用非平衡等离子体处理颗粒和气体物质的装置
本发明公开了一种用非平衡等离子体处理颗粒和气体物质的装 置,包括前级充电器和等离子体发生器;前级充电器包括直流电源和 谐振充电电路,直流电源用于为谐振充电电路提供直流电压,谐振充 电电路用于为等离子体发生器提供交流脉冲电压;等离子体发生器为 中心设置有反应腔的圆柱状结构,包括外屏蔽层、原方低压绕组、外 绝缘层、副方高压绕组、内绝缘层、内屏蔽层、副方电容、触发极电 阻、气体间隙陡化开关、电极支架、高压电极、直线电极和金属板; 颗粒或气体物质的处理直接在反应腔内进行。该装置放电可以在大气 压开放空气以及
华中科技大学
2021-04-14