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超高迁移率二维半导体BOX
首次发现一类同时具有超高电子迁移率、合适带隙、环境稳定和可批量制备特点的全新二维半导体(硒氧化铋,Bi2O2Se),在场效应晶体管器件和量子输运方面展现出优异性能。彭海琳课题组基于前期对拓扑绝缘体(Bi2Se3,Bi2Te3)等二维量子材料的系统研究,提出用轻元素部分取代拓扑绝缘体中的重元素,以降低重元素的自旋-轨道耦合等相对论效应,进而调控其能带结构,消除金属性拓扑表面态,获得高迁移率二维半导体。经过材料的理性设计和数年的实验探索,发现了一类全新的超高迁移率半导体型层状氧化物材料Bi2O2Se,并利用化学气相沉积(CVD)法制备了高稳定性的二维Bi2O2Se晶体。基于理论计算和电学输运实验测量,证明Bi2O2Se材料具有合适带隙(~0.8 eV)、极小的电子有效质量(~0.14 m0)和超高的电子迁移率。系统的输运测量表明:CVD制备的Bi2O2Se二维晶体在未封装时的低温霍尔迁移率可高于20000 cm2/V·s,展示了显著的SdH量子振荡行为;标准的Bi2O2Se顶栅场效应晶体管展现了很高的室温表观场效应迁移率(~2000 cm2/V·s)和霍尔迁移率(~450 cm2/V·s)、很大的电流开关比(>106)以及理想的器件亚阈值摆幅(~65 mV/dec)。二维Bi2O2Se这些优异性能和综合指标已经超过了已有的一维和二维材料体系。Bi2O2Se这种高迁移率半导体特性还可能拓展到其他铋氧硫族材料(BOX:Bi2O2S、Bi2O2Se、Bi2O2Te)。
北京大学 2021-04-11
InP 基 2 微米波段半导体激光器
可以量产/nInP基In(Ga)As量子阱在材料制备及器件工艺制作方面具有诸多优势。除了具 有高质量,低成本的衬底材料,InP基激光器因其兼容传统通讯用激光器的成熟工 艺,且易与其它器件实现集成等优势而具有更好的工业应用前景。我们拥有采用 MOCVD制备大晶格失配In(Ga)As/InP量子阱外延芯片、半导体激光器工艺制作以及 器件测试封装的全套技术。我们制备的激光器外延芯片波长可精确调控,其面内波 长不均匀性低至±3nm,相应的激光器件性能指达到国际先进水平。 目前市场对2微米激光器的应用需求主要
中国科学院大学 2021-01-12
宽禁带半导体 ZnO 和 AlN 单晶生长技术
中试阶段/n作为第三代半导体的核心基础材料之一的 ZnO 晶体既是一种宽禁带半导体,又 是一种具有优异光电性能和压电性能的多功能晶体。中国科学院半导体研究所的科 研人员研究掌握了一种生长高质量、大尺寸 ZnO 单晶材料的新型技术方法-化学气 相传输法(CVT 法)。III 族氮化物 GaN、AlN 及其三元组合化合物是制造波长为 190nm-350nm 的发光器件和新型大功率电子器件的基础材料。AlN 具有高热导率 (3.4W/cmK),与高 Al 组份的 AlGaN 材料和 GaN 材料晶格匹配等
中国科学院大学 2021-01-12
高端半导体光掩膜版量产关键技术
光掩膜版(又称光罩,掩膜版,英文 Photo-mask )是芯片制作中实现设计图形转移的载体,是决定其微细结构和线宽精度的核心材料和工具。 目前中国半导体掩膜版的国产化率10%左右,90%需要进口,高端掩膜版国产化率3%,miniLED和microLED产业升级也需要更多高端掩膜版。随着中国市场需求的持续提升,掩膜版产能严重不足。并且中国半导体掩膜版的产业起步较晚,技术滞后,核心技术和装备基本让国外公司垄断,特别是在设备、材料领域众多技术处于“卡脖子”状态,例如掩膜版制造的核心装备光刻机、检测机、测量机、修复机和贴膜机等都依赖进口,严重制约中国半导体产业的发展。华中科技大学徐智谋教授团队致力于全套高端半导体光掩膜版的关键核心技术研发与量产,为“卡脖子”技术研究而努力。 具有建立180 nm技术节点半导体掩膜版量产线相关核心技术;具备130 nm至28 nm半导体掩膜版研发、设计及验证能力。