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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
浙江省科学技术厅关于公开 征求《关于建设高标准中国浙江网上技术市场 加快构建市场化科技成果转化机制的意见（征求意见稿）》意见的通知
为深入贯彻党的二十大精神，充分发挥科技成果需求侧的激励导向作用，推动科技成果价值早发现、早实现，提高科技成果转化和产业化水平，我厅研究起草了《关于建设高标准中国浙江网上技术市场 加快构建市场化科技成果转化机制的意见（征求意见稿）》，现公开征求意见，如有修改意见建议，请于8月23日前反馈我厅。
浙江省科学技术厅
2023-08-14
北京科研团队实现人工智能四维重建技术提升冷冻电镜分析精度
近日，北京市自然科学基金资助的重点研究专题项目“超高分辨冷冻电子显微镜成像方法研究与应用”取得重要进展。在该项目支持下，北京大学毛有东教授团队于2022年4月27日在国际顶级学术期刊Nature杂志在线发表了题为“USP14-regulated allostery of the human proteasome by time-resolved cryo-EM”的研究论文，阐明了原子水平人源蛋白酶体动力学调控和构象重编程机制，并在国际上首次展示了人工智能四维重建技术用于大幅提升时间分辨冷冻电镜分析精度。
北大科研
2022-05-11
关于进一步加快省属高校院所专业化技术转移机构建设的通知
省属高校、院所专业化技术转移机构建设是山东科技大市场建设的重要组成部分。为贯彻落实《中华人民共和国促进科技成果转化法》《国家技术转移体系建设方案》等有关要求，全面提升高校、院所科技成果转移转化能力，现将进一步加快省属高校、院所专业化技术转移机构建设有关事项通知。
山东省科学技术厅
2022-10-26
浙江省科学技术厅关于 组织开展省级企业研发机构评价工作的通知
按照我厅工作部署，根据《浙江省高新技术企业研究开发中心建设与管理办法》《浙江省企业研究院建设与管理办法》《浙江省重点企业研究院建设与管理办法》（以下简称《管理办法》），经研究，决定对省级企业研发机构（以下简称“研发机构”）开展2022年度集中评价工作。现将有关事项通知如下。
浙江省科学技术厅
2023-07-17
浙江省科学技术厅 关于加强省级科技计划项目科技伦理监管的通知
为贯彻落实中共中央办公厅、国务院办公厅《关于加强科技伦理治理的意见》和省委办公厅、省政府办公厅《关于加强科技伦理治理的实施意见》有关精神，加强省级科技计划项目科技伦理监管，推进科技伦理要求贯穿指南编制、项目申报、审批立项、过程管理、结题验收、监督评估等项目组织实施全过程，促进研发活动与科技伦理良性互动，实现负责任的创新，现就有关事项通知如下。
浙江省科学技术厅
2023-06-28
深部高瓦斯未采动煤层井下水力压裂高效增透成套技术 与工程应用
项目成果/简介:如何快速、有效的提高煤层透气性，并长时间的保持增透技术产生的大量裂隙，进而有效的、长时间的提高和保持煤层的高透气性，是目前煤层气开采领域的主要研究方向之一。实践已经证明，两淮矿区利用地面钻井的方法预抽未采动煤层瓦斯的尝试均未达到预期效果。因此，在现有技术条件下，在两淮矿区直接从地面开采未采动煤层瓦斯难以实施。
安徽理工大学
2021-04-11
大型、超大型零部件孔、面有高位置精度要求的 定位加工技术
对于大型或超大型零部件，如大型箱体类零件上，常有轴承孔系以及面的平行、垂直等位置精度的要求，本技术区别于传统的加工方法，利用特有的等分定位技术和车间现场条件，可方便地确定孔的对称位置和关联面间的位置，且加工或修正出具有很高位置精度的零部件。 工作原理：等分定位新技术 + 特殊的定位处理技术
北京科技大学
2021-04-11
新型环保粉体材料的研制开发及其在水处理中的应用技术研究
本项目所研制和应用的净水材料SPM是在消化吸收进口净水材料基础上，利用国产原料研制成功和应用的一种合金材料，经初步试验与核算SPM的性能达到引进产品的主要水质指标，但其售价仅为进口产品的50%～60%，因此由上海市科委立项，由上海芬迪超硬材料科技有限公司与华东理工大学资源与环境工程学院实行产学研结合，承担该项目并于2008年通过市科委组织的专家验收，并申请了国家发明专利。该项技术的先进性和技术特点： 1）去除自来水中的余氯效果良好，去除效率可高达90%以上； 2）去除水中有害金属离子如Pb、Hg、Cr、Cd等；3）抑制水中细菌和藻类繁殖，杀菌率也>?0%； 4）与活性炭和分离膜联用，可对活性炭和分离膜起到一定保护作用而延长其使用寿命，降低成本。在实验工厂实行批量生产，并应用于集团用、家用和全屋型饮用水净水机（器），以及居民社区分质供水的饮用水站。
华东理工大学
2021-04-11
深部高瓦斯未采动煤层井下水力压裂高效增透成套技术 与工程应用
如何快速、有效的提高煤层透气性，并长时间的保持增透技术产
生的大量裂隙，进而有效的、长时间的提高和保持煤层的高透气性，
是目前煤层气开采领域的主要研究方向之一。实践已经证明，两淮矿区利用地面钻井的方法预抽未采动煤层瓦斯的尝试均未达到预期效
果。因此，在现有技术条件下，在两淮矿区直接从地面开采未采动煤
层瓦斯难以实施。
安徽理工大学
2021-04-30