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一种微纳深沟槽结构侧壁形貌快速测量方法及装置
本发明公开了一种微纳深沟槽结构侧壁形貌快速测量方法及装置,能够同时快速测量微纳深沟槽结构线宽、沟槽深度、侧壁角、侧壁粗糙度等侧壁形貌参数。步骤为:将波长为从近红外到中红外的光束经起偏后得到的椭圆偏振光投射到待测结构表面;采集待测结构表面零级衍射信号,计算得到微纳深沟槽结构测量红外椭偏光谱;采用分波长建模方法分别计算在近红外和中红外波段理论椭偏光谱,采用分步光谱反演方法与实验测量红外椭偏光谱匹配,依次提取出沟槽结构参数和粗糙度参数。装置包括红外光源、第一至第四离轴抛物镜、迈克尔逊干涉仪、平面反射镜、起
华中科技大学 2021-04-14
空间目标光学探测感知技术
技术成熟度:技术突破 1.空间目标及星图光学探测仿真系统。由于空间目标探测真实数据获取成本较高,且数据量较少,结果验证困难,团队开发了空间目标及星图光学探测仿真系统。此工作以软件形式呈现,以友好的人机交互界面,根据用户的实际系统参数,提供准确可靠地提供当前时刻空间探测仿真图像,该软件前期经过与stk仿真软件结果比对验证其坐标的准确性,与在轨实测图像进行比对验证其仿真效果的可靠性。目前该软件已经在项目开发过程中广泛使用,为提高系统开发效率、验证算法性能提供有效支撑。 2.空间目标探测感知关键技术及算法体系。该成果以理论及软件开发包形式呈现,团队具备多年的空间探测相关开发经验,并将相关理论及算法构建软件开发包。该SDK开发包基于C++开发,具有较好的泛化能力,具有坐标描述转换、预处理、目标提取、星表制备、星图识别、光学标定、定位定姿定轨等功能,可支撑各层次的空间探测相关开发需求。目前团队基于此SDK开发的顶层软件,采用目标TLE数据库匹配的解决方法,已经完成长光奥闰光电科技有限公司地基望远镜空间目标的感知识别及长光卫星技术股份有限公司的星敏感器在轨图像空间目标自动提取与识别,后续还将采用更多的数据验证完善提升本系统的技术成熟度。 意向开展成果转化的前提条件: 1、长春长光奥闰光电科技有限公司等测站望远镜生产企业,利用本项目的共性技术,实现地基测站的空间目标自动探测感知,为空间安全提供支撑服务。 2、长光卫星技术股份有限公司、吉天星舟空间技术有限公司等遥感卫星公司,通过本技术的转化,可以利用星上光学载荷构建空间态势感知平台,为自身卫星安全提供保障、为国家及其他航天企业的空间安全需求提供数据支撑服务。另外可以在空间光学载荷开发过程中应用空间目标及星图光学探测仿真系统,对光学载荷的精度和鲁棒性进行评估和测试。
长春工业大学 2025-05-20
微小型器件及微系统高加速度实验与标定技术(技术)
成果简介:利用高速旋转的转子产生的高离心力对在高承载环境下使用的器件进行加载试验,采用成熟试验技术方法和检测手段,实现对微小型机械结构件和电子器件、加速度传感器在高承载环境下的高载荷试验和标定。该设备最高加速度实验值:8万g,最高加速度标定值:1万g,实验对象最大回转半径:50mm,加速度实验精度:3%,标定精度:6%,实验对象尺寸:实验件最大尺寸长度≤18mm,实验件三维尺寸处于直径D=18,高度H=15的圆柱体范围里。适合钢、铝及铜质等各种材质加工的,在高承载环境下工作的机械结构件、电子元器件
北京理工大学 2021-04-14
纳豆及纳豆激酶的高效生产技术
一、成果简介 纳豆是日本的一种传统大豆发酵食品,由纳豆菌在一定温度和湿度下发酵大豆制备而成,距今已有2000多年的历史。纳豆的营养价值丰富,一直被视为药食同源的食品。研究发现纳豆中含有大 量丰富的生理活性物质如纳豆激酶、异黄酮、皂青素、维生素K2等。常吃纳豆可改善人体肠道微 生态平衡、预防痢疾、肠炎和便秘等疾病;同时还能起到降低血脂、预防大肠癌、降低胆固醇、软 化血管、预防
中国农业大学 2021-04-14
柔性储能器件及传感器件
利于层状纳米材料比表面积大的特点,在碳基柔性衬底上制备了高性能柔性 超级电容器,及葡萄糖传感器。超级电容器的能量密度最大为50.2Whkg-1,功率密度为8002 W kg-1 at 17.6 Wh kg-1,充电1分钟能点亮两只绿色LED灯3 到5分钟。性能处于国际先进水平,成果先后发表于JALC0M ,714(2017) 63-70; 763 (2018) 926-934 等。 非酶葡萄糖传感器:检测范围为0. 002mM~4. 096mM,检测极限为0. 53uM(信 噪比为3),响应时间为3s,另外还具有较优异的选择性与再现性,因此该复合 材料是高性能非酶葡萄糖传感器的潜在候选者。
重庆大学 2021-04-11
DB-3WJ远红外微晶电热板
DB-3WJ远红外微晶电热板特点 ●外壳采用优质冷轧钢板经钣金制造而成,表面喷涂工艺处理●表面采用进口微晶玻璃板制成,大大提高了防腐功能,可防止明火直烤●具有无明火、无粉尘、升温快、温度均匀性高和安全可靠等特点 DB-3WJ远红外微晶电热板参数
菏泽市牡丹区俊腾电子仪器有限公司 2025-11-24
一种基于SOI封装的六轴微惯性器件及其加工方法
本发明公开了一种基于SOI封装的六轴微惯性器件,包括单片集成的六轴微惯性器件、玻璃衬底、金属电极、金属引线、SOI盖帽和SOI密封墙;六轴微惯性器件通过阳极键合工艺键合在玻璃衬底上;金属电极为一个以上,均匀设置在玻璃衬底一侧,金属电极通过金属引线与六轴微惯性器件相接,SOI盖帽设在玻璃衬底正上方,SOI密封腔设在SOI盖帽和SOI密封墙之间,形成空腔结构;每个金属电极正上方的SOI盖帽上设有梯形电极孔,梯形电极孔正下方的SOI密封墙上设有垂直贯通;梯形电极孔、垂直贯通与金属电极一一对应。本发明具有全解耦、质量小、结构精巧、成本低和便于批量生产等优点,在单个器件内同时实现了对三轴的加速度和角速度的检测,应用范围广,有着良好的市场前景。
东南大学 2021-04-11
光学魔盒
了解光的反射原理。
宁波华茂文教股份有限公司 2021-08-23
光学产品
该产品基于自主研发的光学算法,展现光的几何、偏振、波动、量子等特性现象;应用3D仿真技术,模拟实验仪器操作过程,为普通物理、物理光学、光纤通信、激光原理与技术、信息光学等课程提供了有力的仿真教学平台!
安徽省科大奥锐科技有限公司 2021-02-01
光学平台
产品详细介绍 台面:含磁不锈钢板,双层减震。M6孔,孔距:25㎜ 磁力表座、一维、二维、三维工作台16件; 一维、二维、三维调整架21套; 附件19套,元器件等20多种;配有精制工作台。26项光学实验.  1200×800×140㎜/   1500×1000×160㎜/    1800×1000×160㎜   另有轻便精密光学平台GPT-3  / 干板切割器 CG-2  / 20度定温洗相仪DX-3/ 移动暗室YD-2.
长春市长城教学仪器有限公司 2021-08-23
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