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谐振式压力传感器
一、项目简介
MEMS压力传感器是基于MEMS工艺，把被测压力作用下膜的形变通过一定的规律转换成电信号的一种测压装置，众多MEMS压力传感器中，直接输出频率量的谐振式MEMS压力传感器具有最高的测量精度。高精度谐振式MEMS压力传感器在航天航空领域具有极大的用途。在飞机上，为了获得飞行的高度、速度等大气数据，通常需要测量压力。同时其在卫星和火箭发动控制系统、大气和宇宙数据检测系统中也是迫切需要的传感器，在国内外都有相当大的市场，在我国军事领域，谐振式MEMS压力传感器因其性能优越亦逐步应用到航天、航空、装甲车、舰艇等各兵种装备中。
二、技术成熟度
谐振式MEMS压力传感器工作于闭环激励状态来维持谐振，谐振器是其核心部件，传感器整体精度的高低在很大程度上由谐振器的机械品质决定，受电路参数变化影响较小。其次，技术体系成熟的MEMS技术包括硅基表面加工技术与体硅加工技术使得核心元件的加工生产变的有序可控。本课题组开发的MEMS谐振式压力传感器精度已经达到0.02%FS，各项工艺技术成熟可靠。
三、投产条件和预期经济效益
MEMS传感器核心的投产需要超净实验室(100级，1000级和10000级)和先进齐全的硅微加工设备，包括从制版、光刻、扩散、镀膜、刻蚀到抛光、键合等各种工艺设备。还需配备各种薄膜质量检测设备，可以完成从薄膜制备到测试分析的一系列研究，同时需要具有SEM、TEM、XRD等大型设备，为MEMS相关项目研究的顺利开展提供充分的设备保障。在经济效应方面，其市场规模在2009年就达到了59.1亿元，其中，压力传感器占据市场份额的25%，目前国内同类传感器进口收到限制，较低端的传感器每只约2.0万元人民币，按照各行业每年平均所需，年产5000只压力传感器，可获年产值约1亿元人民币。
厦门大学
2021-01-12
闷罐 压力溶弹 高压罐
产品详细介绍闷罐（高压消解罐）参数及特点： 1、在烘箱中200℃内使用，耐压5Mpa； 2、在设计时充分考虑了安全性，由被动控温转为主动控压。罐体采用圆形榫槽密封设计，手动螺旋紧固密封性能好，避免了挥发性元素的损失；杯顶有泄气孔，安全系数高； 3、我们有优质的稳定材料供应商，能保证内杯材料质量稳定，低空白值（更无黑点、黄点、微小裂痕等致命隐蔽缺陷）。材质、设计、生产工艺也决定整个样品前处理的结果； 4、使用方便：内杯采用特殊设计，易于清洗；精密设备加工内壁光滑，不挂水： 5、内外罐顺序编号，不混配，方便实验中样品的区分，提高实验的可重复性； 6、消解效率高，能力强，能消解许多传统方法难以消解的样品，适应面广，可适用多个样品同时处理； 7、消耗酸溶剂少，空白值低，提高分析的准确度和精确度，降低了工作强度和对环境的污染；规格齐全，可定向加工。
南京瑞尼克科技开发有限公司
2021-08-23
重型载货汽车驾驶室电动/手动翻转机构
目前我国中、重型载货汽车平头化已成为趋势，为了便于发动机等部件的维修，提出了平头载货汽车驾驶室向前翻转的要求。本装置将电动和手动翻转机构集成在一起，采用柱塞泵驱动液压油缸，通过其中换向阀改变油缸运动方向，使驾驶室围绕前支撑点翻转。该装置体积小，质量轻、承载压力大，使汽车装调和维修更安全、更快捷、更轻松，从而大大的缩短了翻转周期，提高了效率。在研或完成课题：汽车摩擦制动与电磁制动的系统集成和协调控制、重型装备运输车联合制动技术研究、纯电动客车关键技术研究及整车开发与应用、电动港口牵引车研究与开发、节能
江苏大学
2021-04-14
磁光克尔效应测量系统手动非接触式样品测试
磁光克尔效应测量系统手动非接触式样品测试
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磁光克尔效应装置是一种基于磁光效应原理设计的超高灵敏度磁强计，是研究磁性薄膜、磁性微结构的理想测量工具。旋转磁光克尔效应（RotMOKE）是在磁光克尔效应测量基础上的一种类似于转矩测量各向异性的实验方法，可以定量的得到样品的磁各向异性的值。但由于电磁铁磁场大小的限制，只适合于测量磁各向异性的易轴在膜面内而且矫顽场不太大的磁性薄膜材料。结合源表可以进行样品的磁输运性能测量。RotMOKE具有以下特点：测量精度高、测量时间短；非接触式测量，是一种无损测量；测量范围为一个点，可以测量同一样品不同部位的磁化情况；可以产生平滑、稳定的受控磁场，并且磁场平滑过零。
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磁光克尔效应测量系统手动非接触式样品测试
磁光克尔效应测量系统广泛应用于诸如磁性纳米技术、自旋电子学、磁性薄膜、磁性随机存储器、GMR/TMR等磁学领域。