主要研究成果如下: 1) 工艺突破 团队掌握了掩膜版MEMS微纳加工量产核心技术,如电子束光刻、激光光刻和纳米压印光刻等MEMS微纳加工工艺的各类技术参数的搭配和优化,以及大数据量软件快速处理、补偿等。 2) 装备国产化 A. 超高精度二维测量装备 尺寸测量是验证掩膜版技术指标的核心,主要包括关键尺寸测量(CD)和长尺寸测量(TP)。团队已掌握掩膜版的关键测量技术,达到国内先进水平,具有整套设备的整机制造能力。 TP测量是掩膜版制作的核心指标,直接影响到客户的套合精度,该测量设备一直由国外极少数厂商垄断,且价格昂贵,一般在1000万美元以上,高端限制对中国出口。团队目前正在攻克该项技术,已取得阶段性成果。 B. 缺陷修复装备 掩膜版修补技术是提升良品率的关键手段,该技术一直为国外垄断。团队已熟练掌握UV、DUV激光化学沉积技术及皮秒飞秒激光金属处理技术,具备整机制造能力,可降低设备采购成本70%以上。 C. Pellicle自动贴膜装备 随着产品精度的提升和应用领域的高端化,掩膜版贴膜是个不可缺少的重要环节。在IC制造领域100%掩膜版需贴Pellicle,在IC封装领域90%以上需贴膜,在LED领域80%以上需贴膜。该贴膜设备一直国外公司垄断,国内厂家没有提供,国外采购全自动贴膜设备需100万美元左右。团队具备研发制造该设备的能力,贴膜精度±0.1mm,且有设备正式在产线运营,制造成本可节约90%以上。 3) 厂房建设关键技术 团队对MEMS及其掩膜工厂工艺设备厂务设计有丰富经验,掌握高等级防微震厂房结构和设备平台的设计施工,可达到VC-D级技术标准,满足纳米级生产技术要求。 【技术优势】 (1)掌握了高性价比掩膜版量产的关键核心技术,包括部分装备的国产化,解决“卡脖子”技术难题,量产线建设成本节约30%以上; (2)具备28 nm及以下技术节点掩膜版设计开发能力和验证平台,验证周期可缩短3倍; (3)拥有一支20多年以上掩膜版量产、研发和销售经验的队伍,成熟的企业管理经验,保证企业稳步成长,确保投资风险可控。 【合作方式】 股权投资合作共建或政府孵化+中试线。
华中科技大学 2023-03-29
刀具表面耐磨涂层及改性层
采用离子辅助沉积电弧离子镀设备复合强流脉冲电子束和离子束进行刀具的预处理,得到表面硬质膜和内表面的强化层,从而显著提高刀具在高速切削条件下的使用寿命。
沈阳理工大学 2021-05-04
金属表面阻燃隔热陶瓷涂层
本项目是以无机溶胶为基料,添加适当的纳米无机物,经低温固化得到的具有阻燃、隔热、耐磨性能的陶瓷涂层。在阻燃方面,可用于高层建筑、密封的空间以及地铁、动车内饰钢板和铝合金板的防火隔热。对于环境密闭,设备集中、人员密度大的场所,一旦发生火灾,救护很困难。一些重大火灾事故调查表明,在火灾丧生的人员中,大部分不是直接被烧死,而是被有机物燃烧放出的毒烟熏死或熏晕后烧死的。本项目研制的陶瓷涂层具有遇火不燃、无烟、不产生有毒气体,过火时间可达到3h以上,使得钢构件或铝合金不被软化,以便给消防人员充足的救护时间。可根据需要制作成各种颜色,平时起装饰作用,遇火时起阻燃作用。在耐热方面,可用于金属管路的耐高温热流的冲刷、钢和铝合金构件的隔热、热流输送管路的保温隔热等。
沈阳理工大学 2021-05-04
硫酸钡湿法表面改性技术
项目简介采用湿法改性技术对硫酸钡进行表面改性,通过改性剂复配,使其耐温性能提高,实验结果见下表:项目技术成熟程度  已进行放大实验,技术稳定性高。  三、技术指标  产品疏水性好,活化度>99%,分散性好,白度高,在110-170℃范围内白度不发生变化。四、市场前景本技术制备的改性硫酸钡疏水性好、白度高、耐温性能好、成本低。硫酸钡作为一种非常重要的无机材料,在涂料、油漆、陶瓷、塑料、橡胶、造纸、蓄铅电池、化纤等行业具有广阔的应用前景。  技术特点:  1.工艺简单。改性在液相进行,保证了改性剂在硫酸钡表面分布均匀。  2.白度高。在其应用的领域,能保证不改变改性前产品的白度耐热性能好。产品在110-170℃范围内白度不发生变化。  3.工艺简单、成本低。五、规模与投资需求  生产规模根据厂家要求而定。投资受市场影响价格会有波动。在原生产工艺干燥之前加上本技术操作即可。六、生产设备  在原有生产流程基础上增加1台反应釜、2台改性剂配料釜即可。七、效益分析 每1万吨产品年利润100—500万元人民币。受市场影响价格会有波动。
