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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下:温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议
天津大学 2021-04-11
百万千瓦等级汽轮机长叶片关键制造技术研发及产业化
1、主要技术内容、获奖情况 通过本项目的实施,掌握了百万等级超长叶片小余量数值模拟锻造及工艺优化技术、大型疏水槽空心叶片自动化焊接及变形控制技术、末级动叶片多阶静频测量及调频控制技术、末级动叶片进汽边防水蚀控制技术(硬化层深度可控的激光硬化技术和激光熔覆技术)、大型末级动叶精密机械加工控制技术、叶片产业化数字制造技术等关键技术,开发了满足重大工程需求的百万千瓦等级汽轮机系列长叶片,打破了国外大公司在该领域长期技术垄断,掌握了核心技术,提升高端长叶片品质,降低了百万等级机组制造成本,优化了产品工艺,加快实现百万千瓦等级机组的自主化和国际化进程,为推动我国电站装备制造行业及电力能源产业结构调整奠定了坚实的基础。 获奖情况:2015 年中国机械工业科技技术奖一等奖 2、成果的技术指标、创新性与先进性 (1)在国内采用超长叶片小余量数值模拟锻造及工艺优化技术,首次实现了世界最长的百万等级核电汽轮机 75 英寸(1905mm)叶片和百万超超临界汽轮机 60 英寸(1524mm)钛合金叶片研制。 (2)在国内采用激光硬化和激光熔覆技术,分别首次实现了国内最长的百万千瓦超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)末级动叶片和百万千瓦超超临界汽轮机 48 英寸(1220mm)末级动叶片进汽边防水蚀处理。 (3)在国内采用多阶静频测量及调频控制技术,使静频一次合格率提高到了 90%,首次实现了百万千瓦超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)叶片 1~6 阶静频测量及调频(柔性自由叶片)。 (4)在国内首次对 1 米以上超大空心叶片采用自动化焊接技术,研制成功了国内最长的百万千瓦超超临界汽轮机 41 英寸(1050mm)末级空心静叶片和百万千瓦核电汽轮机 51 英寸(1292mm)末级空心静叶片。 (5)通过采用信息化与工艺技术的集成,加快了在产业化中产品开发效率和质量,首次实现了产品开发过程中的锻造工艺的自动化设计、叶片型面数据的自动化测量分析、产品质量数据的自动化收集与分析。 3、技术成熟度 百万千瓦等级汽轮机长叶片关键制造技术已成熟应用于百万等级核电汽轮机 57 英寸(1448mm)末级动叶片、CAP1000 核电汽轮机 67 英寸(1710mm)末级动叶片、CAP1400 核电 71(1800mm)、72(1828mm)、75(1905mm)英寸末级动叶片、百万超超临界汽轮机 60 英寸(1524mm)钛合金叶片、百万千瓦超超临界汽轮机 48 英寸(1220mm)末级动叶片、百万超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)柔性自由末级动叶片和 41 英寸(1050mm)末级空心静叶、CPR1000 核电汽轮机 51英寸(1292mm)空心静叶片等一系列具有国际先进水平的长叶片研制中,并实现了产业化。 4、应用情况 江南大学和无锡透平叶片有限公司联合研制生产的百万千瓦等级汽轮机长叶片已批量经交付给东方汽轮机厂、上海汽轮机厂、哈尔滨汽轮机厂、日本三菱日立、德国西门子等公司,百万等级核电叶片已通过用户和中广核的共同鉴定,无锡透平叶片有限公司因此列入中广核国内唯一的核电叶片供货商名单。目前产品已经分别成功运用在国内岭澳核电站二期、红沿河一期、北仓港电厂、华能玉环电厂等,经用户使用后反映良好。
江南大学 2021-04-13
开发基于MXene的新型光催化剂实现安全空气消毒
