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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 如何通过超洁净流控技术降低流控污染,减少曝光缺陷,提升曝光良率,是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战,直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外,作为各类半导体制造装备的共性核心零部件,超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断,使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统,自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持,聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术,完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试,为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据,同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化,突破了国外技术的封锁,为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学 2022-07-22
一种提高分布式缓存的命中率并减少固态硬盘磨损的方法
本发明公开了一种提高分布式缓存的命中率并减少固态硬盘磨 损的方法,结合缓存数据分布特性和固态硬盘特性优化缓存性能并降 低成本。它能根据应用场景分配内存缓存区并将 SSD 划分为连续分布 的与内存缓存区等大的 Cage,内存缓存区缓存新数据,内存缓存区的 数据达到上限时将内存缓存区所有数据写入 Cage,擦除内存缓存区进 行新的数据缓存。替换算法通过分析内存缓存区中的数据的访问频度 分布,设定 Cage 中替换算法参数
华中科技大学 2021-04-14
电子科技大学电磁环境仿真及智能处理平台采购项目竞争性磋商
电子科技大学电磁环境仿真及智能处理平台采购项目竞争性磋商
电子科技大学 2022-05-27
MXY5008光纤耦合及光无源器件参数测试与 光纤端面处理熔接实训系统
一、产品简介        光纤通信作为一门新兴技术,它具有容量大、中继距离长、保密性好、不受电磁干扰和节省铜材等优点。近年来发展速度快,已被广泛应用到军事通信、民用通信等各种领域,是世界新技术革命的重要标志和未来信息社会中各种信息的主要传送工具。在光纤的使用过程中,光纤线路的耦合对于其中光功率的传输至关重要。其中存在着两种主要的系统问题:1、如何从多种类型的发光光源将光功率耦合进一根特定的光纤;2、如何将光功率从一个光纤发射出来后经过特定的装置耦合进另外一根光纤。光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分。它是一种光学元器件,也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。该实验仪重点介绍了常用的光无源器件的相关参数及测试方法。为此公司研制出本实验系统,让学生了解和认识光纤耦合的相关参数和特性、光无源器件的相关参数及测试方法等,通过实验平台的搭建,可以让学生更深刻的了解,也能锻炼学生校准光路等方面的动手能力,是学校金工实习(工程实习)与工程检测的不二之选。 二、实验内容 650nm激光器与光纤耦合实验 1550nm光纤激光器与光纤耦合实验 相同模式光纤之间耦合实验 不同模式光纤之间耦合实验 光源与显微物镜及准直器耦合特性对比实验 光纤转换器测试实验 光纤变换器测试实验 光纤耦合器测试实验 光纤隔离器特性测试实验 波分复用器和解复用器测试实验 可调光纤衰减器测试实验 光纤机械光开关特性测试实验 光纤偏振控制器特性测试实验 光纤偏振分束器(PBS)性能能参数测试实验 不同种类光纤、光缆及光器件认知和操作实验 熔接机原理及使用实训操作实验 剥纤、清洁、切纤及光纤接续实训操作实验 手动模式下,光纤熔接实训实验 自定义模式下,光纤熔接实训实验 光纤端面处理基本操作实验 光纤耦合技术基本操作实验 光纤耦合技术基本操作实验 光功率耗损法对光纤熔接质量测试 三、实验配置参数 1、光源:波长1310±20nm,1550±20nm;输出功率:1-2.5mw,连续可调;输出端口:FC/PC;稳定性<0.5db(5h);光源类型:LD光源; 2、光功率计:波长范围800-1700nm;输入接口:FC 校准波长:1550nm,1310nm; 3、偏振控制器:插入损耗<0.05dB;消光比>40dB;回波损耗>65dB; 4、光纤机械光开关:插入损耗:1310/1550  