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248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。  利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:  在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
辽宁大学 2021-04-10
248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:   在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
北京师范大学 2021-05-09
新型高档造纸中性施胶剂AKD清洁工艺
AKD中性施胶剂是现代造纸工业中应用最为广泛的一类施胶剂。传统的AKD 合成方法需 加入苯类有机溶剂,残留于产品AKD中,损害人体健康,影响AKD产品的下游应用不能用于 食品包装用纸领域。本技术通过采用新型绿色高效工艺合成AKD。解决了目前AKD生产中的 问题。得到的AKD可用于高端造纸领域。
华东理工大学 2021-04-13
一种银基导电胶的制备方法
(专利号:ZL 201410111072.3) 简介:本发明公开了一种银基导电胶的制备方法,属于复合材料制备技术领域。该制备方法具体步骤是:将γ-环糊精、硝酸银、聚丙烯酸钠、浓硝酸、蒸馏水混合,搅拌加热至50~80℃,缓慢滴加抗坏血酸、3,4-乙烯二氧噻吩、吡咯赖氨酸、蒸馏水的混合溶液,反应1小时,过滤,经大量蒸馏水、乙醇洗涤,干燥后得到银含量为88~96%的银基复合导电粒子;将环氧树脂、固化剂以及银基复合导电粒子充分混合,100℃下固化
安徽工业大学 2021-01-12
电子束辐射处理技术改性车用胶条
已有样品/n以辐射加工技术为代表的非动力核技术应用对传统的加工方式产生了颠覆性创新,比如航天航空特种电线、污水处理、材料改性等,产生了很好的经济效益和社会效益。汽车雨刮胶条主要成分是天然橡胶或合成橡胶,实验研究表明电子束辐射能改变橡胶传统的硫化方式,有效提升交联度,通过辐射处理的胶条具有更好的耐候性、耐磨性、拔水性。比如,经过辐照处理后,胶条刮擦循环稳定性可达50 万次,抗拉强度(100%)从4.92MPa 增加到8
华中科技大学 2021-01-12
一种荧光粉胶的涂覆方法
本发明公开了一种荧光粉胶的涂覆方法,属于 LED 封装领域,其采用压印方式对 LED 芯片进行荧光粉胶涂覆,包括 S1 将 LED 芯片固定在封装基板上;S2 将荧光粉胶涂覆在所述 LED 芯片上或者所述压印块的端面上,将所述压印块与所述 LED 芯片通过压印方式贴合一起;S3 待荧光粉胶在所述压印块和所述 LED 芯片之间稳定成形后,对所述荧光粉胶进行固化处理获得荧光粉层,实现荧光粉胶的涂覆。本发明方法操作简单,成本低,可灵活控制荧光粉胶形貌,从而提升LED封装光色一致性,其封装成本低,可大规模应用在工业中进行LED封装。
华中科技大学 2021-04-13
岩巷快速掘进综合 岩巷快速掘进综合 配套技术
根据岩巷围岩特性,采用分类布孔原则,提出了中深孔不同深双阶掏槽全断面一次爆破新技术,系统地研究了岩巷掘进矸石运输系统,通过对岩巷钻爆法掘进主要工序时间进行测试分析,合理配置施工机具和优化施工工艺,提出了适用于岩巷快速掘进的施工工艺流程与劳动组织管理方式,实现了爆破、支护、出矸等施工工艺与劳动组织的有机结合,通过集成、创新,形成了岩巷快速掘进综合配套技术。(1)技术先进:全断面一次起爆,炮眼利用率达 95%以上。(2)施工简单:矸石运输系统采用皮带运输与矸石仓和梭车相结合的方式,实现了出矸的连续作业,提高了装运岩能力。主要 技术;( 1)根据岩巷围岩特性,经理论分析和试验研究,提出中深孔不同深双阶掏槽全断面一次爆破技术。掏槽眼采用大直径炮眼、大直径药卷、不同深双阶掏槽技术;周边眼采用小直径炮眼,小直径药卷,光面爆破技术。研究表明:采用分类布孔原则,缩短钻眼时间,提高掘进速度,钻眼时间随炮眼深度增加明显降低,对普通凿岩机,炮眼深度宜采用 2.0-2.4m。(2)根据巷道具体情况,系统地研究了岩巷掘进矸石运输系统。