HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业，HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格： 型号：BD/HMDS-6090   内形尺寸：450×450×450     型号：BD/HMDS-6210   内形尺寸：560×640×600   二、 技术参数： 1、控温范围：RT+10～250℃  2、温度分辨率：0.1℃     3、温度波动度：±1℃ 4、达到真空度：小于133Pa 5、真空度：100Pa～100000Pa 6、定时范围：1～9999min 7、工作室材料：316L 8、样品架：2块、3块 9、真空泵：4L/S 10、电源电压：220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率：3000W、4500W 三、产品特点： 1、外壳采用冷轧钢板制造，表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程： 1、首先确定烘箱工作温度； 2、预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充入氮气，充到达到某低真空度后，再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。 五、控制系统： 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏，三菱PLC控制器； 2、富士微电脑双数显温度PID控制器，控温精确可靠； 六、保护系统： 1、漏电保护； 2、超温保护； 3、缺液保护；              七、设备使用条件： 1、环境温度：5℃～＋28℃（24小时内平均温度≤28℃） 2、环境湿度：≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺： 保修十二个月，免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。

本实用新型涉及一种用于废气处理的具有催化涂层的双介质阻挡放电装置，其包括壳体，壳体两端设有进气口和出气口，壳体侧面设有若干卡槽，用于放置板式电极及催化介质板。本实用新型具有等离子体‑催化模块一体化的结构特点，用于废气治理，可实现挥发性有机物、氮氧化物等多种气体污染物的等离子体‑催化高效协同脱除，并且针对不同废气组分，可通过催化剂配方调整实现对污染物的深度氧化；本实用新型相对于两段式等离子催化装置减少了催化剂模块，节省了空间，提高了污染物脱除效率；相对于传统的一段式等离子体催化装置，造成的气流压降损失较小，能量利用效率更高；在处理挥发性有机废气时，能有效抑制放电反应器内壁的沉积物的出现。

本发明通过以硝酸强化预处理堇青石峰窝陶瓷为载体，在载体上一次性负载铈镧锆混合氧化物改性的活性氧化铝与含多种金属氧化物混合物的活性组分，在浸渍前对载体改性提高了其比表面积，解决了工业有机废气的处理技术实用化难题并实现了向废弃净化要效益的突破。技术成果在东莞泽龙线缆有限公司等多家企业推广应用，具有良好的节能环保效益，推动了行业节能减排技术发展。技术应用于线缆制造、汽车等行业的涂装作业产生的有机废气净化，室内空气净化，以及污水处理厂恶臭异味消除等，10年经济效益累计达21528.26万元，共减排VOCs约20.995万吨。并获得了全国发明展览会金奖。

本实用新型公开了一种基于多层板式的处理工业废气一体化装置，包括：壳体；设置在所述壳体上的进气口和出气口；设置在所述壳体内多层放电空间；每层放电空间包括：网状高压电极；设置在所述网状高压电极两侧的介质阻挡板；以及设置在所述网状高压电极和介质阻挡板之间的催化材料层。本实用新型基于多层板式的处理工业废气一体化装置实现了双介质等离子体放电、微波辐射、催化氧化协同净化去除多种工业气态污染物的一体化。

产品介绍： 毕恩思BC-AIR实验室专用废气净化仪系列专为吸附净化实验室有毒有害废气而设计,适用于各种领域,能吸附多 种化学品类型,如有机溶剂、无机酸类、甲醛、氨气、盐酸等气体。可适用于绝大部分实验室,对实验室本身的气体具有极 强净化能力,可24小时持续净化实验室空气，废气去除率达99%,环保效率高。 产品特点： ●无需安装管道 工程,安装便捷,废气不外排,新型环保。 ●无需消耗空调能耗, 节省能源效率高。 ●化学品类别可选配过滤模块系统,满足多种不同种类的化学品吸附。 ●移动方便,就近存放,提高工作效率。 ●好的模块化过滤技术,完全吸附过滤实验产生的有害气体、颗粒粉尘等物质。 ●弥补通风系统设计不足,净化室内异味。 规格型号： 型号 外部尺寸 产品重量(毛/净) 产品功率 适用面积 配置 BC-AIR550 550*380*370mm 13.5/16kg 78w 20-30㎡ 风速调节:四档 风机:1个 显示屏 控制系统:1套 VOC报警系统:1套 温湿度报警系统:1套 PM2.5检测仪:1套 电源线:1根 遥控器:1个 过滤器种类(选配) :有机过滤器/无机过滤器/甲醛过滤器/氨气过滤器/ HEPA过滤器

其他成果/n本实用新型公开了一种LNG发动机废气重整装置，包括筒形反应外壳、设置在所述筒形反应外壳前端的中空前端盖、设置在所述筒形反应外壳后端的中空后端盖、安装在所述中空前端盖中心位置进气孔的进气管、安装在所述中空后端盖中心位置出气孔的废气排气管及内置在所述筒形反应外壳空腔中的反应管束。利用部分废气余热进行废气重整反应，将重整产生的氢气通入发动机中，实现天然气在线掺氢，有效提高燃料利用率和发动机效率，实现较大幅度的节能与减排；并且采用了双管程，提高传热系数，从而提高重整的效率；另外，反应管束采用管式固定床结构，结构简单，热效率大，催化剂可反复使用，温度敏感且转化率高。

本项目提出了一种具有废气再循环功能的柴油机排气凸轮结构；该技术可使柴油机在一个工作循环里，在具有两个峰的特殊凸轮控制下，使排气门在曲轴不同相位时分别开启两次，形成发动机废气再循环，达到NOx减排的目的。

针对工业生产过程排放的烷烃、芳香烃、烯烃、卤代烃、酯、醛、酮等VOCs，项目开发了实现VOCs高效净化的催化燃烧技术。通过活性组分、涂层材料和载体材料的优化，筛选出具有高催化活性的催化剂组分配伍。通过制备工艺参数的控制，实现了催化剂的均一、稳定制备。开发了与催化剂匹配的高效净化集成工艺，实现能量的综合利用。项目获国家发明授权专利3项。

我国氯碱工业规模占世界的四分之一，氯作为重要的化工合成材料和化工中间体，用于合成PVC、环氧树脂、聚氨酯、多晶硅、氯化苯、氯乙酸等。然而，氯的利用率仅有0-50%。