新冠疫情的爆发,使人们对空气消毒日益重视。其中,紫外辐射是一种常见的空气消毒技术。然而,在实际的消毒过程中,微生物往往存在“复活”现象,从而大大影响了消毒效果。 近日,天津大学王灿教授团队提出了一种基于单层Ti3C2Tx(MXene)和暴露{001}晶面的TiO2的新型光催化剂,提高了光催化活性,取得了更高的消毒效率。该研究对前体MAX相蚀刻、插层、超声剥层,制备单层Ti3C2Tx纳米片,即MXene;通过水热法并同时调控TiO2晶面,合成光催化剂MXene/{001}TiO2,浸渍涂覆于聚氨酯(PU)海绵。 在此基础上,该研究将涂覆TiO2/MXene的PU海绵填充入连续流光催化反应器,用于动态的空气消毒,发现相比于传统的紫外消毒技术显著提高了对空气微生物的灭活效率。该研究进一步探究了紫外/光催化消毒后的空气微生物在有光(光复活)和无光(暗修复)条件下的复活情况,结果表明,与单独紫外消毒相比,经过光催化灭活的空气微生物基本无暗修复现象,在可见光下细菌浓度甚至呈现持续下降趋势。进一步对灭活机理的研究发现,紫外线通过作用于细胞DNA生成嘧啶二聚体灭活细菌,该损伤可在一定波长的可见光下被修复,细菌复活;而光催化的加入产生了活性氧自由基,对细菌的细胞结构造成了不可逆的损伤,这类损伤难以修复。因此,基于该研究中合成的新型光催化剂,可以达到更高的空气消毒效率,同时实现更彻底的消毒效果。相关的技术成果可以应用于因新冠疫情感染场所的空气消毒。
天津大学 2021-02-01
开发基于MXene的新型光催化剂实现安全空气消毒
项目成果/简介:新冠疫情的爆发,使人们对空气消毒日益重视。其中,紫外辐射是一种常见的空气消毒技术。然而,在实际的消毒过程中,微生物往往存在“复活”现象,从而大大影响了消毒效果。 近日,天津大学王灿教授团队提出了一种基于单层Ti3C2Tx(MXene)和暴露{001}晶面的TiO2的新型光催化剂,提高了光催化活性,取得了更高的消毒效率。该研究对前体MAX相蚀刻、插层、超声剥层,制备单层Ti3C2Tx纳米片,即MXene;通过水热法并同时调控TiO2晶面,合成光催化剂MXene/{001}TiO2,浸渍涂覆于聚氨酯(PU)海绵。 在此基础上,该研究将涂覆TiO2/MXene的PU海绵填充入连续流光催化反应器,用于动态的空气消毒,发现相比于传统的紫外消毒技术显著提高了对空气微生物的灭活效率。该研究进一步探究了紫外/光催化消毒后的空气微生物在有光(光复活)和无光(暗修复)条件下的复活情况,结果表明,与单独紫外消毒相比,经过光催化灭活的空气微生物基本无暗修复现象,在可见光下细菌浓度甚至呈现持续下降趋势。进一步对灭活机理的研究发现,紫外线通过作用于细胞DNA生成嘧啶二聚体灭活细菌,该损伤可在一定波长的可见光下被修复,细菌复活;而光催化的加入产生了活性氧自由基,对细菌的细胞结构造成了不可逆的损伤,这类损伤难以修复。因此,基于该研究中合成的新型光催化剂,可以达到更高的空气消毒效率,同时实现更彻底的消毒效果。相关的技术成果可以应用于因新冠疫情感染场所的空气消毒。
天津大学 2021-04-11
安徽省农产品质量安全监管与追溯平台
2016年年底,安徽农业大学花日茂教授、张友华教授领衔的农产品质量安全溯源团队研发出“安徽省农产品质量安全监管与追溯平台”,包含溯源监管、快速检测、农产品销售地等功能模块,经过多次升级、完善,实现对农产品从田间到餐桌的全流程追溯监管。2020年1月18日至3月10日,基于该溯源平台,安徽全省上报蔬菜、畜禽、水产三大类共122375个样本的检测数据,通过平台解决各种问题100多个,保障了疫情期间农产品的质量安全。实现农产品来源可查询、流向可追踪、信息可查询、责任可追究,让大数据“跑路”,代替人工日常到场监管,平台一头连着百姓餐桌,一头连着农业经营主体。目前,安徽省有1400多家乡镇食品安全快检站和6000多家农业企业应用了该技术平台。
安徽农业大学 2021-04-11
食品饮料包装瓶质量安全在线智能检验与控制系统
高速全自动智能在线验瓶机位于啤酒饮料生产线上洗瓶机之后,灌装机之 前,用于对空瓶的检测,是集机器视觉、精密机械、实时控制于一体的高速在 线检测设备,其主要技术包括光学、机器视觉、图像处理、多传感器信息融合、 计算机控制、精密机械加工、高精度定位、变频调速等。主要功能:瓶口的崩 154 裂检测与剔除;空瓶的裂纹检测与剔除;空瓶污物检测与剔除;瓶底残留液检 测与剔除;有盖瓶、超高瓶、过细瓶、倒瓶识别与剔除;友好的用户界面。
山东大学 2021-04-13
