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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
高温含尘废气治理技术及其装备的研发
本项目以高温含尘废气治理为目标,开展以高性能大规格壁流式蜂窝陶瓷为核心过滤元件的高温除尘装置的研究开发,得到了“十二五”国家科技支撑计划的支持。课题研究开发出室温至800℃平均热膨胀系数为≤1.6×10-6℃-1的超低热膨胀系数堇青石及堇青石基复合陶瓷材料;研究开发了具有自主知识产权的大规格高性能壁流式蜂窝陶瓷及其制备技术,形成了产业化中试技术,建立了中试生产线;计研发制造出以大规格壁流式蜂窝陶瓷为核心过滤元件的高温含尘烟气净化装备,烟气处理量为≥10000 m3/h,过滤后烟气粉尘浓度为≤15 mg/m3;申请发明专利7项、实用新型专利2项,发表学术论文5篇;制定大规格壁流式蜂窝陶瓷企业标准1项。课题研究成果能够很好的解决当前高温含尘废气排放超标与高温废气余热利用的关键技术难题。该课题已于2014年4月29日通过了中国轻工业联合会组织的验收,相关技术与性能指标达到国际同类产品先进水平。
景德镇陶瓷大学 2021-05-04
挥发性有机物废气催化净化技术
针对我国对控制挥发性有机物(VOC)废气排放的高度重视,研发了一系列具有自主知识产权(近  30 项授权及国家发明专利)、高效净化 VOC 的有序多孔金属氧化物催化材料,有望应用于建筑装饰、餐饮服务和服装干洗、有机精细化工(包括涂料、油墨、胶粘剂、医药等)、涂装、印刷、黏合、工业 清洗等行业中 VOC 的净化处理工艺。
北京工业大学 2021-04-13
泉州水处理、莆田水处理、厦门水处理
产品详细介绍   反渗透是一种以压力为推动力的膜分离过程。随着膜性能的提高,反渗透技术将发展成为进行分离、分级、提纯和富集的化工分离新技术。     反渗透技术的主要特点: 能耗低 结构紧凑 操作简单易维修 自动程度高 不污染环境     反渗透技术广泛应用于给水处理;城市自来水的净化;制取电力、医药、医疗和食品等行业的纯水、超纯水、注射用水和食用纯净水的制备;海水和苦咸水的淡化制取饮用水等。     反渗透系统由反渗透装置及其预处理和后处理三部分组成。反渗透系统的核心是反渗透装置,预处理是反渗透装置能否长期稳定运行的前提,后处理用以满足不同处理对象的最终产水水质指标
泉州市大华膜科技有限公司 2021-08-23
恶臭废气生物过滤法治理工程技术
高校科技成果尽在科转云
西安交通大学 2021-04-10
发动机电控冷却废气再循环系统
一、 项目简介发动机电控冷却废气再循环系统(简称电控冷却EGR系统)可满足发动机在各种运行工况下同时对循环废气量和新鲜空气量的要求,解决了增压柴油机在中速运转,高负荷运行时低压废气无法与高压新鲜空气混合的问题。EGR阀直接控制废气流的流量,反应速度快,覆盖面广,可以适用于不同功率的发动机。废气冷却器结构紧凑,有较高的冷却效率,且稳定性好,耐腐蚀性强。经燃烧优化后的柴油机配置该系统NOx排放可以达到国Ⅳ的排放要求。二、 项目技术成熟程度为多个企业和发动机进行了电控冷却废气再循环系统开发,积累了EGR系统整机匹配和性能优化的经验。三、 技术指标(包括鉴定、知识产权专利、获奖等情况)所有工况最大EGR率在30%-50%;EGR阀的驱动方式为电机驱动;废气冷却器的冷却效率不低于65%,在柴油机使用寿命期间不发生重大破损;NOx的排放降低幅度不低于35%;成果通过天津市自然基金项目(编号:09JCZDJC25800)的鉴定,获实用新型专利1项。四、 市场前景(应用领域、市场分析等)应用废气再循环技术控制氮氧化物的排放,既可满足发动机日益严格的排放法规要求,又可满足发动机综合性能的要求。