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248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。  利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:  在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
辽宁大学 2021-04-10
248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:   在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
北京师范大学 2021-05-09
新型高档造纸中性施胶剂AKD清洁工艺
AKD中性施胶剂是现代造纸工业中应用最为广泛的一类施胶剂。传统的AKD 合成方法需 加入苯类有机溶剂,残留于产品AKD中,损害人体健康,影响AKD产品的下游应用不能用于 食品包装用纸领域。本技术通过采用新型绿色高效工艺合成AKD。解决了目前AKD生产中的 问题。得到的AKD可用于高端造纸领域。
华东理工大学 2021-04-13
一种银基导电胶的制备方法
(专利号:ZL 201410111072.3) 简介:本发明公开了一种银基导电胶的制备方法,属于复合材料制备技术领域。该制备方法具体步骤是:将γ-环糊精、硝酸银、聚丙烯酸钠、浓硝酸、蒸馏水混合,搅拌加热至50~80℃,缓慢滴加抗坏血酸、3,4-乙烯二氧噻吩、吡咯赖氨酸、蒸馏水的混合溶液,反应1小时,过滤,经大量蒸馏水、乙醇洗涤,干燥后得到银含量为88~96%的银基复合导电粒子;将环氧树脂、固化剂以及银基复合导电粒子充分混合,100℃下固化
安徽工业大学 2021-01-12
电子束辐射处理技术改性车用胶条
已有样品/n以辐射加工技术为代表的非动力核技术应用对传统的加工方式产生了颠覆性创新,比如航天航空特种电线、污水处理、材料改性等,产生了很好的经济效益和社会效益。汽车雨刮胶条主要成分是天然橡胶或合成橡胶,实验研究表明电子束辐射能改变橡胶传统的硫化方式,有效提升交联度,通过辐射处理的胶条具有更好的耐候性、耐磨性、拔水性。比如,经过辐照处理后,胶条刮擦循环稳定性可达50 万次,抗拉强度(100%)从4.92MPa 增加到8
华中科技大学 2021-01-12
一种荧光粉胶的涂覆方法
本发明公开了一种荧光粉胶的涂覆方法,属于 LED 封装领域,其采用压印方式对 LED 芯片进行荧光粉胶涂覆,包括 S1 将 LED 芯片固定在封装基板上;S2 将荧光粉胶涂覆在所述 LED 芯片上或者所述压印块的端面上,将所述压印块与所述 LED 芯片通过压印方式贴合一起;S3 待荧光粉胶在所述压印块和所述 LED 芯片之间稳定成形后,对所述荧光粉胶进行固化处理获得荧光粉层,实现荧光粉胶的涂覆。本发明方法操作简单,成本低,可灵活控制荧光粉胶形貌,从而提升LED封装光色一致性,其封装成本低,可大规模应用在工业中进行LED封装。
华中科技大学 2021-04-13
一种便于维修和拆换的建筑PV构件/一种建筑光伏构件
在全球常规能源日益紧张的大环境背景下,太阳能是当今可再生能源开发利用的首选之一,其对常规能源短缺的可弥补性和可替代性的优势日益显现。太阳能既是一次能源,又是可再生能源。它资源丰富、利用方便,既可免费使用,又无需运输,对环境无任何污染。加强可再生能源开发利用,是应对日益严重的能源和环境问题的必由之路,也是人类社会实现可持续发展的必由之路。为了使太阳能的利用向实用化进一步推进,需大力加强太阳能技术的基础研究。太阳能利用的重要途径之一是研制太阳能光伏电池。进入本世纪以来,随着太阳能光伏电池效率的提高和成本的降低,其相关光伏发电产品逐步从个别高端应用领域转向国民经济的各个领域,其未来发展前景十分看好。光伏电池组件简称PV构件,是一种暴露在阳光下会产生直流电的发电装置,由几乎全部以半导体材料(例如硅)制成的薄身固体光伏电池组成。光伏组件可以制成不同形状,而组件又可以连接,以适应建筑形式要求。由于光伏电池组件安装后长时间处于无人监控状态,所以需要定期检查、维修和护理,对于损坏的光伏组件给予更换,保证光电转换正常进行。PV构件和建筑集成后属于建筑的一部分,其健康程度直接影响到建筑的功能。尤其是光伏建筑一体化(BIPV:Building Integrated Photovoltaic)形式的建筑,PV构件的维修和更换是解决光伏产品在建筑中推广和应用所遇难题的有效措施。因为即使PV构件能达到与建筑同寿命,但随着PV新产品发电效率的快速提升和制造成本的迅速下降(如同计算机和手机产品的发展一样),建筑既有PV构件的更新换代势在必行。所以,为了遵循市场发展规律,设计一种可更换、易维修的建筑PV构件,对满足当前光伏产业的市场需求很有必要。与现有技术相比,本发明不但设计简单、方便、灵活,安装成本低,而且在推广太阳能光伏建筑应用方面具有很大程度上的示范意义,对推进建筑节能等方面具有积极的现实意义。