一种植物茎秆稳定安全系数测定用装置
本实用新型涉及一种植物茎秆稳定安全系数测定用装置。该植物茎秆稳定安全系数测定用装置包括竖直支撑杆和水平拉力装置,在竖直支撑杆和水平拉力装置之间连接一第一水平伸缩杆,在第一水平伸缩杆上方的竖直支撑杆套设第一套管和第二套管,第一套管和第二套管均通过紧定螺栓与竖支撑支撑杆固连,在与第一套管上的紧定螺栓相对的第一套管一侧固连方形板,在方形板右侧板面上前后滑动设第二水平伸缩杆,在第二水平伸缩杆右端固连量角器,在与第二套管上的紧定螺栓相对的第二套管一侧的前、后部相对设两连杆,在两连杆右端间固连弹簧夹。该植物茎秆稳定安全系数测定用装置结构设计科学合理、简单实用、便于植物稳定安全系数测定用。
青岛农业大学 2021-04-13
食品饮料包装瓶质量安全在线智能检验与控制系统
高速全自动智能在线验瓶机位于啤酒饮料生产线上洗瓶机之后,灌装机之 前,用于对空瓶的检测,是集机器视觉、精密机械、实时控制于一体的高速在 线检测设备,其主要技术包括光学、机器视觉、图像处理、多传感器信息融合、 59 计算机控制、精密机械加工、高精度定位、变频调速等。主要功能:瓶口的崩 裂检测与剔除;空瓶的裂纹检测与剔除;空瓶污物检测与剔除;瓶底残留液检 测与剔除;有盖瓶、超高瓶、过细瓶、倒瓶识别与剔除;友好的用户界面。
山东大学 2021-04-13
BJTU S2600 IPv6网络安全防护系统
BJTU S2600 IPv6网络安全防护系统可以对IPv6、IPv4等协议的数据包进行捕获、分析、还原和阻断过滤,有效保护本地网络。该系统具有很强的数据包处理能力,并且具备在异常情况下的自动旁路功能,可广泛应用于对安全要求较高的部门,也可用于中小企业内部网络流量监控和访问控制等。该产品通过了国际IPv6 Ready 认证(ID 01-000335)。 技术指标: 一、功能指标 (1)IP过滤(访问控制) l  可根据数据包源IP地址和目的IP地址进行过滤(访问控制); l  可根据TCP、UDP的源端口和目的端口进行过滤(访问控制); l  可根据协议类型TCP、UDP、ICMP、ICMPv6进行过滤(访问控制)。 (2)日志管理 l  可以记录系统所有允许通过或拒绝的报文; l  可以记录系统对防火墙的配置工作。 (3)网络地址转换 l  支持源IP地址转换; l  支持目的IP地址转换。 (4)动态捕获 l  可以实时捕获经过该防护系统的数据; l  可以对捕获的数据进行还原。 (5)协议分析 可对交互的数据进行协议分析,以获取各种关键信息,可以监测源、目的主机、连接协议、端口号和连接状态等。 二、性能参数 (1)电源:220V; (2)接口:2个10/100M以太网卡,1个1000M网卡,1个串行口等; (3)支持协议:IPv6、IP、TCP、UDP、ICMP、ICMPv6、HTTP、FTP、IPsec等。 三、主要特色 (1)同时对IPv6和IPv4网络提供保护,具有很强的适应性和可扩展性; (2)同时具有防火墙、VPN、动态捕获、协议分析等功能,可有效的保护内部网的安全; (3)防火墙的处理可以达到线速100Mbps 。 四、应用场合 该系统可广泛应用于军队、大型企业、国家机关等对安全要求比较高的部门,也可用于中小企业内部网络流量监控和访问控制等。
北京交通大学 2021-04-13
一种在线监控电池和电容器安全性能的方法
本发明涉及一种在线监控电池和电容器安全性能的方法,属于能源安全相关领域。本发明所要解决的技术问题是为了有效在线监控电池和电容器由于微观应变引起的宏观形变,对其热效应和胀气等安全性能进行实时有效管理,对安全事故进行预警,消除爆燃等安全隐患,对事故原因进行在线分析。本发明技术方案采用无损应变检测方法,将应变片分布在电池和电容器表面,实时监控其运行过程中的应变变化,对即将失效的组件进行提前预警并处置,有利于对电源有效安全管理并对失效过程与原因进行原位分析,将事故消除在萌芽状态。本发明的无损在线监控电池和电容器形变安全性能的方法简单,快速、准确,可操作性强,适用于能源器件的长期可靠安全预警与事故分析。
四川大学 2016-09-14
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