一种微型皮拉尼计，属于微机电系统的真空度测量器件，克服现有微型皮拉尼计体积大、灵敏度不够高的问题。本发明在硅衬底上具有凹槽，凹槽表面架有隔热层，隔热层表面覆盖绝缘层，绝缘层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极；所述加热体为形状弯曲的铂或镍金属；所述绝缘层材料为氮化硅或二氧化硅；所述隔热层材料为二氧化硅、氮化硅中的一种或两种。本发明体积小、重量轻而且性能稳定，加热体采用金属铂，它的线性度好、性能稳定、灵敏度高、有良好的化学稳定性；其制造工艺简单、成本低、成品率高、可靠性高。适用于各种大小真空封装

本发明公开了一种微型皮拉尼计的制备方法及其与体硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括：在硅基片正面制备体硅器件所需的绝缘层及电路引线；在硅基片的背面或正面沉积一层绝缘隔热材料，刻蚀去除其四周部分得到绝缘隔热层；在绝缘隔热层上制备加热体和电极；在没有加热体的一面制备图形化的光刻胶掩膜；在有加热体的一面沉积金属膜；将金属膜粘贴在表面有氧化层的硅托片上；对有光刻胶掩膜的一面进行感应耦合等离子体干法刻蚀，刻穿硅基片；去除光刻胶掩膜和金属膜，得到集成结构。本发明能有效提高皮拉尼计的制备与其它工艺的兼容性，解决皮拉尼计与体硅器件集成封装工艺难度大，风险高，成本高且产量低的技术问题。

成果与项目的背景及主要用途：目前，多轴拉扭疲劳试验机多采用液压系统实现，液压疲劳试验机主要存在以下几个问题： 1、液压系统的量程较大，无法满足小型试件的精密试验； 2、动态响应速度慢，无法进行高频疲劳试验； 3、功率大，试验过程中产生较多热量，试验机进行高周疲劳试验时会有散热问题。因此，液压试验机无法满足微电子材料、高分子材料等各种新型材料的力学性能测试要求。 本试验机可以满足新型材料的拉扭复合应力下微电子材料、高分子材料等各种新型材料的力学性能的测试。 技术原理与工艺流程简介： 音圈电机是本试验机的基本作动单元，该电机具有卓越的直线进给运动控制功能。其工作原理是利用通电线圈在恒定磁场中受电磁力作用，力的大小与磁场强度、线圈运动速度及通电电流成正比。当电机型号确定，磁场强度也就确定，因此电机的作动单元可根据需要形成力矩环或速度环的闭环控制方式。电机的动态响应性能优越，运动加速度可达到 20g。同时，输出力与通电电流成正比，可方便对输出载荷的大小进行控制调节。将电机控制器与上位机相连，可单独对电机进行控制或与上位机通讯控制。电机控制器提供AD 输入接口，可以将外部载荷传感器信号输入形成闭环控制，或采用电机控制器的命令将信号读出进行显示和存储。扭转方向采用微型直流电机与减速器配合使用，可在保证 0.0068 度的角度控制精度下输出 1N·m 大小以内的扭矩。采用与直线动动方向相同的控制器对扭转方向的运动进行控制。扭矩的大小同样可以通过外部扭矩传感器测量得到后输入到控制器进行处理。试验机的控制装置为全数字闭环控制系统，两种控制模式（载荷、位移）可根据需要自由选择。由于位移控制的精度极高（最大分辨率 1um），经标定可以将位移信号用作应变信号。轴向运动与扭转运动由独立的控制器分别控制，两通道可无干扰的异步工作，也可同步协调工作。控制波形由音圈电机控制器的内部数字寄存器产生，可生成三角波、正弦波、方波、斜波、梯形波等各种控制波形。合理的设置拉扭方向的控制方式及波形、频率，可实现比例路径和各种非比例路径的加载，用于研究金属、非金属材料在多轴非比例加载条件下的力学响应。通过将电机控制器与上位机相连，可以把试验过程中的载荷、位移信号在上位机实时显示、控制或存储以备后续处理。音圈电机控制器可以解释和执行 ASCII 码命令，可利用 VB 或 Delphi 等编程语言制作疲劳试验程序界面，形成上位机对音圈电机的控制。控制器对单条指令的解释时间不超过 200μs，可以满足疲劳试验动态响应要求。自主开发的疲劳试验程序功能主要包括初始化电机控制器的控制参数，对试验数据如轴向力、位移、扭矩、转角进行实时显示和存储，设定试验参数，对电机进行位移和载荷方式保护等。 技术水平及专利与获奖情况：试验机具有精度高、响应快、功耗小、易操作等主要特点。拉扭电机及拉扭传感器均为美国原装进口。拉伸载荷±100N；扭转载荷±1Nm；位移行程 50mm；频率 0.01-80Hz。 [1] 专利：微型宽频拉-扭疲劳试验机，申请号：2004200298116，已授权。 [2] 专利：高频响应高温拉-扭疲劳引伸计，申请号：2004100721891 应用前景分析及效益预测：将单轴疲劳模型应用到多轴情况已不能满足现代工业的设计要求，因此材料多轴疲劳的试验研究已成为疲劳领域的重要课题。随着新材料，如高分子材料，电子材料的涌现，对其力学性能的试验研究有很大的需求。 应用领域：材料的力学性能试验，包括单轴拉伸，扭转，拉扭复合的疲劳试验。 合作方式及条件：可提供现成产品，或技术转让。 