锦正科技以现代高科技产业和传统产业为核心业务，对内承接科研生产任务，对外以商务平台方式实现军民两用技术成果转换，形成了科学管理的现代化经营模式，专门从事物理、化学和材料等领域的科学仪器研发、销售各类型超低温测试设备（液氮 液氦）制冷机系统集成 ，定制 ，高低温真空磁场发生系统，Helmholtz线圈（全套解决方案），电磁铁（全系列支持定制），螺线管，电子枪（高稳定性双极性磁铁恒流电源1ppm），高低温磁场真空探针台，霍尔测试系统，电输运测量解决方案，磁光克尔效应测量系统等产品种类齐全，性能可靠，至今已有近10余年的历史，是国内（较早）生产探针台，电输运，电磁铁的厂家之一。
北京锦正茂科技有限公司
2022-02-24
微型消毒防疫机器人
彭浩舸结合专业特长，指导企业科技攻关。远程讨论，迅速拟定技术方案，实验室研发测试，在他的带领下，这家小微企业很快实现新产品的开发，老产品的升级，成功研发出微型消毒防疫机器人，深受市场欢迎。研制的微型防疫机器人主要针对办公楼、医院，或者大型防疫车不能到达的偏僻狭窄通道进行防疫作业，自带监控，可远程自如行进控制、消毒液喷洒量调控等功能。为适应更大范围和更高效的消毒作业，彭浩舸与公司技术骨干还将已有的无人机控制技术移植到新一代室外防疫机器人。
湖南工程学院
2021-04-10
微型核磁共振检测装置
成果介绍生物标记物的快速准确定量检测对于传染病防治、疾病的早期筛查、手术前后病原体筛查、食物卫生检查和生化防卫等方面均具有重要的意义。技术创新点及参数生物标记物的快速准确定量检测对于传染病防治、疾病的早期筛查、手术前后病原体筛查、食物卫生检查和生化防卫等方面均具有重要的意义。
东南大学
2021-04-11
片上微型X射线源
X射线广泛应用于健康检查、癌症放疗、安全检查、工业探伤、材料分析等领域。目前，X射线主要是通过热阴极X射线管产生，其主要包括一个热发射阴极和阳极，电子从热阴极发射后被加速，高能电子轰击到阳极并在阳极发生韧致辐射和原子内壳层电子跃迁，从而产生X射线。由于热发射阴极具有体积大、功耗高、开关延迟时间长等特点，热阴极X射线管一般也具有较大的体积、较高的功耗和较长的开关响应时间。这些问题限制了传统热发射阴极X射线管在很多场景的应用。另一方面，X射线动态成像系统、轻小型X射线医学成像系统、近距离电学X射线放疗设备、便携式X射线检测和分析装置等新型X射线仪器的应用需求越来越大，这些仪器的关键核心部件就是微型X射线源，因此，微型X射线源是一种重要的、需求越来越大的电子元器件。 微型X射线源的研究始于2000年左右，目前已研制成功了基于热发射电子源和纳米材料场发射电子源的小型或微型X射线源。其中，基于热发射电子源的小型X射线源的技术比较成熟，其虽然具有更小巧紧凑的尺寸，但由于仍使用热发射电子源且具有和传统X射线管非常相似的结构，基于热发射电子源的小型X射线源仍具有开关响应时间长的问题，难以应用在移动对象的动态X射线成像等场合。相比于基于热发射电子源的小型X射线源，基于碳纳米管、氧化锌纳米线等纳米材料场发射电子源的微型X射线源具有更小的尺寸、更低的功耗、更短的开关响应时间，被认为是一种非常有前景的微型X射线源技术。然而，目前所有片上的微型X射线源均具有尺寸难以进一步减小、批量制备成本高等问题。 本项目提出了一种片上微型X射线源。该X射线基于一种新型的微型电子源，可以用微纳加工技术加工得到，因此可以减小尺寸、降低制备成本。同时，该片上微型X射线源具有X射线剂量稳定可控、工作真空要求低、开关响应快、可集成、可批量生产等优点，可应用于小型便携的各类X射线检测分析和医疗设备。
北京大学
2021-02-01
氢能微型发电机
该项目以“未来最理想的清洁能源——氢能”作为产品研发的核心能源支撑，以独有的专利作为核心技术支撑，以专攻“痛点”作为产品设计的核心理念支撑， 自主研发出新能源高科技环保系列产品:氢能微型发电机(25W/500W+/5W)。
西安交通大学
2021-04-11
微型网络测控服务器
微型网络测控服务器是集传感器数据釆集、信号调理、网络传输、信 息缓存、远程控制于一体的新型网络传感器系统。本服务器在硬件上釆 用三层PCB模块化设计，使电路板的复用率达到最大，有效地降低了系统 的维护成本。此外，还通过了过静放电，防浪涌等电磁兼容检测，检测 证明本服务器可在复杂的工业环境中稳定、可靠的工作，是一款具有极 大的推广、应用价值的成熟产品。性能指标：
西北工业大学
2021-04-14
智慧微型图书馆(中型)
信昇达智慧微型图书馆
智慧微型图书馆是可放置于室内或室外的移动图书馆流通设备，打破时间和空间的界限，真正走进学校教室和楼层，从而提升图书馆的服务性，更大程度发挥图书馆的作用。具有借书、还书、续借、预约、查询等图书馆基本服务功能，实现了图书借还管理的智能化、自助化、网络化和便利化。
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福建信昇达智能科技有限公司
2021-08-23