一种激光干涉位移测量系统

本发明公开了一种激光干涉位移测量系统。包括激光器、起偏 器、消偏振分光棱镜、偏振分光棱镜、1/4 波片、角锥镜、平面反射镜 和光电探测器。测量光入射移动角锥镜，由角锥镜位移引起原路反射 回来的光的光程变化是角锥镜位移的四倍。该设计中通过偏振光学原 理使测量光沿相同方向总共两次进出移动角锥镜，实现测量光与参考 光光程差变化与角锥镜位移的八倍程关系，从而实现对位移的光学八 倍细分测量。该系统具有测量分辨率高、测量结果准确的优点，且结 构上安装方便、简单，价格低廉，适用范围广。 

华中科技大学 2021-04-14

激光位移传感器

激光发射的光打到被测工件的表面，散射回来的光被透镜汇聚到光电接收器上。被测物体的位置发生变化时，光电接收器上光点的位置也会发生变化，由此检测到物体位置的变化。现已开发两种，分别成功应用于静态测量和动态测量。 主要功能和技术指标： 非接触式测量，适用于任何非镜面的粗糙表面物体的检测；测量范围可以根据用户要求选择，从10mm~200mm；测量误差小于0.5%。 传感器目前已成功应用于轮对几何参数自动测量系统、非接触式静态轨道测量小车、轨检车等。已制造100套以上。

北京交通大学 2021-04-13

激光柱面干涉仪

已有样品/n激光柱面干涉仪主要用于柱面光学零件面形误差的检测和柱面半径的精确测定， 它采用立式检测结构， 调试操作方便， 并装有干涉条纹显示系统， 是今后光学柱面镜加工与检测的必备测试仪器。

中国科学院大学 2021-01-12

油气管道位移监测装置

本发明公开了一种油气管道位移监测装置，包括动桩和基桩，动桩上固定有第一安装平台，第一安装平台上设有第一反射镜；基桩上固定有第二安装平台，第二安装平台上设有分光镜、激光器、第二反射镜以及光检测器，上述分光镜、激光器、第二反射镜以及光检测器和第一反射镜构成迈克尔逊干涉仪；动桩的下端与卡箍固定连接，卡箍安装在油气管道的外圆周上，基桩固定安装在油气管道的一侧。本发明的油气管道位移监测装置，通过迈克尔逊干涉法来检测油气管道位移，光检测器得到测量结果，提供了精度保障，采集单元将测得的数据输入处理单元中处理，具有测量精度高，自动化程度高，操作简便等优点，并且能够做到实时监测。

西南交通大学 2016-10-19

光纤位移传感器系统

在现行的铁路运行系统中，铁路道岔的搬动是靠转辙机来完成的，而道岔是否搬到位又是借助于一种被称为缺口检测的机械传动装置来实现的，由于这种机械传动装置只能检测开关量而不能检测具体位移量、有误报警却不能立刻识别等缺点，给行车安全带来极大的隐患。为了解决这一问题本项目设计研制了一种新型的光纤位移传感器系统。与传统传感器相比，光纤传感器具有灵敏度高、频带宽，测量动态

西安交通大学 2021-01-12

一种基于纳米位移计量传感器的纳米微位移检测仪

本发明提出一种光学倍频的纳米位移计量传感器，包括激光器、偏振分光棱镜、1/4 玻片、角锥棱镜、平面反射镜、偏振片、光电探测 器和底座。本发明的传感器采用光学倍频技术，直接在光学结构上将 光程差进行 8 细分，同时采用偏振分光棱镜和 1/4 玻片组合减少了光 能损失，保证了干涉条纹的强度，具有结构简单，精度高，测量范围 大，抗干扰能力强等特点，并且相比于单路光束系统在某种程度上可 减小非直线运动所造成的误差。