采用皮带运输与矸石仓和梭车相结合的方式,实现了出矸的连续作业,提高了装运矸石的能力,大大缩短了循环出矸时间,为合理安排施工工序与实现正规循环作业创造有利条件。(3)通过对岩巷钻爆法掘进主要工序时间进行测试分析,合理配置施工机具和优化了施工工艺,提出适用岩巷快速掘进的施工工艺流程与劳动组织管理方式。采取单班正规循环作业,每小班 1 循环,每日 3 循环,一次成巷。实现了部分工序平行作业,大幅度提高工作效率。(4)该技术现场应用表明,爆破炮眼利用率达到 95%,钻眼时间缩短 25%~30%,出矸效率提高 50%,大断面岩巷掘进月平均进尺 120m,月最高进尺 165m,实现安全高效快速掘进,取得了显著的社会效益和经济效益。
安徽理工大学 2021-04-13
东莞快速温变应力筛选机-快速温度循环试验箱
产品详细介绍 产品用途   东莞快速温变应力筛选机-快速温度循环试验箱是产品在设计强度极限下,运用温度加速技巧(在上、下限极值温度内进行循环时,产品产生交替膨胀和收缩)改变外在环境应力,使产品中产生热应力和应变,透过加速应力来使潜存于产品的瑕疵浮现[潜在零件材料瑕疵、制程瑕疵、工艺瑕疵],以避免该产品于使用过程中,受到环境应力的考验时而导致失效,造成不必要的损失,对于提高产品出货良率与降低返修次数有显着的效果,另外应力筛本身是一种制程阶段的过程,而不是一种可靠度试验,所以应力筛选是100%对产品进行的程序。 产品特点 1.     ESS系列允许加速产品温度变化速率,通过产品置于高速气流的环境; 2.     ESS系列环境试验箱是专为环境应力筛选应用而设计的,宏展仪器公司可根据您的具体需要生产制造环境应力筛选试验箱; 3.     Q8-901彩色触摸屏和PLC控制器,温度控制稳定,温度过冲小,操作方便、简单; 4.     采用世界先进的压缩机+环保冷媒+机械式复迭低温制冷系统,制冷效果好,可靠性高; 5.     完善的安全保护装置,确保产品的运行更加安全可靠; 6.     可选用液氮快速变化冷却系统。 控制系统 * Q8-901 温湿度控制器(韩国原装进口)  高分辨率彩色触摸屏接口 交互式参数输入方式 支持韩文,英文,中文 提供内置SMPS的I/O RELAY BOARD-接线简化和节省成本 同时支持干湿球方式及电子湿度传感器 基于PC的方便监控 方便设定多达33种的输出(内置计时器)方式 支持利用UDC300(选项)的USB存储器-可代替记录器 内置基于先进的PID算法的自动调谐功能 提供强有力的通讯环境和支持99台多分支结构 卓越的Fuzzy功能和ARW启动-抑制超程 显示PV曲线(0~8天) 规范条件 东莞快速温变应力筛选机-快速温度循环试验箱试验条件: 产品&规范 厂商名称 高温 低温 温变率 循环数 循环 时间 备注 MIL-STD-2164、GJB-1032-90 电子产品应力筛选   工作极限温度 工作极限温度 5℃/min 10~12 3h20min   MIL-344A-4-16 电子设备环境应力筛选 设备或系统 71℃ -54℃ 5℃/min 10     MIL-2164A-19 电子设备环境应力筛选   工作极限温度 工作极限温度 10℃/min 10   驻留时间为内部达到指定温度10℃时 NABMAT-9492 美军海军制造筛选 设备或系统 55℃ -53℃ 15℃/min 10   驻留时间为内部达到指定温度5℃时 GJB/Z34-5.1.6 电子产品定量环境应力筛选 组件 85℃ -55℃ 15℃/min ≧25   达到温度稳定的时间 GJB/Z34-5.1.6 电子产品定量环境应力筛选 设备或系统 70℃ -55℃ 5℃/min ≧10   达到温度稳定的时间 笔记型计算机 主机板厂商 85℃ -40℃ 15℃/min     温湿度控制能力范围表 可增加湿热功能 技术规格 型号   ESS-150U ESS-225U ESS-408U ESS-800U ESS-1000U ■性能 系统 平衡调温控制系统(BTC) 循环方式 强制空气循环 温度范围 -70~+150°C 温度波动度 ±0.5°C 温度均匀度 ≤2°C 温度偏差 ±2.0°C 升降温速率 5°C/Min ~15°C/Min(变温范围:-55°C ~+85°C) 