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一种基于穆勒矩阵的套刻误差提取方法
本发明属于半导体制造中的套刻误差测量领域,具体涉及一种基于穆勒矩阵的纳米结构套刻误差提取方法。本发明采用穆勒矩阵矩阵对角线上的 M13 和 M31 元素,或者 M23 和 M32 元素的线性组合分别直接拟合得到一条直线,利用该拟合直线可直接根据测量穆勒矩阵元素得到套刻误差。该方法可以实现不同周期下一维套刻结构套刻误差的快速、准确提取。本发明方法可以实现一维套刻结构的套刻误差的快速、准确提取。
华中科技大学 2021-04-14
一种广义椭偏仪的同步控制系统
本发明属于广义椭偏仪的控制技术,具体为一种广义椭偏仪的同步控制系统。该同步控制系统至少包括:第一、第二中空伺服电机及其内置的增量式编码器、伺服电机控制器、两个补偿器、光谱仪、计算机和单片机。其中伺服电机控制器、光谱仪分别与计算机通过 USB端口连接,单片机通过串口与计算机相连,同时单片机对应引脚又分别与两中空伺服电机编码器 Z 向信号线和光谱仪 I/O 口连接。光谱仪识别到高电平并在高电平持续时间内完成光谱数据采集;根据计时器返回时间就可以计算出光谱仪开始采集时刻两补偿器光轴的位置。该方法可以精确控
华中科技大学 2021-04-14
一种基于区间的数控机床性能预测方法
本发明公开了一种基于区间的数控机床加工性能预测方法,包括:(1)获取每类测量数据的多个测量值;(2)将每类测量数据中的每个测量值转换成区间形式;(3)提取时域或时频域特征;(4)把提取的时域或时频域特征作为观测,获得优化的广义隐马尔可夫模型;(5)从优化的广义隐马尔可夫模型中,找出状态转移概率矩阵,作为马尔可夫链转移矩阵;(6)选择区间化的初始状态概率向量,并与该马尔可夫链转移矩阵,形成性能预测模型 A<sup>(n)</sup>;(7)求该模型中的最大值,即为数控机床加工性
华中科技大学 2021-04-14
一种高转矩密度的磁场调制型磁力齿轮
本发明公开了一种高转矩密度的磁场调制型磁力齿轮,包括由 外到内依次同心嵌套排列的永磁外定子、调制转子和永磁内转子;永 磁外定子与调制转子之间、调制转子与永磁内转子之间均具有气隙; 永磁外定子的外定子铁心内表面开有梯形槽,梯形槽内端两侧开有退 磁抑制槽;梯形槽内嵌有切向极化的倒梯形的外定子永磁体;退磁抑 制槽起到抑制外定子永磁体局部退磁的作用;调制转子包括多个调磁 铁轭和多个嵌有冲孔的非导磁材料,相邻调磁铁轭间嵌有冲孔的非导 磁材料;永磁内转子包括有外到内依次同心嵌套的内转子永磁体和内 转子铁心;其内
华中科技大学 2021-04-14
一种列联表数据发布的隐私保护方法
华中科技大学 2021-04-14
一种 JPEG 兼容的隐写分析方法与系统
本发明公开了一种 JPEG 兼容的隐写分析方法,包括:计算隐 写图像训练库中各个 JPEG 隐写图像 JS 的观测嵌入率 r';根据隐写 图像训练库中各个 JPEG 隐写图像 JS 的观测嵌入率 r'及其真实嵌入 率真r,建立观测嵌入率与真实嵌入率之间的关系模型;计算待检测 隐写图像的观测嵌入率,并根据观测嵌入率与真实嵌入率之间的关系 模型计算待检测隐写图像的检测嵌入率。本发明还提供了相应的 JPEG 兼容的隐写分析
华中科技大学 2021-04-14
基于WebBOS的数字化城建档案管理系统
基于WebBOS的数字化城建档案管理系统 本系统基于WebBOS系统研发,综合使用了工作流技术、WebGIS技术、Web多媒体技术、Web报表技术,实现了对一不同类型的城市建设档案的管理。 该系统已经在江苏省镇江市城建档案馆和广东省韶关市城乡建设档案馆实施,并被列为住房和城乡建设部2009年科学技术项目(试点示范项目:2009-S
南京大学 2021-04-14
HWRX-3型红外热像仪图像采集卡的开发
HWRX-3型红外热像仪的视频信号是模拟信号,没有提供与计算机的数字接口,这对红外热像信息的存储、回放以及处理带来了一定的不便。因此我们设计了一套用于该红外热像仪系统的数据采集卡,Windows 98操作系统下的硬件驱动程序,以及具有多种图像显示、处理功能的用户应用程序。 视频采集卡是一个建立在复杂可编程逻辑器件(CPLD)基础上的系统。总的分为四个模块:信号调整,模数转换(ADC),
南京大学 2021-04-14
基于视觉认知分析的机器人智能环境感知研究
机器人产业在过去十年中得到了长足的发展,有效提高机器人的智能感知能力,是未来数年内进一步推动该产业发展的关键所在。机器人的智能认知能力,是指通过人工智能理论和技术,赋予机器人一种类似人类的高层认知能力,从而使得机器人可以自己适应复杂多变、具有较强不确定性的自然场景。本项目拟在前期计算机视、听觉认知算法研究基础上,进一步探索机器多模态认知关键技术在机器人环境感知问题中的具体应用。1.&n
南京大学 2021-04-14
新型高效的外进气式空气净化器
Greenwind系列空气净化器是由团队自主研发的净化性能优异的空气净化器。解决了目前市场上内循环式空气净化器只有在门窗关闭的不通风条件才能达到净化效果的痛点,同时产品弥补长期使用新风风道易长菌且难清洗的缺点。 机器内置温度湿度传感器,氧气浓度传感器,能够实时监测室内温度湿度、氧气浓度。空气净化器使用Wifi连接云端,实现移动设备端的实时监测和开关,更能云端智能控制空气净化器进风速度,保证室内空气氧含量,将空气净化与体感舒适结合。团队目前申请科技发明专利三项,已授权两项
南京大学 2021-04-14
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