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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学 2021-04-14
重庆聚一实业有限公司
重庆聚一实业有限公司 2022-05-24
“一起发展社交技能”套装
  使用“一起发展社交技能”套装,您可以用一种贴合课程、动手实践、生动有趣的方式,培养孩子们的社交技能。使用这一套装进行游戏时,孩子们能够认识与理解不同的情绪,建立自尊,并学会轮流游戏和协作,尊重人们的共性与差异。
乐高教育 2021-08-23
脑模型(一套6件)
XM-602脑模型(一套6件)   XM-602脑模型内囊位置组成及分布模型、脑纤维束解剖模型、海马穹窿前连合模型、脑及脑室解剖模型、大脑半球连合纤维模型、硬脑膜及静脉窦模型6种模型组成。 尺寸:自然大,50×26×16cm 材质:PVC材料   示教内容: 1、通过四块脑组织的分拆,显示整个脑室在各部脑实质内所占位置、相互关系及脑室各部结构。 2、右侧半示前连合的行程与位置、脑基底神经节、丘脑内束与内束放射线冠等,左侧示豆核、胼胒体放射、视放射等,脑干示小脑三对脚和齿状核。 3、示前连合穹窿的全程以及侧脑室颞角内的结构,如海马、海马伞、灰小束与齿状回等结构。 4、通过脑的水平额状切面,示内束的位置、组成和分布。 5、示大脑半球内部的白质纤维、大脑联合系、固有联合系和投放射系。 6、示硬脑膜膈和静脉窦蝶窦位置及关系。
上海欣曼科教设备有限公司 2021-08-23
乾立球场照明系列之一
深圳鹏翔智明光电科技有限公司 2021-08-23
一通连接件
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温州市育人教仪制造有限公司 2021-08-23
朝阳一校近视防控教室
产品详细介绍     沈阳市朝阳一校近视防控教室正式投入使用,为解决在校生近视率,提出了完善的解决方案!
永康视光科技集团有限公司 2021-08-23
三合一竞赛套装
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广东乐博士教育装备有限公司 2021-08-23
迷你机床六合一
产品详细介绍1、个人装备,适合制作模型或样品,工艺教学,产品创作发明,DIY自己动手做等 2、可组成:锯床,金属车床,木车床 ,磨床,铣床,钻床
深创实业(香港)有限公司 2021-08-23
慢开一联化验水咀
产品详细介绍
河北润旺洁具制造有限公司 2021-08-23
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