负载 5Kg铝锭 5Kg铝锭 10Kg铝锭 25Kg铝锭 60Kg铝锭 ■构成 内箱材料 不锈钢SUS304 外壳材料 优质冷轧钢板静电喷粉 隔热材料 高密度聚氨脂发泡+玻璃棉 观察窗 发热体内嵌式玻璃 电缆孔 内径Φ50 加热器 镍铬合金电热丝式加热器 搅拌风扇 多翼式离心风扇 马达 冷凝器型 温度传感器 PT100Ω 脚轮 可锁定的脚轮 ■控制器 温度控制器 触控式LCD液晶显示温度控制器,采用Q8-901彩色液晶显示触摸屏,Q8-901 PLC控制器 温度设定方式 触控式设定数字 温度显示方式 LCD数字显示 通讯接口 RS485接口(附RS232转换线),上位机操作软件(中/英文) ■冷冻装置 制冷系统 机械二元复叠压缩机制冷 水冷冷凝器 制冷机 泰康或谷轮高性能压缩机 制冷剂 环保冷媒R404A+R23 ■安全装置 电源用漏电断路器,独立超温保护器,鼓风马达保护断路器,控制回路过载短路保护保险丝,温度保险丝,冷凝器缺水保护,压缩机过载、过流、过热保护热继电器等 ■标准 内箱尺寸  (mm) D 500 600 800 800 1000 W 500 500 600 1000 1000 H 600 750 850 1000 1000 内容积(L) 150 225 408 800 1000 电源  3ф4w380V±10%, 50Hz ■附件 搁板2块,搁条4根,硅橡胶软塞1个,RS23, 2转换线1套,上位机操, 作软件(中/英文),产品使用说明书1套,产品合格证1份,产品质量保证书1份,中国国家法定计量校准证书1份 ■可选附件 增加搁板,记录仪,打印机,特殊电缆孔   注意: ※1.所有温变速率条款为空气全程平均变化速率,而非产品温度变化速率; ※2.变温速率将根据试件负载、试件材质结构、温度范围而变化; ※3.外形尺寸根据升降温速率确定; ※4.冷却水温度(确保降温性能):10~28°C,水压0.1~0.3Mpa; ※5.可增加湿热功能。 宏展仪器主营: 紫外光耐气候试验箱;紫外线加速耐候试验机;高低温交变湿热试验箱;可程式恒温恒湿试验机;温湿度检定箱;高低温恒温试验箱;高低温冲击试验箱;蓄温式冷热冲击试验机;步入式环境实验室/试验舱;步入式恒温恒湿试验室;精密烘箱;盐水喷雾试验机;模拟运输试验机;蒸汽老化试验机;跌落试验机;快速温变|应力筛选试验机[ESS];其他环境试验设备 鉴于产品不断更新换代和市场的变化,网页所涉及的产品信息和图片仅供参考,如有变更,恕无法另行通知。需了解目前准确的产品情况,欢迎来电咨询索取详细书面资料! 服务热线;0769-82204676 移动服务热线;15876425571曾先生  邮     箱:zhd@hongzhangroup.com 公司网址:www.hongzhangroup.com  
东莞市宏展仪器有限公司 2021-08-23
【教育解决方案】Lux 3Li+打印机搭配原型树脂快速工程材料应用案例
生产级材料详细信息:索要完整生级级材料资料请访问清锋科技官网下载 3D打印材料-LuxCreo清锋科技 清锋的智能工厂和材料实验室可以与学校、科研院所联合,开展新材料、新工艺、新设计的验证。   【教育解决方案】Lux 3Li+打印机原型树脂快速工程材料应用案例 面向高教、职教的实训项目,基于光固化3D打印技术,设备提供、材料提供、软件提供、课程资源提供、师资培训、实训项目以及软硬件平台的一体化解决方案;服务于高校相关专业的教学实验、科研创新和项目开发等应用场景。 清锋光固化教育课程解决方案 3D打印作为一种新型生产方式,可以加速产品开发周期,满足多 材料、复杂形状、任意批量的生产需求,是全球最受关注的高科 技行业之一。拥有3D打印课程、设备的院校、科研机构在创新、 创造方面均有着得天独厚的优势。LuxCreo致力于推动行业发展, 为科研创新、数字化智能化转型以及行业人才培养等方面提供支持。 面向院校 提升院校教学硬件水平,有助于培养未来的3D打印人才,生动展示课本、教案内容,增加教学趣味性,资深3D打印行业专家亲自授课。 面向科研机构 快速将模型、数据形成实物,简化步骤,缩短论证时间,结合最新技术,加速研发新产品,输出有价值易商业化的研发项目,全球顶尖3D打印工作团队提供技术支持。 