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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下:温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议
天津大学 2021-04-11
高性能非制冷红外探测器芯片
        技术成熟度:技术突破         研发团队以设计制备宽光谱超材料吸收器和像元级集成红外探测器为研究主线,在超薄宽带高吸收原理与策略、材料/器件设计与制备方面取得了突破性进展。围绕器件吸收率低、噪声等效温差(NETD)大、集成兼容性差的难题,提出了无损与损耗型介质结合、多模谐振耦合光吸收的思路,获得超薄宽带高吸收率材料;提出将超薄宽带高吸收率材料与非制冷红外探测器像元级集成新思路,获得了宽谱、NETD小、多色探测的非制冷红外探测器,NETD降低3倍,研究成果已在中国兵器北方夜视广微科技应用转化。         意向开展成果转化的前提条件:中试放大及产业化工艺开发资金支持
东北师范大学 2025-05-16
DTS CANOpen动态高抗震倾角传感器
产品介绍DTS CANOpen是瑞惯科技自主研发生产的新一代数字型MEMS动态双轴倾角传感器,专为测量运动载体的姿态而设计,尤其适用于运动或振动环境下的倾角测量。该传感器内置加速度计和陀螺仪,结合卡尔曼滤波算法,能够准确捕捉并输出载体在运动或振动状态下的实时姿态数据。采用CANOPEN通讯协议,DTS CANOpen在工业应用中具有广泛的兼容性和实用性。该产品采用非接触式测量技术,能够实时输出当前姿态倾角,安装简便,无需校准相对变化的两个平面。其内部集成了高精度的AD转换器和陀螺仪单元,能够实时补偿非线性误差、正交耦合、温度漂移以及离心加速度的影响,有效消除运动加速度带来的干扰,显著提升动态测量精度。因此,DTS CANOpen能够在复杂运动场景和恶劣环境中长期稳定工作。作为一款动静双模测量传感器,DTS CANOpen具备强大的抗电磁干扰能力,适用于各类高强度冲击和振动的工业环境。其卓越的性能使其成为工业自动化控制中测量姿态的理想选择。主要特性★ 量程双轴±90° ★ 分辨率0.01°★ 动态精度±0.1° ★ 静态精度±0.05°★ CANOpen协议 ★ 三种防护等级可选主要应用★ 强冲击振动碎石设备 ★ 工程车设备测控★ 施工设备调平 ★ 农用机械测控★ 飞行器姿态控制 ★ 船舶姿态监测 性能参数 DTS CANOpen 单位 参数 测量范围 ° 横滚±180,俯仰±90° 测量轴 轴 X Y 双轴 横滚俯仰分辨率1) ° 0.01 横滚俯仰静态精度@25℃ ° ±0.05 横滚俯仰动态精度(rms)@25℃ ° ±0.1 陀螺仪 陀螺仪量程 °/s ±300 零偏稳定性(10s均值) °/h 8.5 零偏不稳定性(allan) °/h 4.5 角度随机游走系数(allan) °/sqrt(h) 0.25 加速度 加速度量程 g ±4 / ±16(可选) 零偏稳定性(10s均值) mg 0.02 零偏不稳定性(allan) mg 0.005mg 速度随机游走系数(allan) m/s/sqrt(h) 0.005 零点温度系数3)@-40~85℃ °/℃ ±0.01 灵敏度温度系数4)@-40~85℃ ppm/℃ ≤100 上电启动时间 S ≤3.5 响应时间 S 0.01 通讯协议 - CAN Open 电磁兼容性 - 依照EN61000和GBT17626 平均无故障工作时间MTBF 小时/次 ≥98000 绝缘电阻 兆欧 ≥100 抗冲击 - 100g@11ms、三轴向(半正弦波) 抗振动 - 10grms、10~1000Hz 防护等级 - IP67 / IP68(可选) 重量 g 单连接头≤165g(不含电缆线) / 双连接头≤180g(不含电缆线) 1)分辨率:指传感器在测量范围内能够检测和分辨出的被测量的最小变化值。 2)精度:指在常温条件下,对角度多次测量(>16次),取测量值与实际角度误差的均方根差。 3)零点温度系数:指传感器零值状态下,在其额定工作温度范围内相对常温的示值变化率。 4)灵敏度温度系数:指传感器在其额定工作温度范围内,满量程示值相对于常温满量程示值的百分比,随温度的变化率。
