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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学 2021-04-14
深、浅感觉传导XM-654A
XM-654A深、浅感觉传导   XM-654A深、浅感觉传导显示深、浅管感觉及传导。 尺寸:放大,30×30×48cm 材质:塑料
上海欣曼科教设备有限公司 2021-08-23
XM-654A深、浅感觉传导
XM-654A深、浅感觉传导   XM-654A深、浅感觉传导显示深、浅管感觉及传导。 尺寸:放大,30×30×48cm 材质:塑料
上海欣曼科教设备有限公司 2021-08-23
变刚度双质体振动电机式特大型振动磨
本实用新型变刚度双质体振动电机式特大型振动磨涉及一种振动磨,特别是一种具有变刚度、双质体、 振动电机式的一般振动磨或特大型振动磨;它包括上质体、下质体、主振弹簧、隔振弹簧和底板,其中上 质体包括筒体、进料口、端盖、出料口、振动电机、右联接架、磨介、左联接架和配重体;筒体通过主振 弹簧可能动地支承在下质体上,在筒体的右侧用右联接架刚性固结有振动电机,驱动侧的主振弹簧的轴线 位于筒体和振动电机的重力轴线之间;下质体通过隔振弹簧支承在底座上,在筒体的左侧用左联接架刚性 固结有与右侧质量相平衡的配重体。
南京工程学院 2021-04-11
多级偏块振动电机
本发明多级偏块振动电机涉及一种具有特殊惯性激振能力的振动电机,属于振动利用工程技术领域。 包括定子部分、转子部分和多级偏块组件;定子部分由定子铁心、定子绕组、轴承座和机壳组成;转子部 分由转子轴、转子铁心、转子绕组所组成,转子绕组装在转子铁心上,转子铁心套在转子轴上,转子轴通 过轴承A装在轴承座内,轴承座两侧分别装有内压盖、外压盖,在转子轴两端分别装有多级偏块组件;所 述多级偏块组件由多个偏块通过偏块轴进行串接构成,在一级轴即转子轴左右两端一般对称分布,级数应 为k≥2,所述多级偏块组件包括主偏块、副偏块、多级偏块、多级偏块轴和多级轴承,主偏块和副偏块固定安装在转子轴端部。
南京工程学院 2021-04-11
钻井石油振动筛
钻井液振动筛可 24 小时持续工作, 且单位小时内处理钻井液流量: ≥140m3。
扬州大学 2021-04-14
工频振动试验台
产品详细介绍 硒铁工频振动试验台简介:感谢您对硒铁“工频振动试验台,定频振动试验机”的关注,您的关注是我们前行的动力!有关工频振动试验台,定频振动试验机的更详细资料请向“硒铁仪器”了解.正弦波(半波/全波)、调幅、频率显示、2种调频、时间控制技术指标: 最大试验负载(Kg) 100Kg额定频率范围(Hz) 50Hz(电源频率) 额定位移(mmp-p) 5 额定速度(g) 20 振动方向 垂直 工作台尺寸(mm) 500×500 台体尺寸(L×W×H)(mm) 500×500×200 电源电压(V/50Hz)AC 220±10% 消耗功率(KVA) 2.2 深圳硒铁检测仪器有限公司是专业的工频振动试验台产品企业,主要经营工频振动台,盐雾试验机,振动试验台,破裂强度试验机,跌落试验机,纸箱抗压试验机,拉力试验机,按键寿命试验机,耐磨擦试验机,模拟运输振动台,线材弯折试验机,干燥箱,高低温箱,恒温恒湿试验箱以及其它相关产品, 如果你想查看我公司更多"工频振动试验台"产品及相关商机信息请查看我公司网站 http://www.szxitie.comhttp://www.xitie17.com
深圳硒铁检测仪器有限公司 2021-08-23
声振动传感器
产品详细介绍 频率量程:20HZ~20000HZ;声强量程:30~130dB 数据传输端口为智能HDMI接口,支持与采集器的有线通讯和无线通讯。
江苏艾迪生教育发展有限公司 2021-08-23
二异松蒎基氯硼烷(DPC)的合成
一、项目简介(-)-二异松蒎基氯硼烷是在药物生产过程中常用的一种手性还原试剂,主要是用于把药物分子中的醛基、酮基直接还原为具有手性的醇类。在国内外一些高附加值的药品的生产过程中,得到了广泛的应用。尤其在西欧、美国等发达国家的需求巨大。二、市场前景目前国内还没有该产品的生产,完全依赖于进口;同时,国外需求较大,有利于该产品的出口。三、规模与投资按年产10吨建厂,需设备投资30万元,总投资50万元。四、生产设备所需设备主要包括搪瓷反应釜、冷冻机、离心分离机、空压机、真空泵等。五、效益分析按目前市场价格计算,产品的生产成本为100元/千克,售价为800元/千克。按年产10吨计算,每年毛利润可达700万元。
河北工业大学 2021-04-13
离心泵振动故障融合诊断方法及振动信号采集装置
一种离心泵振动故障融合诊断方法及振动信号采集装置,其特点是:它通过离心泵振动信号采集装置采集离心泵的正常状态,质量不平衡,转子不对中和基础松动振动信号;利用小波包分解,重构技术实现离心泵振动信号的特征量提取,并将特征向量分别输入子模糊神经网络I和II,由模糊模式识别子系统预处理后代替相应的传感器信度函数分配的相关系数,整个子模糊神经网络包括数据模糊化层,输入层,隐含层和输出层,利用D-S证据理论的组合规则,求得融合后信度函数分配,从而实现离心泵的正常,不平衡,不对中和基础松动状态的融合诊断.其方法科学合理,诊断效率高,诊断结果准确;信号采集装置具有结构简单,性能可靠,信号采集全面,真实有效优点.
东北电力大学 2021-04-30
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