一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法，属于液体温度调节装置及其温度控制方法，解决现有光刻机浸没液温度调节控制装置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水温度的问题。本发明的温度调节装置，包括纯水供应部分、注液部分和控制系统，纯水供应部分放置于远端的纯水设备内，注液部分放置于光刻机内部；纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接；控制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一～第三温度传感器的温度值；并对第 1～第 3 加热器的加热电压进行控制，同时对冷却水流量伺服阀的驱动

一、项目简介可针对不同环境，完成震动能、压电能、摩擦电能、光电能、热能、化学能、风能、电磁能、射频信号能等能量的收集、存储，并根据需要为片上或片外低功耗传感器提供稳定且低噪的输出能量供给。此外，针对不同的传感器结构和类型进一步提供丰富的接口电路，用来读取传感器所产生的感应信号。配合低功耗收发机模块，可实现完整的无线传感节点功能。二、特点12345678.电源管理部分静态电流可低至 65nA；.整个 ASIC 功耗（包含温度传感）不足 1µW；.具有最大功率点追踪；.匹配最小 16kΩ的厘米级以下压电片.具有能量收集、存储和调整输出功能；.提供超低噪声电源供给（10nA-100µA）片上/片外传感器；.存储的能量支持 ZigBee、Bluetooth 等低功耗协议间歇数据传输；.构建平均功耗小于 5µW 的无线传感节点。三、市场情况本项目能以超低功耗实现完整无线传感节点，在 IoT、环境监测等领域有良好的应用前景和社会经济效益。四、技术成熟度此技术成熟，即将获得专利授权，寻求与企业合作。-- 28 --西安交通大学国家技术转移中心五、合作方式联合研发 技术入股 □转让授权（许可） 面议

一、项目简介可针对不同环境，完成震动能、压电能、摩擦电能、光电能、热能、化学能、风能、电磁能、射频信号能等能量的收集、存储，并根据需要为片上或片外低功耗传感器提供稳定且低噪的输出能量供给。此外，针对不同的传感器结构和类型进一步提供丰富的接口电路，用来读取传感器所产生的感应信号。配合低功耗收发机模块，可实现完整的无线传感节点功能。二、特点12345678.电源管理部分静态电流可低至 65nA；.整个 ASIC 功耗（包含温度传感）不足 1µW；.具有最大功率点追踪；.匹配最小 16kΩ的厘米级以下压电片.具有能量收集、存储和调整输出功能；.提供超低噪声电源供给（10nA-100µA）片上/片外传感器；.存储的能量支持 ZigBee、Bluetooth 等低功耗协议间歇数据传输；.构建平均功耗小于 5µW 的无线传感节点。三、市场情况本项目能以超低功耗实现完整无线传感节点，在 IoT、环境监测等领域有良好的应用前景和社会经济效益。四、技术成熟度此技术成熟，即将获得专利授权，寻求与企业合作。-- 28 --西安交通大学国家技术转移中心五、合作方式联合研发 技术入股 □转让授权（许可） 面议

焦炉炼焦是一个复杂的工艺过程，煤料在炭化室内隔绝空气加热,即高温干馏。经过干燥、热解、熔融、粘结、固化、收缩等阶段，最终成为焦炭。 焦炉直行温度是指机侧和焦侧标准立火道的平均温度，它代表全炉的平均温度水平，是直接影响焦化速率和焦炭成熟时间的主要参数之一。燃烧室温度在一个结焦期内由于相邻炭化室所处结焦状态不同而发生规律性波动，即形成通常所说的“W”曲线，其峰值间的时间间隔取决于推焦串序、循环检修计划和周转时间。本项研究是以焦炉“燃烧室—炭化室传热过程数学模型”为基础，运用混合编程、多任务和动态摸拟等技术首次将焦炉燃烧室—炭化室传热过程数学模型拓展为“焦炉直行温度数学模型”，并开发了由一组燃烧室和炭化室组成的“焦炉直行温度数学模型计算机仿真系统”。运用该模型可以仿真不同的推焦计划、装炉煤水份、装煤量、燃料热值等热工参数对焦炉直行温度的影响，从而为焦炉直行温度的优化设定提供坚实的理论依据。

