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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学 2021-04-14
教创赛专家报告荟萃⑧ | 北京交通大学威海国际学院副院长肖贵平:异地校区中外合作办学教学质量保障的探索与思考
北京交通大学威海国际学院面对中美英三方学制差异,创新三方周例会制度、中外联合管理机制以及分类课程管理模式。
高等教育博览会 2025-09-28
关于填报国家重点研发计划“诊疗装备与生物医用材料”重点专项2023年度项目正式申报书(含预算申报书)的通知
根据国家重点研发计划重点专项管理工作的总体部署,由中国生物技术发展中心承担管理的“诊疗装备与生物医用材料”重点专项2023年度项目将进入正式申报书(含预算申报书)填报阶段。
科学技术部 2023-07-17
关于召开国家重点研发计划“诊疗装备与生物医用材料”重点专项2023年度申报项目视频答辩评审会的通知
根据工作安排,定于2023年8月28日至9月2日召开视频答辩评审会,对 “诊疗装备与生物医用材料”重点专项2023年度申报项目进行视频答辩评审。现将会议工作安排和有关事项通知如下。
科学技术部 2023-08-22
安徽大学材料科学与工程学院在金属镍掺杂碳点实现高效稳定的尿素电氧化研究方面取得新进展
基于上述挑战,安徽大学材料科学与工程学院毕红教授课题组首次采用金属镍掺杂碳点(Ni-CDs)作为尿素电氧化的催化剂。
安徽大学 2022-11-07
专家报告荟萃⑰ | 中国农科院作物科学研究所重大平台中心副主任张丽娜:科学仪器应用验证评价的探索与实践
国家网络管理平台数据显示,全国高校和科研院所50万元(含)以上大型科学仪器中国产仪器占有率不足25%。
高等教育博览会 2025-07-01
第五届教创赛同期活动预告:教师教学能力提升系列交流活动之二 新时代拔尖创新人才自主培养的思考与实践学术活动
践行强国育人使命 培育时代创新英才
高等教育博览会 2025-07-30
教创赛专家报告荟萃② | 复旦大学高等教育研究所教授副所长陆一:形具而神生——大学通识课程教学质量的关键所在
只有真正促进学生精神气质的转变,使本科教育面貌焕然一新并形成新的传统,才能说通识教育产生了效果。
高等教育博览会 2025-09-26
东南大学科研团队发现二茂铁基钙钛矿压电材料
在“东南大学十大科学与技术问题”启动培育基金的资助下,江苏省“分子铁电科学与应用”重点实验室研究团队在分子压电领域取得重要进展,发现了首例二茂铁基钙钛矿压电材料。 有机无机杂化钙钛矿(通式为ABX3)由于其在太阳能电池、光电探测器、电致发光、压电等高新科技领域中可观的发展潜力而备受专注。在杂化钙钛矿领域,因其优异的结构多样性和化学可调性,涌现出了各种结构新颖和性能卓越的压电和铁电材料。然而,迄今为止报道的杂化钙钛矿压电体中,A位的成分几乎都是纯有机胺离子。自1951年以来,二茂铁的问世掀起了有机金属化学的革命。基于二茂铁的有机金属化合物由于其性能的多样性和功能的丰富性在纳米医学,生物传感,催化和氧化还原等领域具有广阔的应用前景。经过多年发展,二茂铁基有机金属化合物在铁磁和铁弹等领域也取得了重大突破。然而,基于二茂铁基阳离子的钙钛矿压电材料此前仍是一片空白。 在“铁电化学”理论(针对铁电体的分子设计原理)的启发和指导下,我们发现以二茂铁基组分作为阳离子来代替有机胺是可行的,并构筑了一类新型的二茂铁基钙钛矿压电材料:[(二茂铁基甲基)三甲基铵]PbI3 ((FMTMA)PbI3), (FMTMA)PbBr2I和 (FMTMA)PbCl2I。得益于二茂铁基阳离子的稳定性,通过阴离子骨架中的卤素调控使材料的性能得到显著提升,获得了与LiNbO3相当的出色压电性能并兼具突出的半导体特性。基于该材料所制备的压电能量收集装置展现了其优异的机电能量转换性能。这项工作为钙钛矿压电材料的研究开辟了新的篇章,将激发对二茂铁基钙钛矿材料的进一步研究。
东南大学 2021-02-01
大理石矿综合利用及矿物复合材料研发与产业化
该发明涉及一种尾矿全资源利用方法,属于矿产资源综合利用与矿物复合新材料技术领域。该发明能够利用尾矿废石制备多种资源化利用产品,所制备的产品强度较高,具有良好的综合性能,应用范围广泛。该项发明绿色环保,可实现规模化批量制备。
中国地质大学(北京) 2021-02-01
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