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一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺,步骤为:①在基底上匀胶和光刻显影,形成叉指形状的光刻胶图形; ②将基底在保护气氛下进行热解,形成玻碳叉指电极;③在玻碳叉指 电极上匀胶并光刻显影;④再次热解,得到具有气体敏感材料和加热 部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成 加热部件和气敏部分,不需要另外加上检测电路,以及另外旋涂敏感 材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体, 而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺,相对于现有的气敏传 感器的加热部件具有尺寸小,耗费能量小,制作简单的优点。 
华中科技大学 2021-04-11
一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺,步骤为:①在基底上匀胶和光刻显影,形成叉指形状的光刻胶图形;②将基底在保护气氛下进行热解,形成玻碳叉指电极;③在玻碳叉指电极上匀胶并光刻显影;④再次热解,得到具有气体敏感材料和加热部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成加热部件和气敏部分,不需要另外加上检测电路,以及另外旋涂敏感材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体,而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺,相对于现有的气敏传感器的加热部件具有尺寸小,耗
华中科技大学 2021-04-14
一种用于光纤激光器的包层光剥离器及其制作方法
本发明公开了一种用于光纤激光器的包层光剥离器及其制作方 法,该剥离器包括包层光纤、多段光栅和冷却管套,其制作方法是在 裸露的光纤内包层外表面上涂覆折射率大于或等于内包层折射率的紫 外光刻胶,然后在紫外光刻胶上刻蚀多段光栅,通过多段光栅的衍射 将内包层内残余光剥离出来;将制作好的多段光栅套在金属管中,并 用密封套密封,该金属管壁铺满吸热材料,将剥离出的内包层光吸收, 通入流通的冷却水将产生的热量带走。本发明通过采用不同
华中科技大学 2021-04-14
一种用于光纤激光器的包层光剥离器及其制作方法
本发明公开了一种用于光纤激光器的包层光剥离器及其制作方 法,该剥离器包括包层光纤、多段光栅和冷却管套,其制作方法是在 裸露的光纤内包层外表面上涂覆折射率大于或等于内包层折射率的紫 外光刻胶,然后在紫外光刻胶上刻蚀多段光栅,通过多段光栅的衍射 将内包层内残余光剥离出来;将制作好的多段光栅套在金属管中,并 用密封套密封,该金属管壁铺满吸热材料,将剥离出的内包层光吸收, 通入流通的冷却水将产生的热量带走。本发明通过采用不同结构的光 栅来调整包层光的透过率,达到高效均匀剥离的目的,避免剥离器出现 过热点,保
华中科技大学 2021-04-14
制作高性能、低成本电池器件的目标而采用简式构型器件新思路
实现制作高性能、低成本电池器件的目标而采用简式构型器件新思路的系列研究,论文第一作者为程春课题组博士生黄毓岚。 课题组总结了传统钙钛矿太阳能电池(PSCs)在降低缺陷密度和优化能级方面的常用方法,以简化其结构。此外,课题组对不同的无电子传输层或者无空穴传输层PSCs的发展进行了分类和讨论,包括它们的工作原理、实现技术、尚存的挑战和未来的展望。
南方科技大学 2021-04-14
一种双膜电容式压力传感器及制作方法
本发明涉及压力传感器技术领域,特指一种双膜电容式压力传感器及制作方法,包括玻璃衬底,玻璃衬底中心位置上设有浅槽,浅槽中心位置设有浅槽通孔,浅槽通孔从浅槽底面延至玻璃衬底底面,浅槽上设有可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2,可测量低压差的电容C1包括底电极板与薄压力敏感膜,可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜与顶电极板,浅槽通孔(71)与可测量低压差的电容C1对应设置,可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2对应设置。本发明采用变间距原理实现压力到电容的转换,可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2分别实现了微压段和高压段的高精度测量,不仅提高了压力测量精度,也提升了传感器的测量范围。
东南大学 2021-04-11
精彩预告④ | 提高临床技能培训 第62届高博会将打造数字化医学教育展区
第62届高博会将于11月15-17日在重庆国际博览中心举办,主题为“职普融通·产教融合·科教融汇”。将设立6个企业展区和4个特色专区,举办50余场学术活动和8场特色活动,预计将吸引来自全国各地的1500余所高校的学科专业负责人、实验室专家、实训指导老师及高校教师参与。
中国高等教育博览会 2024-10-24
第六届新时代“数字思政”创新发展学术活动在重庆举办
11月15日,第六届新时代“数字思政”创新发展学术活动在重庆顺利召开。
中教华影 2024-12-03
【中国日报网】第63届高博会:吉林动画学院原创 IP 以“技术 + 艺术” 点燃数字创意
5月23日至25日,吉林动画学院携“技术 + 艺术” 融合成果亮相第63届中国高等教育博览会,以《疯狂电脑城》赛博朋克美学与裸眼 3D、虚拟角色互动等形式,打造穿越次元的数字创意盛宴,诠释产教融合创新实践。
中国日报网 2025-05-25
数字化地理室-地理实验室-数字化地理实验室
广东厚吉教育科技有限公司 2021-08-23
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