本发明公开了一种层流冷却温度场的建模方法，具体为：将带钢沿长度和厚度方向划分为网格；将带钢运动转换为冷水阀门的反向同速运动，计算当前时刻冷水阀门相对带钢的位置，以判定钢段处于水冷散热模式还是空冷散热模式；在对应散热模式下，对钢段的表层钢块按照热辐射散热、空气对流散热、水对流散热和热传导散热进行温度计算，对钢段的内层钢块层按照热传导散热进行温度计算。本发明还提供了实现上述方法的系统。本发明能够确定钢板在层流冷却过

技术亮点 ❖ 测量载体的三轴角速率、三轴加速度以及姿态角； ❖ 冲击：100g@11ms、三轴向(半正弦波)； ❖ 振动：10~2000Hz，10g； ❖ 供电电压：DC5.0V±0.5V； ❖ 工作温度：-40~85℃。 产品介绍 GMU540惯性导航单元由三轴陀螺仪、三轴加速度计、温度传感器及高精度信号处理电路构成，可实时测量载体的三轴角速度、三轴线性加速度及姿态角（横滚、俯仰、航向），并通过RS422/RS485接口按标准通信协议输出经过全温域补偿（含温度漂移校正、安装偏差校准及非线性误差修正）的高精度惯性数据。 该产品采用差分陀螺架构，有效抑制线性加速度干扰与机械振动，并集成宽温域补偿算法，确保在工业级严苛环境下仍具备卓越的稳定性和可靠性 应用范围 本产品广泛应用于航空航天测控、精准农业自动化、智能交通、工业自动化、系统控制等领域，为各领域提供专业的导航与测控解决方案；核心应用场景如下： ❖ 飞机吊舱                ❖ 工业机器人精确控制               ❖ 医疗机械设备测控   性能参数 GMU540 条件 参数 测量范围 - 横滚±180°，俯仰±90°，方位±180°   测量轴   - X 轴 / Y轴 / Z轴 横滚俯仰分辨率1） - 0.01° 横滚俯仰静态精度2） @25℃ ±0.05° 横滚俯仰动态精度(rms) @25℃ ±0.1° 陀螺仪 陀螺仪量程 - ±300°/s 零偏不稳定性(allan) - 4.5°/h 角度随机游走系数(allan) - 0.25°/sqrt(h) 加速度 加速度量程 - ±4g / ±16g 可设 零偏稳定性(10s均值) - 0.02mg 零偏不稳定性(allan) - 0.005mg 速度随机游走系数(allan) - 0.005m/s/sqrt(h) 零点温度系数3） -40～85℃ ±0.002°/K 灵敏度温度系数4） -40～85℃ ≤100ppm/℃ 上电启动时间 ≤2.0S 响应时间 0.01S 输出信号 RS485/RS422 可选 工作电压及电流 5VDC（50mA) 电磁兼容性 依照EN61000和GBT17626 平均无故障工作时间 ≥99000小时/次 绝缘电阻 ≥100兆欧 抗冲击 100g@11ms、三轴向(半正弦波) 抗振动 10grms、10～1000Hz 电缆线 10cm端子线g 重量 ≤10g(含标配端子线) 注意：横滚，航向为±180°， 俯仰为±90°。

针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题，设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置，目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上，涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品，采用主动温度控制方法，解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题；设计了具有功能模块化的温控层次结构，解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题，控温速度快；研制了大功率串联半导体制冷模块，结合模糊PID控制算法，提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项

