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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
一种结合抑爆及阻爆的多级联动泄爆测试装置及方法
本发明提出一种结合抑爆及阻爆的多级联动泄爆测试装置及方法，属于氢气泄爆、阻爆和抑爆技术领域，包括爆炸容器、配气系统、纹影系统、火焰拍摄系统、同步控制器、程序控制与数据采集系统、传感器系统、高压喷雾系统、和自由基分布演化组件；爆炸容器上设有透明的泄爆管，泄爆管上安装有爆破片，爆炸容器和泄爆管组成整体A；泄爆管上安装有透明的阻火器；爆炸容器中安装有点火器；爆炸容器和泄爆管上分别安装有第一抑爆装置和第二抑爆装置；火焰拍摄系统包括第二高速摄像机和高速红外热成像仪。本装置及方法既能降低装置内爆炸超压，又能实现爆炸火焰的有效阻隔，给真实的情况提供数据参照，还能探究爆炸容器内OH<supgt;+</supgt;等自由基的动态演化。
南京工业大学
2021-01-12
一种去阻调距加补风的旋转导向管喷动床粮食干燥装置
项目简介 本项目涉及新型喷动床粮食干燥设备领域，主要用于粮食干燥。采用一种去除启动 阻力即去阻和灵活调节导喷距即调距的喷动床结构，独立设计喷动床环隙区粮食的补风 结构，融合旋转导向管喷动床直径放大结构，提供一种具有新的干燥特性和操作能力的 批式粮食喷动床干燥装置。整个装置相对于现有的喷动床干燥设备，表现出了整体综合 创新后具有了新的干燥性能、操作性能和放大能力的优点。本发明装置适用于大麦、小 麦、水稻、大豆和玉米的批式干燥。成果已取得发明专利授权，发明
江苏大学
2021-04-14
一种可有效降阻的在线自激式自稳定管式换热器清垢及强化换热技术
针对火电机组汽轮机组凝汽器管式换热器、管式空预器易结垢与积灰、换热 端差大，清洗较困难，且运行成本高等问题，提出并设计了一种以带平衡孔的旋 流叶片为核心的清垢、清灰及强化换热装置，其能依靠循环水、烟气的流动实现 旋流叶片自激旋转，强化扰流，实现在线自动清垢清灰及强化换热，且在平衡孔 的作用下，能防止旋流片的偏斜而实现自平衡稳定。应用本方法与装置应用本方 法与装置于火电机组凝汽器，端差可降低为1~3C,应用于火电机组管式烟气换 热器，可提高热力发电厂热效率该装置还可广泛应用于电力、化工、制 药、印染等表面式换热过程，节能减排效果显著。
重庆大学
2021-04-11