深圳瑞惯科技有限公司 2025-04-12
一种结合抑爆及阻爆的多级联动泄爆测试装置及方法
本发明提出一种结合抑爆及阻爆的多级联动泄爆测试装置及方法,属于氢气泄爆、阻爆和抑爆技术领域,包括爆炸容器、配气系统、纹影系统、火焰拍摄系统、同步控制器、程序控制与数据采集系统、传感器系统、高压喷雾系统、和自由基分布演化组件;爆炸容器上设有透明的泄爆管,泄爆管上安装有爆破片,爆炸容器和泄爆管组成整体A;泄爆管上安装有透明的阻火器;爆炸容器中安装有点火器;爆炸容器和泄爆管上分别安装有第一抑爆装置和第二抑爆装置;火焰拍摄系统包括第二高速摄像机和高速红外热成像仪。本装置及方法既能降低装置内爆炸超压,又能实现爆炸火焰的有效阻隔,给真实的情况提供数据参照,还能探究爆炸容器内OH<supgt;+</supgt;等自由基的动态演化。
南京工业大学 2021-01-12
DF-101S集热式磁力搅拌器
集热式磁力搅拌器型号:101S    产地:郑州技术参数DF-101S 特征:平板 ; 搅拌容量:最大2000ml ; 搅拌速度:无级调速 0-2600; 加热温度:室温-400℃ ; 控温方式:智能自动; 工作电压:220V/50Hz ; 整机尺寸:239×245×220 ; 主要特点随意设定,自动恒温,使用更加方便、直观,控温精度高、准确可靠。 仪器介绍DF-101S在DF-101B基础上,增加了高精度时间比例式数显温控仪和智能型数字显示温度两种型号,随意设定,自动恒温,使用更加方便、直观,控温精度高、准确可靠。
巩义市城区众合仪器供应站 2025-05-12
一种去阻调距加补风的旋转导向管喷动床粮食干燥装置
项目简介 本项目涉及新型喷动床粮食干燥设备领域,主要用于粮食干燥。采用一种去除启动 阻力即去阻和灵活调节导喷距即调距的喷动床结构,独立设计喷动床环隙区粮食的补风 结构,融合旋转导向管喷动床直径放大结构,提供一种具有新的干燥特性和操作能力的 批式粮食喷动床干燥装置。整个装置相对于现有的喷动床干燥设备,表现出了整体综合 创新后具有了新的干燥性能、操作性能和放大能力的优点。本发明装置适用于大麦、小 麦、水稻、大豆和玉米的批式干燥。成果已取得发明专利授权,发明
江苏大学 2021-04-14
高精度图像对焦伺服控制器及显微成像系统
        技术成熟度:技术突破         领域存在着景深影响效率的突出问题,本产品以高性能异构处理器为核心运算单元,以嵌入式手段通过视觉流与控制流的严格对位,高性能实时完成视频控制信息的结算,并直接输出电机驱动信号控制相关执行机构完成闭环控制。         本产品主要面向高性能伺服闭环控制的视频应用领域,能够显著提升显微工业自动化领域的视频对焦及对位处理的效率及精度,亦可实现宏观领域的视觉嵌入化控制闭环应用。         意向开展成果转化的前提条件:中试放大及产业化工艺开发资金支持
东北师范大学 2025-05-16
大功率超高压汞灯光源驱动器
        成熟度:技术突破         一种安全、可靠、光强稳定的数字化超高压汞灯曝光光源控制器,驱动功率高达3kW,功率调整步长小于5W,光强稳定性误差不高于0.3%@30min,汞灯触发成功率高于90%。         意向开展成果转化的前提条件:中试放大及产业化工艺开发资金支持
东北师范大学 2025-05-16
系列化主被式上下肢关节运动康复器
针对脑卒中与关节损伤高发趋势,本产品基于康复医学理论研发多关节智能康复产品,覆盖肘、膝、踝、腕等上下肢关键关节,通过对关节的反复训练,增强关节本体感觉,打开活动度,推动神经系统重组代偿,助力关节功能恢复。 本产品实现多项突破,运用高精度传感器,精准捕捉关节运动微小变化,实现人机互动与实时康复数据反馈;结合自适应算法实现动态重力补偿,精准调控角度/速度/力矩三维参数,通过循迹坐标点样线拟合生理运动轨迹;创新集成多训练模式切换系统,满足全康复周期需求;产品兼具硬/软件双重安全防护,提高产品安全性。 腕关节康复器 前臂康复器 肘关节康复器 膝关节康复器 踝关节康复器
吉林大学 2025-05-19
带投币器模拟器
产品详细介绍带投币器,可开驾吧用
上海红外汽车模拟驾驶设备有限公司 2021-08-23
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