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高频辉光放电等离子体化学
气
相沉积(PECVD)
装置
PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)—等离子体化学气相沉积,在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子,提供化学气相沉积过程所需的激活能,相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1)自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号;2)可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境,且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3)专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构,可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构,可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4)该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计,符合产品要求。
北京交通大学
2021-04-13
一种带
气
液分离的制冷剂分流
装置
本发明公开了一种带气液分离的制冷剂分流装置,该装置由两相流体进口管、液体分液头、气液分离器容器、气液分离器容器上部封头以及顶部气体出口管组成,两相流体进口管一端与节流机构的出口端相连,另一端从液体分液头的中心穿过进入到气液分离器容器中,并与液体分液头焊接密封,进入气液分离器容器的两相流体进口管端部密封,而在其紧靠端部的下方侧面均匀分布有出口,两相流体由此进入气液分离器容器,气液分离器容器的作用主要是将从两相流体进口管出来的气液两相的制冷剂分离成集聚在容器下方的液体和寄居在容器上部的气体,本发明通过气液分离器容器有效地将制冷剂蒸汽与液体分离,保证了液体的均匀等量分流,并具有成本低、体积小的特点。
华中科技大学
2021-04-13
航空充氮气车
气
路系统动态电模拟方法和
装置
本发明公开了一种航空充氮车气路系统动态电模拟方法和装置。利用气路系统与电系统的等效对应关系,把气瓶管道网络转化为动态电路拓扑。利用本发明的航空充氮车电模拟方法和装置,设置好初始各气瓶气压值,之后只需采集各个开关阀门的状态,就可以动态模拟出充氮车的充气流程。本发明对于操作人员熟悉掌握充氮车充气流程、理解各流程工作原理、训练操作人员对突发事故的应变能力以及故障的定位分析都具有实际价值与意义。
西南交通大学
2016-10-20
LNG加
气
站用新型BOG再液化
装置
及系统
上海交通大学
2021-04-13
一种便于收纳的供暖
装置
电能供暖具有便捷性、安全性和低碳性等特点,电能供暖设备具有广阔的市场空间。本发明可在不工作时将进行折叠收起,以显著节省供暖装置的占用空间;本发明能够实现模块化组装,设备检修和更换非常方便;本发明携带方便,可用于室内外多种场合。
沈阳农业大学
2025-05-21
考虑风光储协调的配电网电压
控制
策略研究与开发
针对分布式风光发电在配电网中的高比例接入态势,源荷存在时空不匹配特性,导致功率倒送和节点过电压等问题,面向电网网架相对薄弱地区,开展考虑风光发电不确定性的储能的选址定容研究,实现不同运行方式下储能的优化配置;提出基于有功/无功电压控制分区的新型配电系统电压控制策略,实现配电网电压的分散式与集中式协同控制,满足高渗透率风光并网场景下的电能质量要求。
沈阳农业大学
2025-05-21
人工
气
道
本实用新型公开了一种人工气道,特别是一种应用于医疗卫生领域的人工气道。本实用新型提供一种可以简化对人工气道封闭气囊压力进行监测,并能实时对封闭气囊的压力进行自动安全调节,同时防止误操作,使其可以安全且稳定维持在理想压力值的人工气道,包括导管、主接头、封闭气囊和充气管,所述主接头设置在导管的端部;所述充气管一端与封闭气囊相通,另一端与压力指示气囊相通,还包括压力安全阀。当临床医务人员在充气接头处注射气体,随着注射气体的增加压力指示气囊压力,封闭气囊以及压力接口处的压力也随之增加,一旦封闭气囊和外侧压力指示气囊压力过高超过压力安全阀安全值,压力安全阀打开漏气释放压力。
四川大学
2016-10-26
小型
气
源
产品详细介绍
河北省涿州市长城教学仪器厂
2021-08-23
小型
气
源
产品详细介绍
河北省涿州市长城教学仪器厂
2021-08-23
.
气
瓶柜
产品详细介绍供应各类单瓶组,双瓶组,三瓶组,多瓶组防腐钢瓶柜,可增设远程红外线报警器,可非标制作, 全钢结构,采用st12材料,表面经环氧树脂喷塑防腐防腐处理,材料厚度为1.5mm,双层抗爆结构,四点式固定门片结构,,带锁把手,活动翻板方便存放气瓶,配置气瓶固定架,方便钢瓶移动放稳,加设气体管路及减压系统.
上海正申实验室设备有限公司
2021-08-23
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