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一种加工硅通孔互连结构的工艺方法
本发明公开了一种加工硅通孔互连结构的工艺方法,步骤为:①在基板上刻蚀盲孔;②在基板上沉积一层图案化介电质层;③刻蚀图案化介电质层,刻蚀掉盲孔底部的介电材料,保留盲孔侧壁的介电材料,在基板上形成介电质孔;④在介电质孔上沉积一层导电材料,形成导电孔;⑤在导电层上再沉积一层图案化介电质层,填充导电孔;⑥刻蚀板背面,暴露出导电层,在导电层上形成焊料微凸点。图案化介电质层的材料优选聚对二甲苯。本发明简化了工艺步骤,减少工艺时间并降低了费用;使用二层图案化介电质层,降低了寄生电容,提升了互连电性能,适用于高速和
华中科技大学 2021-04-14
气 孔 修 补 剂
南京工程学院 2021-04-13
光学纳米孔测序芯片
现阶段牛津纳米孔公司所开发的MinIon测序仪尚存在若干内在缺陷,如单次使用成本极高,单次检测正确率低,检测通量小,检测速度慢等天然缺陷。在这个意义上,我国科研工作者尚存实现自主知识产权并超越国外同行的机会
南京大学 2021-04-14
五孔探针调节装置
该成果是针对现有技术缺陷,设计了一种可对五孔探针的位置和角度进行精细调节的机械装置。其特征是,设有支架、 握持座、五孔探针、滑动导杆、丝杠螺母机构和蜗轮蜗杆机构,握持座、五孔探针、丝杠螺母机构和蜗轮蜗杆机构安装在支架上,所述丝杠螺母机构由管状丝杠管状旋套螺母构成,螺母安装在支架上,所述蜗轮蜗杆机构设有蜗轮、蜗杆和蜗杆座,蜗杆与蜗轮啮合连接,蜗杆安装固定在蜗杆座上,蜗杆座与所述握持座固定连接,所述五孔探针杆穿插在管状丝杠内与蜗轮同心,蜗杆座上设有导孔穿套在滑动导杆上,丝杠螺母机构调节五孔探针的轴向运动
扬州大学 2021-04-14
02003打孔夹板
宁波华茂文教股份有限公司 2021-08-23
29035小孔成像装置
宁波华茂文教股份有限公司 2021-08-23
高压轴向柱塞泵马达设计方法
针对高端液压原件主要依赖进口的问题,北京理工大学长期致力于高端液压泵马达的基础研究、工程设计及应用研究,承担了多项液压传动相关的国家预研项目,完成了高压轴向柱塞泵马达的集成设计方法与验证、典型材料关键摩擦副设计与验证、变量伺服机构设计和高压联体轴向柱塞泵马达动态设计方法等研究内容,突破了摩擦副的油膜润滑设计和高压联体泵马达高精度动态设计等关键技术,掌握了高压联体泵马达关键摩擦副油膜润滑支承与动力学规律,建立了高压联体泵马达的动态设计方法,利用该方法可以实现对关键摩擦副和变量机构的精确设计,形成了相应的设计规范,揭示了多因素对泵马达流量与压力脉动的影响规律,提出了泵马达振动噪声控制方法, 提出了回程盘组件高精度配对加工和柱塞滑靴组件收口新工艺方法。在此基础上研制成功了大功率高压轴向柱塞液压泵马达样机,并形成系列化产品。 项目组掌握了高压轴向柱塞泵马达的设计方法,并形成了具体的设计规范和分析软件,能有效地提液压泵马达的功率密度。针对泵马达关键摩擦副材料摩擦磨损特性、油膜润滑与动态设计的理论和试验研究结论,将有利于完善液压泵马达设计理论,提高我国大功率高压液压元件设计水平。
北京理工大学 2021-12-20
大空间建筑大跨度射流接力设计方法
大空间建筑分层空调分层面越低,空调能耗越少,但此时送风射程受限,冷风抵达区域越小。大空间建筑大跨度射流接力设计方法是利用二次接力设备接力一次送风射流使射流抵达区域增加的一种新型气流组织。理论研究和实验研究结果表明,这种射流接力方法可使室内环境均匀化提高,冷风感下降,适合大跨度室内热环境均匀性的要求。研究团队通过理论和实验研究获得从室内环境需求出发,进而获得室内二次接力设备配置的设计方法。
上海理工大学 2021-01-12
设计·IT
平面·UI、原画·插画、IT·技术、互联网·运营、其他设计等,零基础入门、精品小课。
上海享互网络科技有限公司 2021-02-01
具有多级孔结构和孔壁由纳米线编织的泡沫陶瓷
1.痛点问题 从目前中国节能政策的导向来看,绿色建筑节能环保需求不断加强,且对材料的保温性和防火性都提出了较高的要求,传统有机材料因为其防火性能差,开始逐步退出市场。泡沫陶瓷同时具有良好的保温性和防火性,作为A1级建筑保温材料市场非常广阔,每年新增建筑市场约2000亿元,老旧建筑的改造也差不多有2000亿元的市场规模。而长期以来,采用泡沫陶瓷作为保温节能和烟气过滤的主要问题是气孔率只能做到95%以下,气孔率超过95%以后,抗压强度急剧下降。 2.解决方案 本技术采用二级孔结构和在孔内生长纳米线的方法,使得高气孔率的泡沫陶瓷强度得到显著提高,具备了在保温节能和高温烟气过滤应用的可能性。具体包括:在陶瓷原料中适当掺入一定比例的微米级铝粉,利用铝粉的可肯达尔效应,将铝粉形成氧化铝空心球,形成在空壁和三角处的二级孔结构,显著增强了泡沫陶瓷的力学性能;在陶瓷原料中参入Si粉,在1400度左右,在埋碳的还原气氛中,可以在孔壁中形成碳化硅纳米线,这些纳米线可以协同增强力学性能和增加高温烟气的过滤效果。 3.合作需求 1)应用场景:选择一栋建筑外墙保温为示范工程,测试保温节能的效果。 2)资源对接,目标合作区域、领域和合作企业。
清华大学 2022-11-16
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