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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下:温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议
天津大学 2021-04-11
教育部办公厅 工业和信息化部办公厅 国家知识产权局办公室关于组织开展 “千校万企”协同创新伙伴行动的通知
为贯彻落实党中央、国务院关于国家中长期科学和技术发展的决策部署,加快实施高校科学技术“十四五”和中长期发展规划、《“十四五”促进中小企业发展规划》和《“十四五”国家知识产权保护和运用规划》,推动高校与企业强化创新合作,促进创新链产业链深度融合,教育部、工业和信息化部、国家知识产权局决定共同组织开展“千校万企”协同创新伙伴行动(简称“千校万企”行动)。
教育部办公厅 2022-07-06
教育部办公厅 工业和信息化部办公厅 国家知识产权局办公室关于组织开展 “千校万企”协同创新伙伴行动的通知
推动高校与龙头企业、中小企业加强产学研合作,最大程度发挥高校作为基础研究主力军、重大科技突破策源地和企业作为创新主体的协同效应,分工协作、优势互补、协同创新,着力突破制约产业发展的关键核心技术和共性技术,加快高校知识产权和科技成果向企业转移转化,推动创新链产业链深度融合,打通从科技强到企业强、产业强、经济强的通道,有力支撑产业基础高级化、产业链现代化。
教育部 2022-07-11
北京科研团队实现人工智能四维重建技术提升冷冻电镜分析精度
近日,北京市自然科学基金资助的重点研究专题项目“超高分辨冷冻电子显微镜成像方法研究与应用”取得重要进展。在该项目支持下,北京大学毛有东教授团队于2022年4月27日在国际顶级学术期刊Nature杂志在线发表了题为“USP14-regulated allostery of the human proteasome by time-resolved cryo-EM”的研究论文,阐明了原子水平人源蛋白酶体动力学调控和构象重编程机制,并在国际上首次展示了人工智能四维重建技术用于大幅提升时间分辨冷冻电镜分析精度。
北大科研 2022-05-11
浙江省科学技术厅关于 组织开展省级企业研发机构评价工作的通知
按照我厅工作部署,根据《浙江省高新技术企业研究开发中心建设与管理办法》《浙江省企业研究院建设与管理办法》《浙江省重点企业研究院建设与管理办法》(以下简称《管理办法》),经研究,决定对省级企业研发机构(以下简称“研发机构”)开展2022年度集中评价工作。现将有关事项通知如下。
浙江省科学技术厅 2023-07-17
浙江省科学技术厅 关于加强省级科技计划项目科技伦理监管的通知
为贯彻落实中共中央办公厅、国务院办公厅《关于加强科技伦理治理的意见》和省委办公厅、省政府办公厅《关于加强科技伦理治理的实施意见》有关精神,加强省级科技计划项目科技伦理监管,推进科技伦理要求贯穿指南编制、项目申报、审批立项、过程管理、结题验收、监督评估等项目组织实施全过程,促进研发活动与科技伦理良性互动,实现负责任的创新,现就有关事项通知如下。
浙江省科学技术厅 2023-06-28
“老年护理用运动体征与状态监测关键技术与装备”科技成果顺利通过鉴定
2019年12月20日,中国机械工业联合会在杭州组织召开了由浙江大学、浙江福祉医疗器械有限公司联合完成的“老年护理用运动体征与状态监测关键技术与装备”项目科技成果鉴定会。鉴定委员会听取了完成单位的研制等报告,审查了相关材料,经质询和讨论等环节。鉴定委员会同意通过鉴定,并建议加大应用推广力度。
浙江大学 2021-02-01
大型、超大型零部件孔、面有高位置精度要求的 定位加工技术
对于大型或超大型零部件,如大型箱体类零件上,常有轴承孔系以及面的平行、垂直等位置精度的要求,本技术区别于传统的加工方法,利用特有的等分定位技术和车间现场条件,可方便地确定孔的对称位置和关联面间的位置,且加工或修正出具有很高位置精度的零部件。 工作原理:等分定位新技术 + 特殊的定位处理技术
北京科技大学 2021-04-11
新型环保粉体材料的研制开发及其在水处理中的应用技术研究
本项目所研制和应用的净水材料SPM是在消化吸收进口净水材料基础上,利用国产原料研制成功和应用的一种合金材料,经初步试验与核算SPM的性能达到引进产品的主要水质指标,但其售价仅为进口产品的50%~60%,因此由上海市科委立项,由上海芬迪超硬材料科技有限公司与华东理工大学资源与环境工程学院实行产学研结合,承担该项目并于2008年通过市科委组织的专家验收,并申请了国家发明专利。该项技术的先进性和技术特点: 1)去除自来水中的余氯效果良好,去除效率可高达90%以上; 2)去除水中有害金属离子如Pb、Hg、Cr、Cd等;3)抑制水中细菌和藻类繁殖,杀菌率也>?0%; 4)与活性炭和分离膜联用,可对活性炭和分离膜起到一定保护作用而延长其使用寿命,降低成本。在实验工厂实行批量生产,并应用于集团用、家用和全屋型饮用水净水机(器),以及居民社区分质供水的饮用水站。
华东理工大学 2021-04-11
二噁英重金属近零排放的生活垃圾气化及飞灰熔融技术
我国每年城市生活垃圾清运量超过 2 亿吨,且每年增长约 8%-10%,到 2020 年预计可达 2.5 亿吨,中国城市生活垃圾无害化处理能力逐年提高,官方数据显 示 2016 年大中城市生活垃圾无害化率已超过 90%,但我国农村部分,无害化率 仅为 60%。垃圾处理面临占用土地、资源浪费、环境污染等问题。当前我国城市 垃圾处理仍然以填埋为主,但以焚烧技术为代表的能源化利用技术增长很快。该 技术伴随着设备投资高、产生强致癌剧毒物质、重金属污染、工艺优化不足等缺 陷,急需探寻其他方法。该项技术利用气化熔融技术原理,对垃圾进行减容减量 处理,处理后体积减小 90%以上,大大降低填埋场的压力。气化熔融技术真正做 到垃圾的无害化处理,可以做到二噁英、重金属污染物的超低排放,环保性能大 大优于目前的垃圾焚烧技术,消除公众抵触情绪,易于推广。
西安交通大学 2021-04-10
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