P1→P2 0.56/0.54 dB ,P1→P3 0.53/0.47 dB ;回波损耗>50dB ;开关速度:≦8ms ; 5、高隔离度光纤隔离器:最大插入损耗:0.35dB ;回波损耗:≧50dB ;隔离度:≧30dB ; 6、光纤耦合器:分光比:50% : 50% ;最大插入损耗1310/1550: 3.3dB ; 7、光纤波分复用器:隔离度:1310nm :31.8% ;1550nm :34%;插入损耗:1310nm :0.30%;1550nm :0.34% ; 8、光纤可调衰减器:0-30db可调; 9、软件:配套仪器使用,数据采集处理; 10、光纤熔接机:适用光纤:SM (单模), MM (多模), DS (色散位移)光纤, NZDS (非零色散位移,即G.655光纤),BIF/UBIF(G.657); 光纤切割长度:8-16mm, 被覆光纤直径250µm,16mm,被覆光纤直径250µm-1000µm;平均接续损耗:0.02dB(SM)、0.01dB(MM)、0.04dB(DS)、0.04dB(NZDS);显示:高性能5.6英寸彩色LCD显示屏,提供清晰的数字图像显示;电极寿命:2500次;锂电池容量:典型熔接250次,充电时间3小时,可在充电时使用;电源:交流适配器输入电压100-240V  50/60Hz,输出电压:DC13.5V /5A,直流输入电压11.1v ( 内置锂电池8800mAh ); 四、实验目的  1、了解光纤连接器及其原理、种类,实验操作进行连接器参数测量; 2、掌握光纤头平端面的处理技术。 3、掌握光纤之间的耦合、调试技术,了解光纤横向和纵向偏差对光纤耦合损耗的影响。 4、掌握光纤熔接的基本技术。 5、熟悉光纤型号及结构,掌握其装配方法、使用环境及保护措施等;
天津梦祥原科技有限公司 2021-12-17
宁波市聚力精准引才破解高端模具“卡脖子”问题
以数字化建模仿真技术为核心竞争力的清华大学郭志鹏博士创业团队,正式入驻宁波高端模具工程技术中心模具软件研发中心,他们带来了填补国内模流分析空白的软件,旨在为北仑模具产业软件设计打破国外的技术壁垒。
宁波市科技局 2021-04-20
一种基于替代模型空间映射技术的成品带通滤波器调试技术
微波滤波器是无线通信基站和卫星通信系统的关键器件,被广泛应用于卫星系统和无线通信系统的射频前端。在实际生产设计中,种种误差导致设计的滤波器很难实现设计指标。成品微波/毫米波器件的后期调试在实际应用中占据着举足轻重的地位。传统的人工成品调试工作由专业的调试技术工人完成,这种方式不仅耗时长,且对技术工人的调试经验有很高的要求,人工成本高。 一种基于替代模型空间映射技术的成品带通滤波器调试
南方科技大学 2021-04-14
广东省科学技术厅关于印发《广东省基础与应用基础研究基金项目科研不端行为调查处理实施细则(试行)》的通知
为规范广东省基础与应用基础研究基金(以下简称省基金)项目科研不端行为的调查处理,维护省基金的公正性、公信力和科技工作者的权益,推动科研诚信、学术规范和科技伦理建设,促进省基金事业的健康发展。
广东省科学技术厅 2023-03-20
高效率钙钛矿太阳能电池模块
上海交通大学 2021-04-11
转型时期农业生产方式调整与生产效率研究
浙江财经大学王建英副教授撰写的《转型时期农业生产方式调整与生产效率研究》2018年12月由浙江大学出版社出版,获2019年“浙江省第二十届哲学社会科学优秀成果奖”三等奖(基础理论研究类)。 该书是国家自然科学基金青年科学基金项目“中国粮食储备行为变化的机理和应对措施:基于农户储备和国家储备的研究”(批准号:71603228)、中国博士后科学基金特别资助项目“转型时期农户粮食储备行为变化的内在机理及影响研究”(批准号:2018T110607)和浙江省软科学研究项目“转型时期创新农业生产环节外包的决策机制与绩效研究”(批准号:2018C35032)的阶段性研究成果。 从中国农业生产环境发生的变化出发,该书抓住农村土地租赁市场发展、农业劳动力持续非农流转、农业机械化率大幅上升的显化特点,基于稻谷作为口粮消费的重要性,该书主要依据中国南方籼稻主产区江西省稻农的微观调查数据、有全国代表性的农户微观调查纵向数据(RCRE数据)、以及东亚、南亚和东南亚等主要水稻生产和出口国(中国、印度、孟加拉国、越南和老挝)多个地区稻米价值链参与主体的微观调查数据,在农户模型理论的指导下,从不同视角对转型时期稻农的水稻生产方式调整与生产效率进行了系统性的分析和实证考察,勾勒出一幅综合的图景。
浙江财经大学 2021-04-30
关于召开“四新”背景下的一流创新创业学院建设论坛的通知
为贯彻落实《关于进一步支持大学生创新创业的指导意见》,助力提高人才培养质量,提升大学生就业能力,更好地服务经济社会发展,经研究,中国高等教育学会决定举办“四新”背景下的一流创新创业学院建设论坛。
中国高等教育学会 2022-07-19
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