华中科技大学 2021-04-14

扫描数字剪切散斑干涉仪

扫描数字剪切散斑干涉仪利用激光散斑剪切干涉和线阵CCD扫描原理, 将激光束扩束后照射在具有光学粗糙的物体表面，并以线阵CCD扫描记录 待测物体表面变形前后的剪切散斑像，进而利用数字图像处理技术，获 得反映物体表面形变的数字剪切散班干涉图样，由该图样可以获得物体 表面形变信息或相关区域的缺陷特征，实现无损检测目的。基于特殊设 计的微位移移动轨道和CCD扫描技术的应用，以及剪切镜的灵活设计，可 以有效增大测量视场并提高缺陷检测灵敏度。 该

西北工业大学 2021-04-14

位移等分测量定位系列新技术

本技术从原理上区别于传统的位移(包括线位移和角位移)测量，它是利用多个小范围高精度传感器进行大范围位移测量，而其大范围位移测量的精度仅取决于小范围高精度传感器的精度，即本技术是将小范围测量的高精度沿展至整个大范围位移测量，从而使位移测量系统的相对测量精度得以极大地提高（例如：小范围r的测量误差为△r，其相对测量误差为△r/r，若测量范围为L，其中L可是r的数倍，数十倍，甚至上千倍， 应用本技术，则大范围L的测量误差仍为△r，甚至更小，其相对误差减小至△r/L）。 与光栅、磁栅、感应同步器等位移测量技术的比较 无论是光栅，磁栅，还是感应同步器位移测量装置，其测量精度的提高主要取决于它的感测目标（光栅和磁栅的的各个栅线，感应同步器的绕组）的均匀分布位置精度（各个栅线及各绕组在测量范围全程的间距均布精度）的提高。而在较大的测量范围内实现感测目标高均布位置精度的难度较大，往往造成成本很高，对环境要求也十分苛刻，甚至无法实现。本技术由于测量原理上的不同，并不要求感测目标的均匀分布，因此，其位移测量精度不受此限制，仅与所用传感器本身的精度有关。 本技术附有的几大优点： 低成本高精度、测量范围大。 用于本技术的传感器可为现有的线位移或角位移传感器产品，因此传感器的选择范围非常广泛，且因传感技术的成熟而使本技术具有良好的稳定性。 本技术利用传感器进行位移测量，影响传感器精度的因素主要有温度等，但本技术的测量精度只与传感器在测量时间内受温度等因素的影响有关，而测量时间一般较短，温度等因素的影响则可忽略不计，因而就本技术而言，温度等因素对测量的影响微乎其微。 本技术无零漂问题。因为传感器所在的任何位置均可作为本技术测量装置的起始零点，对传感器而言没有回零问题，故测量装置无零漂问题 。 本技术无任何理论上的误差，因而其测量精度可随传感器精度地提高而不断 地提高。 本技术可进行静态或动态测量；接触或非接触测量；等分及连续测量。

北京科技大学 2021-04-11

多自由度精密位移平台

多自由度精密位移平台由压电马达驱动，包含传感器、驱动器和控制器等部件，是精密仪器运动控制系统的核心部分，也是精密加工设备、医疗设备、微电子制造检测设备、测量仪器、印刷设备、生物医疗设备、自动化生产线的关键组件。其压电马达具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特点，其运动控制部分采用先进的EtherCAT（通用超高速以太网现场总线）方案，使系统不仅更简洁、更灵活，还具有更好的实时性。

北京大学 2021-02-01

围岩离层位移监测仪

本发明公开了一种围岩离层位移监测仪，包括壳体和锚杆；壳体内设有导轨，导轨上安装有第一安装平台和第二安装平台，第二安装平台固定在导轨上，第一安装平台可沿导轨轴线滑动，第一安装平台上设有第一反射镜，第二安装平台上设有分光镜、激光器、第二反射镜以及光检测器，锚杆上端设有锚爪，锚杆外圆周上设有限位板，锚杆内设有钢丝，钢丝的两端分别与锚爪和第一安装平台相连。本发明的围岩离层位移监测仪，通过迈克尔逊干涉法来检测离层位移，采集单元将测得的数据输入处理单元中处理，具有测量精度高，自动化程度高，操作简便等优点，并且能够做到实时监测。

西南交通大学 2016-10-19