HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业，HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格： 型号：BD/HMDS-6090   内形尺寸：450×450×450     型号：BD/HMDS-6210   内形尺寸：560×640×600   二、 技术参数： 1、控温范围：RT+10～250℃  2、温度分辨率：0.1℃     3、温度波动度：±1℃ 4、达到真空度：小于133Pa 5、真空度：100Pa～100000Pa 6、定时范围：1～9999min 7、工作室材料：316L 8、样品架：2块、3块 9、真空泵：4L/S 10、电源电压：220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率：3000W、4500W 三、产品特点： 1、外壳采用冷轧钢板制造，表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程： 1、首先确定烘箱工作温度； 2、预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充入氮气，充到达到某低真空度后，再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。 五、控制系统： 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏，三菱PLC控制器； 2、富士微电脑双数显温度PID控制器，控温精确可靠； 六、保护系统： 1、漏电保护； 2、超温保护； 3、缺液保护；              七、设备使用条件： 1、环境温度：5℃～＋28℃（24小时内平均温度≤28℃） 2、环境湿度：≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺： 保修十二个月，免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。

EDI（电去离子）是一种将电渗析和离子交换技术相结合的超纯水制备工艺-2。 核心优势：其最大的优点是在直流电场的作用下，系统内的离子交换树脂可以连续不断地自动再生，无需像传统混床离子交换那样停机使用酸碱进行化学再生-2。这使得它可以连续、稳定地生产高纯度水，无化学污染排放，运行和维护成本也更低-2。 出水能力：采用EDI技术为核心的系统，通常结合反渗透（RO）等前置工艺，可以稳定地产出电阻率达到15 MΩ·cm以上的高纯水-2，最终出水的电阻率最高可达18.2 MΩ·cm（25℃）的超纯水-1-5-8

温州虹联科教设备有限公司成立于2007年，是一家集科研、生产、销售、服务于一体的教学专用仪器制造企业。公司主营业务是教学设备、实训装置、驾驶模拟器及配套产品的制造、加工与销售。其产品线非常广泛，主要服务于职业教育和专业技能培训领域，具体可归类如下：工业自动化与机电、驾驶模拟、电工电子与智能制造、制冷家电与楼宇智能、新能源科学与工程等。主营产品：电工电子实训装置，光机电一体化实训装置，光伏发电实训台，气动实训装置，液压实训设备，机电一体化实训台，单片机实训台，PLC实训设备，驾驶模拟器，叉车训练模拟器，起重机训练模拟器，装载机训练模拟器，推土机训练模拟器，挖掘机训练模拟器

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