本索拉非尼 (sorafenib) 是一种新颖的二芳基脲化合物，由Bayer和Onyx公司共同开发，于 2005年12月获美国FDA批准。索拉非尼是首个口服多激酶抑制剂，靶向作用于肿瘤细胞以及肿 瘤血管内丝氨酸/苏氨酸激酶受体和酪氨酸激酶受体。它适应晚期肾细胞癌的治疗，是少有的 晚期癌症治疗药物，被称为重磅级药物。所开发的索拉非尼合成路线，所有原材料都立足于国内，反应步骤简洁，操作简便，无昂 贵的辅助试剂，易于规模化生产。

本索拉非尼 (sorafenib) 是一种新颖的二芳基脲化合物，由Bayer和Onyx公司共同开发，于 2005年12月获美国FDA批准。索拉非尼是首个口服多激酶抑制剂，靶向作用于肿瘤细胞以及肿 瘤血管内丝氨酸/苏氨酸激酶受体和酪氨酸激酶受体。它适应晚期肾细胞癌的治疗，是少有的 晚期癌症治疗药物，被称为重磅级药物。所开发的索拉非尼合成路线，所有原材料都立足于国内，反应步骤简洁，操作简便，无昂 贵的辅助试剂，易于规模化生产。

伊马替尼是瑞士诺华公司研发的一种酪氨酸激酶抑制剂类抗肿瘤药物，于2001年5月获得 美国食品与药品管理局 (FDA) 的批准上市，用于治疗慢性骨髓性白血病，又于2002年2月被批 准用于治疗胃肠道间质细胞肿瘤，具有起效迅速、转移性强、副作用小等优点，其专利化合物 专利近年到期，国内多家企业仿制上市。 尼洛替尼是瑞士诺华公司开发的第二代具有高度选择性的酪氨酸激酶抑制剂，用于对既往 治疗(包括伊马替尼治疗)耐药与不耐受的费城染色体阳性慢性髓性白血病慢性期或加速期的成 人患者，治疗范围更广，疗效更佳，目前国内多个企业酝酿尼洛替尼的仿制工作。 达沙替尼由百时美施贵宝公司研发，2006年2月在美国首次上市。是首个批准上市的口服 多重酪氨酸激酶抑制剂，用于对既往治疗失败或不耐受的成人各阶段慢性髓细胞样白血病，也 可用于治疗对其他疗法耐药或不耐受的费城染色体阳性急性淋巴细胞性白血病成年患者。目前 国内多个企业进行达沙替尼的仿制工作。 

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