东南大学 2021-04-11
建筑节能监管平台系统软件
成果描述:该系统基于B/S模式开发,采用了工业界普遍采用的实时通信与数据采集技术,结合后台大型分布式数据库,通过Web发布的形式,使得学校各级管理人员不管身处何时何地,都可以轻松地对学校各部门各建筑的用能情况进行监控和管理。软件的主要功能包括:(1)能耗监测资源整合,支持不同能耗采集硬件设备、采集系统、以及现有能源系统的数据集成和归一化处理;(2)对分类分项能耗数据和相关参数的采集,实现对能耗量的动态实时监测;(3)对能耗数据进行分析、处理,提供报表、图形、公告公示等多种展示形式;(4)为管理者能源审计、节能管理、开展有计划分步骤的节能改造提供数据依据。市场前景分析:随着全国高校节约型校园建设项目的全面铺开,该平台功能完整,架构清晰,设计具有很强的兼容性和可移植性。而且平台从2013年已经在电子科技大学部署并稳定运行,电子科技大学作为建设标杆和示范性单位,已经接待了多次高校参观,具有很好的市场推广效果,预计将有很好的市场前景。与同类成果相比的优势分析:与同类成果相比,该系统具有以下特色和优势:(1)系统设计与管理紧密结合,大大提高管理效率;(2)开放式软件接口,兼容多厂家计量表计和能耗采集系统,扩展性强,用户可独立采购硬件;(3)可集成接入其他已建成的多个现有能源管理系统;(4)模块化系统架构,易于功能修改、扩展以及定制;(5)全方位多角度能耗统计对比分析,辅助管理决策,实现科学节能。
电子科技大学 2021-04-10
绿色建筑成套技术与标准体系
研究团队围绕建筑绿色发展,在国家科技支撑计划课题、重点研发计划课题 和重庆市科技惠民计划课题、重庆市社会事业与民生保障科技创新专项等科研项 目的支撑下,在绿色建筑成套技术与标准体系形成了多种绿色建筑技术,建立了 成套标准体系。在绿色建筑技术方面申请了《一种绿色建筑运行效果监测平台》、 《一种智能控制的百叶遮阳系统》、《一种分体式空调节能运行控制系统》等发 明专利;开发了 "Evaluation software for green building VI. 0”绿色建筑 评价软件。标准体系方面,编写了 2016、2017年度《重庆市建筑绿色化发展年 度报告》、《重庆市绿色建筑评价应用指南》等专著;参与编制国家标准《通风 系统用空气净化装置》GB/T 34012-2017、行业标准《民用建筑绿色性能标准》 JGJ/T449-2018、《绿色港口客运站建筑评价标准》,主编参编重庆市地方标准: 2013和2016年度《公共建筑节能(绿色建筑)设计标准》DBJ50-052,《居住 建筑节能65% (绿色建筑)设计标准》DBJ50-071-2016.《绿色建筑评价标准》 DBJ50/T-066-2014、《绿色生态住宅(绿色建筑)小区建设技术标准》 DBJ50/T-039-2018,《绿色轨道交通技术标准》等标准。
重庆大学 2021-04-11
一种新型建筑节能墙体
本发明公开了一种新型建筑节能墙体,主要涉及建筑领域。包括主砌块,主砌块为开口朝向远离房屋主体方向的U型结构的主砌块,主砌块的两侧壁上对称设限位槽,两个限位槽之间设与限位槽相适应的工字型支撑板,支撑板的两端分别位于限位槽内,支撑板与主砌块的底壁之间设空气隔离板,主砌块的靠近主砌块的开口处的两侧壁上均设缺口槽,两个缺口槽上沿主砌块的轴心方向均设限位口,两个限位口之间设与主砌块相适应的副砌块,副砌块为开口朝向主砌块的U型副砌块,副砌块的两端能伸入限位口内。本发明有益效果:节约建筑材料的同时,能够将空气分离成不流动的几个部分,利用空气的隔热性能,来提高墙体的保温效果,达到节约能源的目的。
东南大学 2021-04-11
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