打印设备 iLux系列桌面机,Lux系列工业机,可作为研发、教学、实验等配套设备,满足不同项目需求。 打印材料 原型树脂快速工程材料满足消费、手办、模型、工业、汽车、航空航天等学科的教学研发需求 打印软件 LuxFlow模型处理软件,支持数据导入、文件修复、智能2D/3D摆放、生成支撑、切片、路径填充等功能,便于快速进行现场教学演示、培训实操、学术研发。 相关学习支持 清锋科技在光固化3D打印技术、软硬件、材料等方面积累了来自全球各个高校的顶尖人材,可结合院校、机构所需进行相关的培训及讲座,助力教育科研工作更加系统、科学。 打印中心实地考察 清锋科技在北京、宁波及美国硅谷均设有打印中心,可为学生及科研人员提供进一步深入了解3D打印的场地支持。 核心优势: 互联:可接入LuxCreo的软件生态,实现轻量化设计、高速切片、设备互联、智慧工厂管理。 敏捷:快速自主研发的纳米离型技术LEAP™,速率提升20~100倍以上;成型件力学性能各向同性。 柔性:适用于高精度原型件/测试件和小批量件的快速设计与制造。 可持续发展:技术团队来自清华、哈佛、佐治亚理工、北卡州立、剑桥等;解决方案得到了10万零部件打印的检验。 包括但不限于新产品的功能特点及技术性发布介绍,产品实际使用操作的演示; 清锋应用案例:高精度树脂 高精度树脂不仅韧性及硬度良好,且打印精度高,模型细节表现力好,可在提高光洁度的同时还原打印产品表面细节,是高精度玩具手办、高细节珠宝、硅胶覆模、泵壳、叶片、风洞测试零件、光反射器和各种汽车应用等模型应用的理想选择。   清锋应用案例:可水洗模型树脂 模型树脂具有可水洗、低粘度、高精度的材料特性,可使打印模型具有光洁、精细的纹理表面,在手办玩具、教育和医学模型应用广泛。RE 41可适配Lux系列打印机,可在达到高精度的同时实现快速打印。   通过清锋的解决方案能够实现: 1.快速产品研发迭代 2.样品实验数据快速分析 3.一体化模型处理,快速响应快速制造 4.大吞吐量,快速打印 5.通过不同材料的研发,拓展3D打印新应用 现今,3D打印作为一项非常前卫的高新技术,在弹性体研究、航空航天、高精度复杂零部件制造等方面具有独特的优势,也是国家重点支持发展的领域。清锋的3D打印技术在全球位居领先地位,我们也想借助国内顶尖技术推进行业发展,让教育科研和人才培养走在世界前列。 关于清锋科技(LuxCreo) 清锋科技是一家专注于3D打印设备、软件、材料研发,致力于改变产品开发和生产方式的数字化3D智造商。团队成员汇聚了清华大学、哈佛大学、佐治亚理工学院、宾夕法尼亚大学、剑桥大学等学府的高端技术人才和高管人才。团队研发出适配于不同行业的高性能材料体系,依托自主研发的Lux系列打印机和配套软件, 为鞋类、齿科、医疗、消费、汽车等行业创新升级提供解决方案,打造兼具定制化和批量化的新型数字化制造模式及生态闭环,让制造更简单!www.LuxCreo.cn 欢迎关注清锋公众号:qingfengshidai了解更多专业信息。 如有合作需求或者感兴趣的产品,可以扫描下方二维码联系清锋 ↓↓↓ 公司电话:010-63941626 公司邮箱:business@luxcreo.com 市场电话:18614034268 销售电话:13817977721;13811595251 官方网站:www.LuxCreo.cn 公司地址:北京市海淀区建材城中路27号金隅智造工场S5幢1017
清锋(北京)科技有限公司 2022-06-01
用于微切口腹腔镜手术的电凝针和双鞘管套管
本发明公开了一种用于微切口腹腔镜手术的电凝针和双鞘管套管,所述双鞘管套管,包括大小相同、对称设置的左鞘管和右鞘管,所述左鞘管和右鞘管均为半圆形管子,两者圆弧面相背且在上部通过铰链铰接,左鞘管的上端部左侧设有左进气口,右鞘管的上端部右侧设有右进气口,在左进气口上方的左鞘管上设有左防漏气阀,在右进气口上方的右鞘管上设有右防漏气阀;所述电凝针,包括针尾和针尖,所述针尾与电凝线连接。配合使用本发明的电凝针和双鞘管套管,只需1个10mm和1-2个2mm的切口,在手术难度没有明显增加的前提下,切口少且小,2mm的切口处恢复后切口疤痕几乎不可见,患者手术术后切口疼痛的程度也大大降低。
浙江大学 2021-04-13
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