高等教育领域数字化综合服务平台
云上高博会服务平台 高校科技成果转化对接服务平台 大学生创新创业服务平台 登录 | 注册
|
搜索
搜 索
  • 综合
  • 项目
  • 产品
日期筛选: 一周内 一月内 一年内 不限
248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:   在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
北京师范大学 2021-05-09
基于动车组的接触网参数非接触测试系统研究
本成果来自有重大应用前景的横向项目,现已结题,知识产权归属西南交通大学。成果的创新性和先进性:针对目前接触网几何参数检测中存在的问题与不足,提出了利用动车组作为检测载体,基于二维激光雷达技术,对视距内障碍物所产生的轮廓曲线进行目标识别、运动跟踪,以达到在线测量接触网几何参数。主要技术指标为导高、拉出值、双支接触线间距与高差、侧面限界等。
西南交通大学 2016-06-27
无泵喷射式制冷机
本发明公开了一种无泵喷射式制冷机,包括:发生器、第一喷射器、冷凝器、节流元件、蒸发器、三通阀、第一储液罐和第一单向阀,第一喷射器依次与冷凝器、节流元件、蒸发器串联构成回路;三通阀依次与第一储液罐、单向阀、发生器串联构成回路;发生器与第一喷射器之间设有连通的管路;冷凝器与三通阀之间设有连通的管路。本发明突破传统思路的束缚,利用三通阀的切换实现了从低压的冷凝器向高压的发生器输送流体,取代了传统循环中的循环泵,提出一种无泵喷射式制冷机,另外利用本发明可用于改进各种现有喷射式制冷机。
浙江大学 2021-04-11
直进式拉丝机控制系统
金属制品是冶金工业中的重要一环,但在我国该行业却是一个薄弱环节,机械、电气设备陈旧,阻碍了行业的发展。该系统是以笼型异步电动机变频调速代替发电机—电动机组,用一台PC机实现拉拔品种设定、操作自动化、生产过程控制、实时闭环控制、自动计米等功能。系统动、静态数字模型的建立及按专家系统研制的品种设定器为本项目最突出的创新点。 系统的技术先进,节能显著。调速范围在正常工作时为30:1;在5%的额定转速时有1.5倍的额定转矩;设备效率为90-95%;节电率为41%。自94年第一套投产以来,已有从三卷筒到八卷筒的五套电控系统投入运行,至今工作良好。 97年通过省级技术鉴定,评定为“国内领先”水平,在无张力检测的直进式拉丝机上应用变频调速,实现反拉力恒定、秒流量相等的实时控制;应用专家系统研制的品种设定器及自行研制的急停装置等属国内首创。获宁夏自治区科技进步二等奖,北京市科技进步三等奖。
北京科技大学 2021-04-11
小型摆动筛式薯类作物收获机
该机技术特点是挖掘收获装置采用摆动分离筛结构,减少收获 机结构,保证与手扶拖拉机相配套作业时操作人员便于行走。本发明具有小巧、 行走灵活,耗材量少,收获损失小,作业流畅、工作阻力小,效率高的特点。 适用于丘陵山地的薯类收获。选用手扶拖拉机为配套动力,动力消耗小,便于 在丘陵山地行应用,有效提高薯土分离效果。配套动力 8.8kW;收获幅宽 700mm; 生产率为 0.10 hm2/h; 损失率≤5.0 %;伤薯率≤5.0 %。与国内外同类机具相 比具有挖掘深度调节方便、作业稳定、薯土分离效果好等优点。
青岛农业大学 2021-04-11
一种剪切式枸杞采摘机
本发明公开了属于农业机械技术领域的一种剪切式枸杞采摘机。所述枸杞采摘机由果柄切割单元、齿轮传动单元、电气控制单元和枸杞收集单元组成;所设计的分禾器约束果柄在枝条下面形成简支梁,对枸杞进入切割区域具有导向和夹持的作用,分禾器内设计三岔口结构,用于筛选青果和红果,青果从分禾器侧壁导出,红果进入切割区域。同时分禾器与刀片在竖直方向上保持安全距离,保证枸杞果柄长度要求;本发明解决了枸杞采摘难题、鲜枸杞便携包装、枸杞破损率高和采摘人员劳动强度大的问题。可摆脱地形的限制,适应复杂的作业环境,降低劳动人员工作强度,解放生产力。其结构简单便携小巧,实用可靠,成本低,提高枸杞采摘率和运输效率,降低枸杞损伤率。
中国农业大学 2021-04-11
磨盘式双螺杆反应挤出机
研发阶段/n本项目采用国内外首创的专利技术,将磨盘与双螺杆挤出机组合,使双螺杆的塑化能力和塑化质量大幅度提高,塑化效果超过密炼,产量高于挤出机,轴向尺寸仅是挤出机的1/3-2/3,在高塑炼质量、高产量、低能耗的前提下,实现物料的连续输出。用于橡胶、塑料的连续混合、密炼、反应挤出。两辊开炼机的原理是采用两个互相靠近的旋转辊筒构成的缝隙对物料进行反复的挤压和研磨,主要优点是塑化效果好,主要缺点是混合效果不佳且靠人工敞开操作。密炼机是改用密闭腔里设置两个Z形搅拌辊,改善了密封性和混合效果,缺点是剪切塑化作
湖北工业大学 2021-01-12
蜂窝式生姜栽培打孔机
项目简介: 蜂窝式软化姜栽培是我国四川地区常用的一种生姜种植技术, 在生姜种植过程中,
西华大学 2021-04-14
旋碎式冲振深松机
本实用新型涉及耕整底土用机械,尤其是一种旋碎式冲振深松机。一种旋碎式冲振深松机,包括机架、传动轴和松土机构,上层机架上转动连接有传动轴;松土机构包括冲振杆和旋松套,冲振杆设置在旋松套内,冲振杆与旋松套转动连接,旋松套与中层机架和下层机架转动连接,松土机构与地面呈20‑40°夹角;传动轴与旋松套之间通过传动连接结构连接,传动轴与冲振杆之间通过曲柄滑块机构连接,曲柄滑块机构中的曲柄与传动轴固定连接;包括至少一组松土机构,一组松土机构包括四个松土机构,对应的设有四个曲柄,松土机构相对于传动轴的中央呈对称设置,相邻曲柄的安装角度之间相差90°。其避免了机架的震动,并且使振动铲在小的振动幅度下对土壤达到了良好的振动深松效果。
青岛农业大学 2021-04-13
便携式无线语音发射机
产品详细介绍便携式无线语音发射机        用途:该产品又称流动语音室,教师可随身携带该发射机到任一教室或其它地方讲课,播放外语教材,解决了学校电化教学语音室少的困难。        功能与特点:配置微型领夹式麦克风,无线传声,发射半径30m,调频调幅收音,磁带录放,复读和跟读等
丹东倍特电子工程有限公司 2021-08-23
首页 上一页 1 2
  • ...
  • 9 10 11
  • ...
  • 333 334 下一页 尾页
    热搜推荐:
    1
    云上高博会企业会员招募
    2
    64届高博会于2026年5月在南昌举办
    3
    征集科技创新成果
    中国高等教育学会版权所有
    北京市海淀区学院路35号世宁大厦二层 京ICP备20026207号-1