目前,国外EGR技术已得到广泛应用,国内为达国Ⅳ和今后更高的排放要求,EGR技术在发动机中的应用需求是无可质疑的。五、 规模与投资需求(资金需求、场地规模、人员等需求)资金需求约为150万人民币;场地规模使用面积(按产能2000个/年计)约200平方米, 需要20名操作工人和技术人员。六、 生产设备EGR主装线和性能检测线七、 效益分析每套EGR成本为3000元左右,年产2000套/年;利润约为150万元/年。八、合作方式校方负责技术开发和工艺过程管理,合作方负责场地建设、EGR系统部件购置、生产和测试、员工福利和产品销售。九、项目具体联系人及联系方式(包括电子邮箱) 黎苏,13520677329,lewis_1001@163.com郑清平,13012243482,qpzh163@163.com十、高清成果图片2-3张 EGR系统ECU和EGR阀
河北工业大学 2021-04-11
生物法净化含硫化氢废气技术研究
生物法净化含硫化氢废气技术以含硫化氢酸性气体为研究对象,进行生物法净化含硫化氢废气技术研究,以及生物脱硫基础理论研究(生物脱硫微观反应机理、脱硫菌种动力学研究与反应器流体力学模拟)。 技术特点: 1.利用低能离子注入技术诱变筛选获得适合于工业化的高效脱硫菌种; 2.构建菌体生长的多阶段发酵调控技术,采用高密度培养技术探究影响高密度培养的因素,并通过小分子化合物扰动,强化菌株脱硫机制; 3.建立脱硫菌株高性能耦合固定化体系,实现细胞固定化,降低流动性,提高脱硫效率及稳定性,降低成本; 4.研发新型生物反应器,提高传质性能及生物氧化效果; 5.建立生物脱硫装置,优化工艺参数,达到对具附加值的单质硫回收的目的,并开发高效、经济、节能、环保和具有自主知识产权的生物脱硫净化工艺及工程技术。 技术指标: 1.建立1~2Nm³/h生物脱硫模试装置,液体循环量27L/h,pH值8.5~9.0,曝气量220~240L/h,脱硫菌种固定化浓度为2.7mg/g,净化气H2S浓度小于20mg/m³,硫磺回收率为95%,获取生物脱硫工艺参数优化数据; 2.分离筛选得到了硫化物代谢活性达73.1%、稳定遗传8代的高效脱硫菌株; 3.设计生物反应器及模拟装置,建立自动化控制的生物脱硫模式评价装置,为生物法净化含硫化氢气体的工艺评价提供装备基础。
南京工业大学 2021-01-12
大风量低浓度有机废气深度治理工程技术
高校科技成果尽在科转云
西安交通大学 2021-04-10
LNG-柴油双燃料发动机废气重整制氢装置
其他成果/n本发明公开了一种LNG-柴油双燃料发动机废气重整装置,包括外壳、中心隔板、两个端盖和两块螺旋板。所述两个端盖可拆卸地连接在所述外壳的两端,所述端盖与外壳之间设置有密封垫片。所述两个端盖的中心设置有中心换热管口和中心重整管口。所述两块螺旋板位于螺旋中心的一边分别固定在中心隔板的两侧,且同向环绕后形成螺旋形的换热通道和重整通道,所述重整通道的壁面上设置有催化剂层。所述换热通道、重整通道在螺旋中心处分别与中心换热管口、中心重整管口相连;所述换热通道、重整通道在其最外侧缩小形成的管状接口上分别设置有外侧换热管口、外侧重整管口。该装置占用空间小、催化效果好,有效提高了燃料利用率。
武汉理工大学 2021-04-11
挥发性有机物废气熔盐氧化技术及设备
团队目前正在独立开展挥发性有机物废气熔盐氧化技术及设备的研究,已授权电子废弃物熔盐气化技术发明专利 1 项,已申请有机物废气熔盐氧化技术发明专利 1 项。该项技术研 究针对当前挥发性有机废气净化技术中 VOCs 去除率进一步提高遇到的瓶颈问题,预期技术 研发成功后,可使有机废气净化后非甲烷总烃的排放浓度低于 5 mg/m3,实现 VOCs 超低排 放,形成可满足未来更为苛刻的环保标准的新一代&nb
上海理工大学 2021-01-12
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