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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 如何通过超洁净流控技术降低流控污染,减少曝光缺陷,提升曝光良率,是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战,直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外,作为各类半导体制造装备的共性核心零部件,超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断,使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统,自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持,聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术,完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试,为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据,同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化,突破了国外技术的封锁,为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学 2022-07-22
砷化镓基超快激光器与高效率轻质砷化镓薄膜三结太阳电池
激光雷达等传感器以及高效率砷化镓太阳能电池是国务院国家制造强国建设战略咨询委员会列出的核心基础元器件,本项目在国务院国资委以及国家级人才计划科研项目支持下,联合国内知名企业进行关键技术攻关,研制出基于砷化镓的超快半导体激光芯片与激光器可适用于激光加工、5G通信、生物医疗等领域,同时研制出的高效率砷化镓薄膜三结电池曾获得世界最高效率,相关产品已处于中试和量产阶段,本项目相关技术和产品曾获得过2018年度上海市科技进步二等奖,2020年中国发明协会发明创新二等奖,2020年中国光学学会光学科技奖一等奖等奖励。本次将展示本项目研制的相关砷化镓基半导体激光器以及高效率柔性轻质砷化镓薄膜三结太阳能电池。
复旦大学 2021-09-18
电子科技大学电磁环境仿真及智能处理平台采购项目竞争性磋商
电子科技大学电磁环境仿真及智能处理平台采购项目竞争性磋商
电子科技大学 2022-05-27
MXY5008光纤耦合及光无源器件参数测试与 光纤端面处理熔接实训系统
一、产品简介        光纤通信作为一门新兴技术,它具有容量大、中继距离长、保密性好、不受电磁干扰和节省铜材等优点。近年来发展速度快,已被广泛应用到军事通信、民用通信等各种领域,是世界新技术革命的重要标志和未来信息社会中各种信息的主要传送工具。在光纤的使用过程中,光纤线路的耦合对于其中光功率的传输至关重要。其中存在着两种主要的系统问题:1、如何从多种类型的发光光源将光功率耦合进一根特定的光纤;2、如何将光功率从一个光纤发射出来后经过特定的装置耦合进另外一根光纤。光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分。它是一种光学元器件,也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。该实验仪重点介绍了常用的光无源器件的相关参数及测试方法。为此公司研制出本实验系统,让学生了解和认识光纤耦合的相关参数和特性、光无源器件的相关参数及测试方法等,通过实验平台的搭建,可以让学生更深刻的了解,也能锻炼学生校准光路等方面的动手能力,是学校金工实习(工程实习)与工程检测的不二之选。 二、实验内容 650nm激光器与光纤耦合实验 1550nm光纤激光器与光纤耦合实验 相同模式光纤之间耦合实验 不同模式光纤之间耦合实验 光源与显微物镜及准直器耦合特性对比实验 光纤转换器测试实验 光纤变换器测试实验 光纤耦合器测试实验 光纤隔离器特性测试实验 波分复用器和解复用器测试实验 可调光纤衰减器测试实验 光纤机械光开关特性测试实验 光纤偏振控制器特性测试实验 光纤偏振分束器(PBS)性能能参数测试实验 不同种类光纤、光缆及光器件认知和操作实验 熔接机原理及使用实训操作实验 剥纤、清洁、切纤及光纤接续实训操作实验 手动模式下,光纤熔接实训实验 自定义模式下,光纤熔接实训实验 光纤端面处理基本操作实验 光纤耦合技术基本操作实验 光纤耦合技术基本操作实验 光功率耗损法对光纤熔接质量测试 三、实验配置参数 1、光源:波长1310±20nm,1550±20nm;输出功率:1-2.5mw,连续可调;输出端口:FC/PC;稳定性<0.5db(5h);光源类型:LD光源; 2、光功率计:波长范围800-1700nm;输入接口:FC 校准波长:1550nm,1310nm; 3、偏振控制器:插入损耗<0.05dB;消光比>40dB;回波损耗>65dB; 4、光纤机械光开关:插入损耗:1310/1550  P1→P2 0.56/0.54 dB ,P1→P3 0.53/0.47 dB ;回波损耗>50dB ;开关速度:≦8ms ; 5、高隔离度光纤隔离器:最大插入损耗:0.35dB ;回波损耗:≧50dB ;隔离度:≧30dB ; 6、光纤耦合器:分光比:50% : 50% ;最大插入损耗1310/1550: 3.3dB ; 7、光纤波分复用器:隔离度:1310nm :31.8% ;1550nm :34%;插入损耗:1310nm :0.30%;1550nm :0.34% ; 8、光纤可调衰减器:0-30db可调; 9、软件:配套仪器使用,数据采集处理; 