA (Natural Population Analysis)电荷越大，对应的碳硼烷羧酸脱羧产生自由基的能垒就越低，实验上与三氟甲基烯烃底物的反应产率也越高，即富电子硼位点有利于脱羧产生碳硼烷自由基。
南京大学
2022-06-14
技术需求：机械方面：机械设计、机械制造工艺学、机电一体化技术、机械制造及其自动化等学科。
机械方面：机械设计、机械制造工艺学、机电一体化技术、机械制造及其自动化等学科。电气方面;电气工程及其自动化、机电一体化系统、电气控制与PLC，电机与电器、电力工程等学科。
山东赛瓦特动力设备有限公司
2021-08-19
南开团队首次揭示霍乱大流行菌株起源和完整进化途径的研究成果，被写入美国微生物学会出版的权威教科书《微生物》
近日，南开大学王磊教授团队首次揭示霍乱大流行菌株起源和完整进化途径的研究成果，被写入美国微生物学会出版的权威教科书《微生物》（Microbe,3rd Edition）。该书由美国密歇根大学米歇尔·斯旺森教授等编写，介绍微生物领域最基础和核心的知识及原理，是国际上最经典和畅销的微生物学教科书之一。
南开大学
2023-07-12
表面功能化的纳米金颗粒用于潜在指纹显现的方法
本发明属于痕量检测技术领域,具体涉及表面功能化的纳米金颗粒用于潜在指纹显现的方法.本发明提供不同表面功能化的纳米金颗粒(探针)用于潜在指纹显现的方法.分别为烷基硫醇修饰疏水化的纳米金颗粒,表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)保护的疏水化的纳米金颗粒,CTAB保护的水溶性的纳米金颗粒及L-半胱氨酸保护的水溶性纳米金颗粒.探针与潜在指纹中残留汗液中的成分发生吸附,静电作用或缩合反应,然后利用银染法,使潜在指纹样品在银染液中显色,将与指纹中成分识别的纳米金颗粒信号放大,被还原的银颗粒在样品指纹的纹路处沉积从而呈现黑色,形成可裸眼观察到清晰的指纹图像.方法简单,快速,灵敏度高;无毒副作用.
哈尔滨师范大学
2021-05-04
单目视觉城市建筑物参数化三维建模
本书结合作者对图像处理,分析和三维重建等进行的研究和工作,对从数码相机拍摄的建筑物图像中以参数化建模的方法恢复建筑物的三维几何结构进行了论述和探讨.
江苏海洋大学
2021-05-06
抗金属NFC天线用磁性基板材料及产业化
主要功能：解决NFC（Near Field Communication）天线在金属环境下的失效问题 应用领域：配备NFC功能的智能终端及相关设备，如：智能手机及穿戴产品、智能家居及智能汽车等待 特色与先进性： ？ 采用缓冲均化技术，实现了磁性基板用铁氧体粉料的稳定批量生产，性能偏差控制在±1%以内； ？ 首次采用全相溶水性体系流延法制备NFC天线用铁氧体磁性系列基板材料，并厚度在0.06mm至0.3mm范围内可调，流坯体成型速度可大于12.7mm/s； ？ 形成了NFC天线模组抗金属特性从性能仿真到参数评估的一整套参数仿真、评估模型； ？ 形成了一系列自主知识产权，本项目目前为止共申请专利13项。在行业内形成了较强的影响力，并在行业内起到了带动作用； 性能指标达到世界先进水平，具体如下： ？ 研制的NFC天线用铁氧体磁性基板材料其磁导率实部（μ′）大于175@13.56MHz，磁导率虚部（μ″）小于3.5@13.56MHz； ？ 批生产制备的NFC天线用铁氧体磁性系列基板材料其性能指标达到磁导率实部（μ′）大于150@13.56MHz，磁导率虚部（μ″）小于2.5@13.56MHz。 能为产业解决的关键问题和实施后可取得的效果 自该项目立项之初，铁氧体型NFC天线基板材料长期被日韩企业所垄断，致使铁氧体型NFC天线基板材料在国内的销售价格一度高达3000元人民币/平米。此成果在于打破国外垄断，解决国内该材料空白的窘境，为NFC技术在国内的推广起到技术与价格的双重保障； 2013年被业界定位为NFC元年，ABI同时预测：至2017年具有NFC（近场通信）功能的设备年出货量将接近20亿部，其中主要为智能手机及其他消费类电子产品。 并随着物联网及智能家居及智能汽车的概念兴起，NFC标签作为物联网设备身份识别信息，需求量将大幅增加。NFC技术已经被视为智能家居及智能汽车各连接设备的接入方式，如果在不久的将来，智能家居及智能汽车进入家庭，则对NFC模块及其配件需求量将大幅增加，NFC天线基板材料的需求量也将随之增加。 综上，NFC技术正处在快速的推广期，NFC技术的应用将逐步在人们的日常生活中体现。NFC天线基板材料预期将有广阔的应用及市场空间。
电子科技大学
2021-04-10