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一种反馈零差式光学电压传感器
本发明公开了一种反馈零差式光学电压传感器,属于电气测量 技术领域;现有技术中,光学电压传感器受温度、震动等因素的影响, 本发明提供一种光学电压传感器,包括两个光学晶体,通过在第二光 学晶体上增加反馈电极形成反馈电场,使整个传感器构成反馈零差检 测方式,能消除温度、振动等干扰场对稳定性的影响,能消除光线偏 移、光源不稳定、光路衰减不稳定的影响。 
华中科技大学 2021-04-14
一种基于穆勒矩阵的套刻误差提取方法
本发明属于半导体制造中的套刻误差测量领域,具体涉及一种基于穆勒矩阵的纳米结构套刻误差提取方法。本发明采用穆勒矩阵矩阵对角线上的 M13 和 M31 元素,或者 M23 和 M32 元素的线性组合分别直接拟合得到一条直线,利用该拟合直线可直接根据测量穆勒矩阵元素得到套刻误差。该方法可以实现不同周期下一维套刻结构套刻误差的快速、准确提取。本发明方法可以实现一维套刻结构的套刻误差的快速、准确提取。
华中科技大学 2021-04-14
一种广义椭偏仪的同步控制系统
本发明属于广义椭偏仪的控制技术,具体为一种广义椭偏仪的同步控制系统。该同步控制系统至少包括:第一、第二中空伺服电机及其内置的增量式编码器、伺服电机控制器、两个补偿器、光谱仪、计算机和单片机。其中伺服电机控制器、光谱仪分别与计算机通过 USB端口连接,单片机通过串口与计算机相连,同时单片机对应引脚又分别与两中空伺服电机编码器 Z 向信号线和光谱仪 I/O 口连接。光谱仪识别到高电平并在高电平持续时间内完成光谱数据采集;根据计时器返回时间就可以计算出光谱仪开始采集时刻两补偿器光轴的位置。该方法可以精确控
华中科技大学 2021-04-14
一种 RFID 天线的外观缺陷检测系统及其方法
本发明公开了一种用于 RFID 天线的外观缺陷检测方法,包括:摄像装置的预标定步骤;将摄像装置移动至所需位置,并通过与条形光源或背光光源之间的配合,对待检测的天线拍摄其图像;采集所拍摄的图像并对其执行边缘检测,由此获得检测图像内的天线数量并分别记录其长、宽和中心点坐标值等信息;以及根据需求,选择性执行线宽检测、图案断线/粘连检测和毛刺/印刷污染检测等项目中的至少一项,由此获知所检测天线的质量结论。本发明还公开了相应的检测系统。通过本发明,能够以结构紧凑、便于操作的方式来对 RFID 天线执行质量检测
华中科技大学 2021-04-14
一种变角度多楔形混合材料降能
本发明涉及一种变角度多楔形混合材料降能器,包括:一对对 称的变角度多楔形结构的物体块,楔形结构尖端角度较小,末端角度 较大,降能器材料为石墨和碳化硼混合材料,一对多楔形块对称放置, 分别拥有两套独立的电机驱动机构。降能器楔形尖端小角度保证了高 能段更宽的调节范围,末端大角度保证了更大的运动传动比,实现更 快的调节速度。降能器采用石墨和碳化硼混合材料,在保证一定加工 性的同时又大大提升了束流传输的效率。两个楔形块同时对称运动, 实现阻挡束流的厚度连续变化,实现束流能量连续调节。本发明具有 连续、快速调
华中科技大学 2021-04-14
一种基于区间的数控机床性能预测方法
本发明公开了一种基于区间的数控机床加工性能预测方法,包括:(1)获取每类测量数据的多个测量值;(2)将每类测量数据中的每个测量值转换成区间形式;(3)提取时域或时频域特征;(4)把提取的时域或时频域特征作为观测,获得优化的广义隐马尔可夫模型;(5)从优化的广义隐马尔可夫模型中,找出状态转移概率矩阵,作为马尔可夫链转移矩阵;(6)选择区间化的初始状态概率向量,并与该马尔可夫链转移矩阵,形成性能预测模型 A<sup>(n)</sup>;(7)求该模型中的最大值,即为数控机床加工性
华中科技大学 2021-04-14
一种高转矩密度的磁场调制型磁力齿轮
本发明公开了一种高转矩密度的磁场调制型磁力齿轮,包括由 外到内依次同心嵌套排列的永磁外定子、调制转子和永磁内转子;永 磁外定子与调制转子之间、调制转子与永磁内转子之间均具有气隙; 永磁外定子的外定子铁心内表面开有梯形槽,梯形槽内端两侧开有退 磁抑制槽;梯形槽内嵌有切向极化的倒梯形的外定子永磁体;退磁抑 制槽起到抑制外定子永磁体局部退磁的作用;调制转子包括多个调磁 铁轭和多个嵌有冲孔的非导磁材料,相邻调磁铁轭间嵌有冲孔的非导 磁材料;永磁内转子包括有外到内依次同心嵌套的内转子永磁体和内 转子铁心;其内
华中科技大学 2021-04-14
一种实时流计算流速感知弹性执行容错系统
本发明公开了一种实时流计算流速感知弹性执行容错系统,将 传统流计算框架中元组发射、计算、状态保持与处理单元紧耦合关系 变成一种模块化、专职化的松耦合关系,结合流速感知、弹性执行、 状态管理等模块,使系统能够精细控制各阶段的处理时间进而保证整 个应用的延迟。流速感知使系统能够快速响应输入流变化或可用资源 变化。分发模块可灵活改变分发关系、并适时按批发送元组,进一步 减少了资源消耗和发送延迟。弹性执行使系统对用户透明地调
华中科技大学 2021-04-14
一种列联表数据发布的隐私保护方法
华中科技大学 2021-04-14
一种虚拟化环境下动态实时 CPU 调度系统
本发明公开了一种虚拟化环境下动态实时 CPU 调度系统,属于 计算系统虚拟化技术领域。本发明包括网络包监控模块、信息收集模 块以及实时 CPU 调度模块,无需用户设置虚拟机类型及调度参数,能 够通过分析虚拟机发送或接收的网络包的方式动态识别虚拟机的类型 以及获取虚拟机所需的调度参数。本发明可以根据动态获取的信息及 时的调度实时虚拟机,从而保证运行于虚拟机内的实时应用的性能。 本发明与现有技术相比,消除了用户管理虚拟机
华中科技大学 2021-04-14
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