10、光纤熔接机:适用光纤:SM (单模), MM (多模), DS (色散位移)光纤, NZDS (非零色散位移,即G.655光纤),BIF/UBIF(G.657); 光纤切割长度:8-16mm, 被覆光纤直径250µm,16mm,被覆光纤直径250µm-1000µm;平均接续损耗:0.02dB(SM)、0.01dB(MM)、0.04dB(DS)、0.04dB(NZDS);显示:高性能5.6英寸彩色LCD显示屏,提供清晰的数字图像显示;电极寿命:2500次;锂电池容量:典型熔接250次,充电时间3小时,可在充电时使用;电源:交流适配器输入电压100-240V  50/60Hz,输出电压:DC13.5V /5A,直流输入电压11.1v ( 内置锂电池8800mAh ); 四、实验目的  1、了解光纤连接器及其原理、种类,实验操作进行连接器参数测量; 2、掌握光纤头平端面的处理技术。 3、掌握光纤之间的耦合、调试技术,了解光纤横向和纵向偏差对光纤耦合损耗的影响。 4、掌握光纤熔接的基本技术。 5、熟悉光纤型号及结构,掌握其装配方法、使用环境及保护措施等;
天津梦祥原科技有限公司 2021-12-17
通过改善缺氧微环境提高 PD-1 抗体疗效的靶向纳米抗癌药物的研发
针对肿瘤缺氧所致PD-1抗体不敏感,本项目利用白蛋白及ROS响应链接子将PD-1抗体与富氧血红蛋白(Hb)及ATO包裹成纳米颗粒。 一、项目进展 创意计划阶段 二、负责人及成员 姓名 学院/所学专业 入学/毕业时间 张琰 第二临床医学院/临床医学 2019.9/2024.6 梁洛绮 第一临床医学院/临床医学 2018.9/2023.6 三、指导教师 姓名 学院/所学专业 职务/职称 研究方向 侯鹏 第一临床医学院 副主任/教授 肿瘤生物学 杨琪 第一临床医学院 副主任/副教授 肿瘤生物学 四、项目简介 目前,尽管晚期肿瘤免疫治疗取得巨大突破,仍有大量患者对PD-1抗体不敏感。主要原因是实体肿瘤灌注不良,缺氧、酸化,抑制免疫。阿托伐醌(ATO)为线粒体Complex III抑制剂,能有效降低组织氧耗改善缺氧,但生物利用率低毒性大,应用受限。针对肿瘤缺氧所致PD-1抗体不敏感,本项目利用白蛋白及ROS响应链接子将PD-1抗体与富氧血红蛋白(Hb)及ATO包裹成纳米颗粒。研究结果证实该颗粒能肿瘤局部富集,链接子遇肿瘤微环境高含量ROS解离释放Hb 、ATO及PD-1抗体,瘤细胞对ATO的利用提高,氧耗降低。此外,Hb氧递送实现多途径改善缺氧,显著提高PD-1抗体疗效,具有潜在医学转化价值。
西安交通大学 2022-08-10
一种具有安神补脑和提高免疫力作用的保健品
本发明涉及一种具有安神补脑和提高免疫力作用的保健品。由猴头菌粉、蝙蜉蛾拟青霉菌粉、蜜环菌粉、香菇菌粉、人参粉、安络小皮伞菌粉以及枸杞、红枣、甘草、生姜、茯苓等构成,具有安神补脑、提高免疫力等功效,并且安全无副作用,适合长期食用。本发明旨在提供一种不仅具有明显的安神补脑的功效还可以明显提高人体免疫力的保健品制剂,该制剂以多种保健真菌为原料,给药方便、疗效稳定、毒副作用小、可长期食用。投资主要用于产品原材料的制备、加工费用和产品包装和市场开发,预期效果较好。
辽宁大学 2021-04-10
通过学习提高批量生产中数控机床进给运动精度的装置
本实用新型提供一种用于提高现有数控系统运动精度的装置。该装置安装在原数控系统和驱动器之间, 无需对原数控系统和驱动器做任何调整和改变,方便实用。在进行一种零件的重复加工时,通过大容量存 储器记忆数控系统的控制和误差信号,并依据一定的学习算法,得到下一个零件加工所需新的控制信号并 进行运动控制,新的控制信号将减小上一个零件加工时的运动误差。经过多次记忆——学习的过程,可使 运动误差减小,从而提高数控机床的轮廓运动精度。控制装置包括微处理器、大容量存储器以及数控系统 进给运动控制指令信号、学习后的控制输出信号、位置检测信号接口等。
南京工程学院 2021-04-11
提高粉末涂料耐候性能的纳米复合改性剂及其制备方法
本发明提供了一种用于提高粉末涂料耐候性能的纳米复合改性剂,它由流平剂、无机纳米粉体、有机抗老化助剂和粉末涂料基料树脂组成。该纳米复合改性剂充分发挥了有机抗老化助剂与无机纳米粉体的协同抗老化作用,并改善了流平剂加入量过多容易浮到涂膜表面的问题。本发明还提供了该改性剂的制备方法,这种方法工艺简单、成本低廉。将改性剂母粒用于粉末涂料中,可以大幅度提高粉末涂料的抗紫外光老化性能,粉末涂料涂膜流平性也得到改善。
四川大学 2021-04-11
一种具有安神补脑和提高免疫力作用的保健品
本发明涉及一种具有安神补脑和提高免疫力作用的保健品。由猴头菌粉、蝙蜉蛾拟青霉菌粉、蜜环菌粉、香菇菌粉、人参粉、安络小皮伞菌粉以及枸杞、红枣、甘草、生姜、茯苓等构成,具有安神补脑、提高免疫力等功效,并且安全无副作用,适合长期食用。
辽宁大学 2021-02-01
一种提高冬季低温污水生物反硝化脱氮的方法
本发明提供一种提高冬季低温污水生物反硝化脱氮的方法,该方法包括步骤:采用序列间歇式活性污泥法运行方式,将驯化好的活性污泥和硝酸盐废水置于四个连续搅拌反应器中进行反应,用冷却水循环器将所述反应器中的水温控制在5~15℃温度状态下。从四个反应器中取样测定总氮,我国GB18918-2002要求总氮的最高排放标准为20mg/L,结合测定的结果分析最终排放总氮的量是否达标。本发明的效果是采用该方法能够在低温条件下投加介体后显著提高了生物脱氮,达到了我国《城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)》要求总氮的最高排放标准。氧化还原介体的应用克服了在低温条件生物脱氮速率慢的缺点并为高效降解含氮污染物提供了新的思路。
天津城建大学 2021-04-11
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