|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
一种加工硅通孔互连结构的工艺方法
本发明公开了一种加工硅通孔互连结构的工艺方法，步骤为：①在基板上刻蚀盲孔；②在基板上沉积一层图案化介电质层；③刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁的介电材料，在基板上形成介电质孔；④在介电质孔上沉积一层导电材料，形成导电孔；⑤在导电层上再沉积一层图案化介电质层，填充导电孔；⑥刻蚀板背面，暴露出导电层，在导电层上形成焊料微凸点。图案化介电质层的材料优选聚对二甲苯。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；使用二层图案化介电质层，降低了寄生电容，提升了互连电性能，适用于高速和
华中科技大学
2021-04-14
一种实现现场总线拓扑结构实时重构的通信单元
本发明公开了一种实现现场总线拓扑结构实时重构的通信单元，包括第一、第二数据处理模块和二个端口，二个端口均设有接收模块和发送模块，其中任一端口的接收模块均通过第一数据处理模块或第二数据处理模块与另一端口的发送模块连接，在第一、第二数据处理模块之间设置有双向电子开关。本发明采用一个双向电子开关即可实现数据流向的灵活切换。具有双环结构的主从通信系统中采用两个处理模块，分别处理各自通信链路上的数据信息信号，真正提高了一次通信操作中的数据信息信号冗余度，实现数据信息信号双环结构。
华中科技大学
2021-04-14
基于片段的 YEATS 结构域抗肿瘤增殖抑制剂
成果创新点 首批针对 YEATS 的抗肿瘤增殖药物先导化合物 技术成熟度 关键技术研发阶段 市场情况 抗癌药物市场巨大 转化计划 专利转让/技术入股 所需支持 1000 万-5000 万
中国科学技术大学
2021-04-14
复杂空间结构件切割焊接机器人
成果简介结合建筑行业大型空间网壳结构多杆汇交式网壳节点壳形多瓣式节点数字化制造需求， 形成了铸钢节点机器人快速制模技术、 具有自主知识产权且可用于铸钢节点机械精加工的高刚度 5 混联机器人本体设计制造技术， 开发数字化成套工艺装备， 并结合依托工程国家重大基础设施建设， 在钢结构制造企业示范应用。成熟程度和所需建设条件本项目先后成功应用于上海世博会和上海中心， 结果表明效果显著， 经济和社会效益明显。技术指标控制轴,5 轴； 设置
安徽工业大学
2021-04-14
锗硅纳米低维结构的可控制备方法及产品
本发明公开了一种锗硅纳米低维结构可控制备方法及产品，该 方法具体为：(a)清洗硅衬底；(b)在硅衬底上外延生长锗硅合金形成外 延衬底；(c)涂敷电子抗蚀剂，通过电子束光刻技术在电子抗蚀剂上曝 光所需的锗硅纳米低维结构图形；(d)采用干法刻蚀将锗硅纳米低维结 构图形转移到外延衬底上得到样品；(e)去除样品上的电子抗蚀剂；(f) 高温环境下进行氧化和退火，使得氧气优先与硅反应形成氧化硅而锗 被析出；(g)在氮氢混合气氛下
华中科技大学
2021-04-14
基于机床不同结构状态的数控机床频响函数获取方法
一种基于机床不同结构状态的数控机床频响函数获取方法，该方法包括，步骤(1)将整个机床划分为两部件，包括固定部件和可动部件；步骤(2)获得可动部件在第一位置时机床结构状态的模态参数；步骤(3)获得可动部件在第二位置时机床结构状态的模态参数；步骤(4)利用不同结构状态的模态参数先计算得出模态标定因子，后结合频响函数的模态表达式合成机床在该结构状态的频响函数，本发明方法不需要测量输入力即可获得频响函数，应用本发明方法可实时监控机床的动态特性。
华中科技大学
2021-04-14
一种仿壁虎脚微纳分级结构及其制造工艺
本发明公开了一种用于仿壁虎脚微纳分级结构的制造工艺，包括：S1、使用LPCVD设备在洁净的硅片上热生长一层SiO<sub>2</sub>薄膜；S2、在有 SiO<sub>2</sub>层的硅片表面旋涂光刻胶并进行光刻，制备出圆孔阵列图形；S3、使用缓冲氢氟酸溶液对暴露出的SiO<sub>2</sub> 进 行 刻 蚀 ， 将 光 刻 胶 上 的 图 形 转 移 到SiO<sub>2</sub>层；S4、在
华中科技大学
2021-04-14
一种多面体空腔结构的发射成像设备
本发明公开了一种多面体空腔结构的发射成像设备，其包括相互连接的上支撑架和上多面体空腔结构以及相互连接的下支撑架和下 多面体空腔结构，上支撑架和下支撑架通过连杆相连，其中:上多面 体空腔结构由多个腔体结构的多边形模块构成，多个多边形模块的外 侧面依次两两拼接组成中空的多面体空腔结构，该多面体空腔结构的 中空部位嵌装有一多边形模块;下多面体空腔结构同样由多个腔体结 构的多边形模块构成;滑动装置包括滑块和导轨，滑块与多边形模块 相连，其在动力机构的驱动下相对导轨滑动;导轨与下支撑架相连， 其一端与多边形模
华中科技大学
2021-04-14
一种利用组合结构实现承重墙托换方法
本发明公开了一种利用组合结构实现承重墙托换方法，该方法包括步骤:施工前障碍物清除，掏空 钢柱位置砖墙，设置支撑安全措施;基础放线定位开挖，钢筋制作，架设模板，预埋地脚螺栓，浇筑基 础混凝土并养护;钢柱及节点板制作，柱脚安装及节点连接;原砖墙包钢加固，加固框梁包钢处理;钢 梁制作与安装;钢结构防腐处理;待钢框架稳定无异常后，清理钢框架周围杂物并进行基础回填，对钢 梁和混凝土楼
武汉大学
2021-04-14
一种多功能蒸渗测坑的地下混凝土结构
本实用新型公开了一种多功能蒸渗测坑的地下混凝土结构，包括上下楼道、电脑监控室、地下控制 大厅、测坑、地下观测廊道、称重式蒸渗仪系统和地下供排水系统;所述上下楼道通往电脑监控室和地 下控制大厅，所述电脑监控室位于上下楼道的半层楼处，下方通往地下控制大厅;所述地下观测廊道与 地下控制大厅相连，所述测坑布置于观测廊道两侧，所述称重式蒸渗仪系统设于观测廊道尾端。本实用 新型建造方便、性能可靠，位于上下楼道
武汉大学
2021-04-14