产品详细介绍温度冲击试验箱产品编号：WDCJ产品型号：WDCJ详细说明一、高低温冲击试验箱用途 用于电子电器零组件、自动化零部件、通讯组件、汽车配件、金属、塑胶等行业，国防工业、航天、兵工业、电子芯片IC、 半导体陶瓷及高分子材料之物理性变化,测试其材料对高、低温的反复抵拉力及产品于热胀冷缩产出的化学变化或物理伤害，可确认产品的品质,从精密的IC到重机械的组件，无一不需要它的理想测试工具。二、高低温冲击试验箱结构特点:产品外形美观、结构合理、工艺先进、选材考究。 设备分为高温室、低温室、测试室三部分,采独特之断热结构及蓄热蓄冷效果，试验时待测物完全静止，应用冷热风路切换方式将冷、热温度导入测试区实现冷热冲击测试目的。 采用触控式液晶(LCD)显示人机介面专用控制器，最先进的计测装置, 操作简单, 学习容易, 稳定可靠,中，英文显示完整的系统操作状况、执行及设定程序曲线。 具96个试验规范独立设定,冲击时间999小时59最大分钟, 循环周期1~999次可设定, 可实现制冷机自动运转，最大程度上实现自动化，减轻操作人员工作量，可在任意时间自动启动﹑停止工作运行。 箱体左侧具?50mm之测试孔1个，可供外加电源负载配线测试部件。 可独立设定高温、低温及冷热冲击三种不同条件之功能，并于执行冷热冲击条件时,可选择二槽式或三槽式及冷冲、热冲进行冲击之功能，具备高低温试验机的功能。具备全自动，高精密系统回路、任一机件动作，完全有P.L.C锁定处理，全部采用P.I.D自动演算控制,温度控制精度高。 独特的空气流通循环设计，使室内温度均匀，避免任何死角;完备的安全保护装置，避免了任何可能发生安全隐患，保证设备的长期可靠性 可设定循环次数及除霜次数自动(手动) 除霜. 出风口于回风口感知器检测控制，风门机构切换时间为10秒内完成，冷热冲击温度恢复时间为5分钟内完成。 周全的安全保护装置，发生异常状况时,荧幕上即刻自动显示故障点及原因和提供排除故障的方法,并于发现输入电力不稳定时,具有紧急停机装置。 冷冻系统采用二元高效低温回路系统设计，采用欧美原装进口压缩机，并采用对臭氧系数为零的绿色环保(HFC)制冷剂R507，R23.超强安全保护功能：电源过载保护、漏电保护、控制回路过载、短路保护、压缩机保护、接地保护、超温保护、报警声讯提示等。箱体内外部材质采用不锈钢板(SUS#304)三、高低温冲击试验箱技术参数规格型号 BTS-49A BTS-80A BTS-150A BTS-49B BTS-80B BTS-150B BTS-49D BTS-80D BTS-150D 结构尺寸 W×H×D(mm) 内箱 40×35×35 50×40×40 60×50×50 40×35×35 50×40×40 60×50×50 35×35×40 50×40×40 60×50×50 外箱 150×195×145 180×200×145 190×200×155 150×195×145 180×200×145 190×200×155 150×195×145 180×200×145 190×200×155 高温槽温度范围 +80～200℃ 低温槽温度范围 -55～-10℃ -65～-10℃ -75～-10℃ 试验室冲击 温度 高温 +60～150℃ 低温 -10～-40℃ -10～-55℃ -10～-60℃ 升温时间 60～200℃约需25分钟 降温时间 +20～-55℃小于60分钟 +20～-65℃小于75分钟 +20～-75℃小于90分钟 冲击恢复时间 高温(150℃)冲击30分钟 低温(-40℃  or   -55℃ or  -60℃)冲击30分钟 冲击恢复时间5分钟 试样重量 2.5Kg 5Kg 10Kg 2.5Kg 5Kg 10Kg 2.5Kg 5Kg 10Kg 内箱材质 SUS＃304镜面不锈钢 外箱材质 SUS＃304不锈钢板 保温材质 高密度玻璃棉＋PU发泡胶 冷冻系统 复叠风冷式或水冷式欧美原装进口全封闭压缩机或半封闭压缩机、环保型雪种R23、R507 控制器 采用触控式人机介面，可程式控制 保护系统 压缩机过流、过热、超温、超压、加热干烧、马达过载、气压异常保护开关 附件 隔层架2片、测试孔1只 电源 AC 3.5W 380V±10% 50Hz  

产品详细介绍 量程：-50℃ ～ +150℃；分辨率：0.1℃；直径3mm不锈钢探针，可测量各种物体或溶液的温度.数据传输端口为智能HDMI接口，支持与采集器的有线通讯、无线通讯和独立数据显示三种工作方式。