河北工业大学 2021-04-13
硫酸钡湿法表面改性技术
一、 项目简介  采用湿法改性技术对硫酸钡进行表面改性,使其表明由亲水性变为亲油性,便于其在有机基体中分散均匀。通过改性剂复配,使其耐温性能提高,即在使用过程中不会随温度升高而使产品的白度下降。二、 项目技术成熟程度本项目为非专利技术,处在中试阶段。实验结果重复性好,产品质量稳定。三、技术指标产品活化度达到99%以上,使用温度在≤170℃范围内,产品的白度不随温度升高而下降。四、市场前景技术特点:  1.工艺简单。改性在液相进行,保证了有机改性剂在硫酸钡表面分布均匀。  2.产品白度高。在其应用的领域,不改变改性前产品的白度。  3.耐热性能好。产品在110-170℃温度范围内白度不发生变化。  4.成本低。改性工艺简单,能耗低,改性剂用量少。总生产成本不高。市场前景:  本技术制备的改性硫酸钡,白度高、耐温性能好、成本低,在有机基体中的分散性好。硫酸钡作为一种非常重要的无机材料,在涂料、油漆、陶瓷、塑料、橡胶、造纸、蓄铅电池、化纤等行业具有广阔的应用前景。五、规模与投资需求  生产规模根据厂家要求而定。投资受市场影响价格会有波动。六、生产设备在原有生产流程基础上增加1台反应釜、2台改性剂配料釜即可。七、效益分析    每1万吨产品年利润200-500万元人民币。受市场影响价格会有波动。八、合作方式   技术转让等方式,面议。九、项目具体联系人及联系方式(包括电子邮箱)   胡琳娜:女,博士,教授。联系方式:手机号13622124805;qq号745852370;电子信箱hln@hebut.edu.cn十、成果图片该技术生产的改性硫酸钡的扫描电镜照片见图1。产品与水的接触角图像见图2。
河北工业大学 2021-04-13
关于表面非对称反应的研究
该研究利用 1,4- 二溴 -2,5- 二乙炔基苯这一双官能团分子作为反应前驱体。扫描隧道显微镜研究表明,前驱体分子吸附在 Ag(111) 表面后,两个等价溴代位点在不同温度下分步活化,并参与不同的反应:室温( 300 K )下,分子首先选择性地脱去一个溴原子,脱溴位点与氢原子反应;同时,分子中的炔基发生分子间反应,形成由炔 - 银 - 炔节点连接而成的一维有机金属链状结构。分子中另一个溴原子的活化需要更高的温度( 320~450 K ),形成的脱溴位点则与表面银增原子反应生成分子间的有机金属连接,最终得到由炔 - 银 - 炔和炔 - 银 - 苯两种有机金属节点有序排列而成的二维结构。密度泛函理论计算进一步揭示了非对称反应的机理:分子中两个溴原子解离势垒的差异导致了二者在不同温度下分步活化。较低温度下,炔基的反应提供大量氢原子,促进了脱溴位点与氢的不可逆结合;更高温度下,表面氢原子耗尽,稳定的分子间有机金属产物的形成拉动了脱溴位点与银的反应向右进行。该研究为制备复杂的分子纳米结构和高分子提供了新思路。
北京大学 2021-04-11
表面处理过程智能控制技术
随着自动控制技术与信息技术在生产和管理中的普及应用,自动化与信息化已经成为带动企业工作创新和升级、提高管理水平和竞争力的重要方式。表面处理过程智能控制系统引入了自动化与信息化的基本思想,通过在现场增加检测设备采集电镀过程中的重要数据,增加控制设备和执行器实现对电镀槽的温度和电流密度的控制,并使用软件工程、项目管理思想以及软件组件技术实现对采集数据的信息化管理,既保证了电镀过程的稳定性和精确性,又实现了对电镀生产过程的信息化管理,提高了电镀生产的自动化水平。
西安交通大学 2021-04-11
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